【課題】 Ｘ線回折測定装置を容易に搬送可能に構成するとともに、測定対象物のＸ線による回折環を簡単に形成できるようにする。
【解決手段】 Ｘ線回折測定装置は、ケース６０を備えて、ケース６０内に、測定対象物ＯＢに向けてＸ線を出射するＸ線出射器１０と、イメージングプレート２１が取り付けられるテーブル２０と、イメージングプレート２１にレーザ光を照射して、出射した光を受光して受光強度に応じた受光信号を出力するレーザ検出装置４０と、テーブル２０を中心軸回りに回転させるスピンドルモータ３７と、テーブル２０をイメージングプレート２１の受光面に平行な方向に移動するフィードモータ３２とを収容する。ケース６０は、測定対象物ＯＢ上に載置される傾斜面壁６７を有し、傾斜面壁６７には出射されたＸ線を通過させる貫通孔６７ａが設けられている。傾斜面壁６７は、出射されたＸ線の光軸方向と所定の角度をなす。 （もっと読む）

【課題】結晶ウェハにより製造した３次元湾曲型Ｘ線反射レンズによる分光光学系により測角器を必要としない小型化に適した蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源とＸ線結晶分光器とＸ線検出器によってなる蛍光Ｘ線分析装置であって、１方向の長さが25mm以上300ｍｍ以下で板状単結晶からなる３次元形状に湾曲した１枚のＸ線結晶分光器と、位置敏感かつエネルギー分解能力のあるＸ線検出器の少なくとも何れか一方を用いることにより、結晶分光器の角度走査をすることなくＸ線の分光波長帯域の蛍光Ｘ線分析を行う。 （もっと読む）

【課題】 少なくとも１回の撮像から、被検体の微分位相像または位相像を取得することができるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法を提供すること。
【解決手段】 本発明に係るＸ線撮像装置は、位相格子１３０と吸収格子１５０と検出器１７０と演算装置１８０を有する。演算装置１８０は、検出器で取得したモアレの強度分布をフーリエ変換することにより、空間周波数スペクトルを取得するフーリエ変換工程を実行する。また、フーリエ変換工程により得られた空間周波数スペクトルから、キャリア周波数に対応したスペクトルを分離し、逆フーリエ変換を用いて微分位相像を取得する位相回復工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】実際のゴム材料から精度良くシミュレーション用のゴム材料モデルを設定して精度の良い計算結果を得るのに役立つ方法を提供する。
【解決手段】充填剤を含有するゴム材料のシミュレーション方法であって、前記ゴム材料のＸ線及び／又は中性子の散乱データを測定する測定工程Ｓ１と、前記散乱データからリバースモンテカルロ法によりゴム中の充填材の３次元構造を特定する可視化工程Ｓ２と、前記充填材の３次元構造に基づいてゴム材料モデルを設定するモデル設定工程Ｓ３乃至Ｓ６と、前記ゴム材料モデルに基づいて変形シミュレーションを行う工程とを含み、前記測定工程において、散乱ベクトルｑが１０^-4nm^-1よりも大かつ１０nm^-1よりも小の範囲の散乱データを得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数種類の測定データ及び解析データを取得できるＸ線分析装置において、データの内容とその内容をもたらした解析ソフトウエアとを簡単且つ正確に把握できるようにする。
【解決手段】複数の測定手法を実現できる機能を持ったＸ線分析装置１であり、この装置は、個々の測定手法を実現して測定データを取得する測定ソフトウエア３６と、その測定データに対して所定の解析を行って解析データを取得する解析ソフトウエア３７と、測定データ及び解析データの個々に基づいて縮小画像４２を作成する縮小画像作成手段２、３８と、解析ソフトウエアを指し示すアイコン４３を作成する解析アイコン作成手段２、３９と、縮小画像４２とアイコン４３とを互いが対応関係にあることを示しつつ同じ画面９ａ内に表示する画像表示手段２，９とを有する。 （もっと読む）

【課題】 イメージングプレートの取付け精度の良否によらず、測定対象物の残留応力を精度よく測定できるようにする。
【解決手段】 コントローラＣＴは、残留応力が０である基準物体ＢＯＢ及び測定対象物ＯＢに、Ｘ線出射器１３からのＸ線をそれぞれ照射して、イメージングプレート２８上に基準物体ＢＯＢ及び測定対象物ＯＢの回折環をそれぞれ撮像する。そして、コントローラＣＴは、前記撮像した両回折環の形状をそれぞれ検出し、測定対象物ＯＢの回折環の形状を、基準物体ＢＯＢの回折環の形状を用いて補正して、イメージングプレート２８のテーブル２７に対する取付け誤差の影響を少なくする。 （もっと読む）

【課題】ラスタ素子のハニカム格子に起因する強度ムラを均一化することができる回折Ｘ線検出方法およびＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】ポリキャピラリで形成されたラスタ素子１０を介して行なう回折Ｘ線検出方法であって、試料により回折させたＸ線をラスタ素子１０に入射させ、試料中心Ｓ_０からの距離を維持しＸ線の回折角度に対するラスタ素子１０の位置を変えつつ、ラスタ素子１０を通過したＸ線を検出器２０により検出する。これにより、回折角度ごとに生じるハニカム格子による影響が分散され、ハニカム格子に起因する強度ムラを均一化することができる。その結果、ラスタ素子を応用し、試料の周りからの散乱線を排除したり、いわゆる微小角入射Ｘ線回折測定で分解能を向上させたりする測定を有効に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】測定時間を短くすることができ、且つ簡易な構成で完全分光を実現することができるＸ線分光検出装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線分光検出装置１Ａは、Ｘ線若しくは電子線の照射によって該試料１０表面における直径１００μｍ以下の微小分析点Ｐから放射された特性Ｘ線２を波長毎に分光して検出する。Ｘ線分光検出装置１Ａは、分光結晶２０及び二次元Ｘ線検出器３０を備える。分光結晶２０は、微小分析点Ｐから放射された特性Ｘ線２を受ける平坦な回折反射面２０ａを有し、特性Ｘ線２に含まれる波長成分のうち該回折反射面２０ａへの入射角に応じた波長成分を回折反射することにより、特性Ｘ線２を波長毎に分光する。二次元Ｘ線検出器３０は、分光結晶２０において回折反射した特性Ｘ線２を受ける受光面３０ａを有し、該受光面３０ａに入射した特性Ｘ線２の入射位置および強度に関するデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】画像形成システムを用いて対象領域の三次元モデルを生成するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ｘ線画像形成システムにおいて、ターゲット・オブジェクト上の対象領域の三次元表現を生成する方法を提供する。本方法は、既知の幾何学的形状の基準マーカーを使用する。対象領域及び基準マーカーが、複数の所定位置において画像形成される。各々の所定位置についての基準マーカーの予測される画像を計算し、各々の所定位置における基準マーカーのキャプチャされた画像と比較する。予測される画像とキャプチャされた画像との間の相違を用いて、各々の所定位置についての対象領域の修正された画像を生成し、これらの修正された画像を用いて、対象領域の三次元モデルを生成する。本方法は、高価な機械的位置決めシステムを必要とすることなく、ｘ線画像形成システムにおける対象領域の有用な三次元モデルを生成することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】基板が含む検査対象に３次元的な変位が生じても、検査対象の正確な位置に基づいて検査を実行させる技術を提供する。
【解決手段】検査対象と測定点とを含む平面状の基板に対して互いに方向が異なる第１照射方向および第２照射方向に放射線が照射されるように、基板が保持される保持基準位置と放射線発生器の焦点位置との少なくとも一方を移動させる移動制御手段と、基板に対して第１照射方向に放射線を照射した場合における相対焦点位置と相対投影位置とを結ぶ直線と、基板に対して第２照射方向に放射線を照射した場合における相対焦点位置と相対投影位置とを結ぶ直線との交点の位置を測定点の位置として特定する測定点位置特定手段と、測定点の位置に基づいて特定した検査対象の位置について検査を実行する検査手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の振動、変形を抑制する放射線画像撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線画像撮影装置１０は、照射された放射線を電気信号に変換する放射線検出パネル１４と、信号処理を行う信号処理基板１８と、信号処理基板１８を保持する保持基材１６と、一端が放射線検出パネル１４に接続され、他端が信号処理基板１８に接続されたフレキシブル基板２０と、フレキシブル基板２０に張力を掛ける張力付与手段３２ａ、３２ｂと、放射線検出パネル１４、信号処理基板１８、保持基材１６、フレキシブル基板２０及び張力付与手段３２ａ、３２ｂが内蔵される筐体１２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】粗粒かつ微少試料であっても均一な回折リングを得ることができるＸ線回折試料揺動装置、Ｘ線回折装置及びＸ線回折パターンの測定方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線回折試料を保持する試料保持部３１をＸ線入射方向と平行にした第１の回転軸の周りに揺動可能な第１の揺動部２１と、前記第１の回転軸と直交する第２の回転軸の周りに揺動可能な第２の揺動部２２と、前記第１及び第２の回転軸と直交する第３の回転軸の周りに揺動可能な第３の揺動部２３を有するＸ線回折試料揺動装置１１を用いることによって前記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の塑性ひずみを非破壊的に評価することが可能なシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】測定対象物の表面にＸ線を入射し、Ｘ線の回折角と回折強度を計測するＸ線回折装置と、Ｘ線の回折角と回折強度からＸ線回折強度曲線を得るとともに、測定対象物の試験片を用いて予め求めた、Ｘ線回折強度曲線の半価幅と塑性ひずみとの関係、およびＸ線回折強度曲線の積分幅と塑性ひずみとの関係のうち、少なくともいずれか１つの関係についてのデータを有する画像解析装置とを備える。画像解析装置は、Ｘ線回折装置で得た測定対象物のＸ線回折強度曲線の半価幅および積分幅のうち、少なくともいずれか１つの値と、この値と塑性ひずみとの関係を表すデータとから、測定対象物の塑性ひずみを求める。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、上記のような事情を背景になされたものであり、産業用Ｘ線ＣＴ画像装置において検出器厚みを従来より薄くし検出器アレイを稠密化した場合に発生する隣接検出器への漏れ放射線量を評価・予測し、除去することにより、撮像画像の高い空間分解能が得られるＸ線ＣＴ撮像方法および装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、前記検出器から得られるＸ線透過量データから画像を再構成するプロセスに、前記検出器毎のＸ線透過量データから、隣接する検出器による漏れ放射線量を除去する処理を含んだことを特徴とする。
【効果】本発明によれば、産業用Ｘ線ＣＴ画像装置において検出器厚みを従来より薄くし検出器アレイを稠密化した場合に発生する隣接検出器への漏れ放射線量を評価・予測し、除去することにより、撮像画像の高い空間分解能が得られる。 （もっと読む）

【課題】処理時間の短縮を図りつつ、断層画像又は立体画像における虚像の発生を防止することができるＣＴ装置を提供する。
【解決手段】被検体１に対し放射線源２及び検出器３を相対的に回転させて複数回走査する回転機構４と、検出器３からの出力信号を処理して複数の透過画像を生成する信号処理回路５と、走査位置が同じで走査回数が異なる透過画像の重ね合せ処理を行い、重ね合せ処理後の透過画像に基づいて被検体１の断層画像又は立体画像を再構成する制御装置６とを備える。制御装置６は、各走査回数の透過画像データの画素値総和量を演算し、この画素値総和量が予め設定された基準範囲内にあるかどうかを判断することにより、各走査回数の透過画像データが正常であるかどうかを判定し、正常と判定された透過画像データに対し重ね合せ処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 被検体が撮像装置内に配置された後にアライメントを行うＸ線タルボ干渉法用撮像装置において、アライメント時に被検体に照射されるＸ線量を低下させること。
【解決手段】 撮像装置１は、Ｘ線源２からのＸ線を回折することで干渉パターンを形成する回折格子３と、回折格子を経たＸ線を検出する検出器５と、Ｘ線源と前記被検体の間に配置可能なＸ線を遮るシャッタ２１と、アライメントを行う調節機構を備える。
シャッタはＸ線源と被検体の間に配置されたとき、シャッタによってＸ線の照射を遮られる第１の空間３０と、シャッタによってＸ線の照射を遮られない第２の空間３１を形成し、被検体は第１の空間に配置される。
また、調節機構は、第２の空間を経て検出器により検出されるＸ線の強度分布の少なくとも一部に基づいてアライメントを行う。 （もっと読む）

【課題】ステージの正しい高さと実際の高さとのズレを割り出し、該ズレを補正することができるパターン計測装置、ステージ高さ調整方法およびパターン計測方法を提供する。
【解決手段】パターン計測方法は、計測対象である周期構造のパターンが形成された基体を支持するステージと、前記ステージの位置と高さを制御するステージ制御手段と、電磁波を生成し、任意の仰角で前記基体へ照射する電磁波照射手段と、前記基体で散乱された電磁波の強度を検出する検出手段と、データ処理手段と、ステージ高さ補正手段と、を持つ。前記データ処理手段は、周期が既知である周期構造の領域に、照射位置を変えながら前記電磁波を照射して得られた検出信号から散乱プロファイルを作成し、該散乱プロファイルから前記周期が既知である周期構造の周期を算出し、算出された周期と前記既知の周期とのズレ量を算出して前記ステージの高さの位置のズレ量を算出する。 （もっと読む）