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Fターム[2G001EA03]の内容

Fターム[2G001EA03]に分類される特許

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【課題】結晶ウェハにより製造した3次元湾曲型X線反射レンズによる分光光学系により測角器を必要としない小型化に適した蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】X線源とX線結晶分光器とX線検出器によってなる蛍光X線分析装置であって、1方向の長さが25mm以上300mm以下で板状単結晶からなる3次元形状に湾曲した1枚のX線結晶分光器と、位置敏感かつエネルギー分解能力のあるX線検出器の少なくとも何れか一方を用いることにより、結晶分光器の角度走査をすることなくX線の分光波長帯域の蛍光X線分析を行う。 (もっと読む)


【課題】複数種類の測定データ及び解析データを取得できるX線分析装置において、データの内容とその内容をもたらした解析ソフトウエアとを簡単且つ正確に把握できるようにする。
【解決手段】複数の測定手法を実現できる機能を持ったX線分析装置1であり、この装置は、個々の測定手法を実現して測定データを取得する測定ソフトウエア36と、その測定データに対して所定の解析を行って解析データを取得する解析ソフトウエア37と、測定データ及び解析データの個々に基づいて縮小画像42を作成する縮小画像作成手段2、38と、解析ソフトウエアを指し示すアイコン43を作成する解析アイコン作成手段2、39と、縮小画像42とアイコン43とを互いが対応関係にあることを示しつつ同じ画面9a内に表示する画像表示手段2,9とを有する。 (もっと読む)


【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するA工程と、液中のSiの質量数28、Pの質量数31およびPO不純物の質量数47の質量スペクトル強度を計測するB工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するC−1工程、この固形物中のSi、P、PO元素の真空中でのエネルギー強度を測定するC−2工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するC−3工程、C−3工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記B工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のSi、P,POの真の不純物量を求める。 (もっと読む)


【課題】結晶構造を有する試料から発生する散乱線および不純線を抑制し、回折X線を回避することができるX線分析装置等を提供する。
【解決手段】本発明のX線分析装置は、試料Sを試料Sの所定点周りに回転させながら1次X線2を照射し、試料Sから発生する2次X線4の強度を試料Sの回転角度と対応させた回折パターンを取得して記憶し、回折パターンを、2次X線4の強度を示す直線で強度の高低方向に走査しながら、直線が示す強度以下の強度をもつ回折パターン上の点を候補点とし、隣接する候補点間の回転角度差の最大値が所定の角度になったときに走査を止めて候補点の回転角度を記憶し、試料Sの測定点の座標に応じて、記憶した候補点の回転角度の中から測定点の座標に最も近い回転角度を読み出し、読み出した回転角度に試料Sを設定するとともに、試料Sの測定点を検出器7の視野V内に配置する。 (もっと読む)


【課題】鋼中介在物の組成や大きさを迅速に測定すること。
【解決手段】鋼中介在物の分析方法は、鋼片試料に電子線を第1の加速電圧で照射することによって反射電子像を取得し、取得した反射電子像から鋼組織と鋼中介在物とを識別するステップと、鋼中介在物と判定された鋼片試料領域に電子線を第1の加速電圧とは異なる第2の加速電圧で照射することによって発生する特性X線を検出し、検出された特性X線から鋼中介在物の組成に関する情報を取得するステップと、を含む。これにより、鋼中介在物の組成や大きさを迅速に測定することができる。 (もっと読む)


【課題】識別するための標識物質の組み合わせが事実上無制限であり、微量の標識物質を用いるのみで識別でき、対象物の素材や製品形状、物性によらずに適用することができる放射線を用いる識別方法を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブを構成する物質以外の物質を標識物質として、ナノチューブの中空部分に内包した内包カーボンナノチューブ、あるいはナノサイズの細孔を有する多孔体を構成する物質以外の物質を、標識物質として細孔に内包した内包多孔体を、識別材料として識別対象物に付与し、対象物に放射線を照射し、標識物質から放射される2次放射線を検知して、識別材料が付与された対象物を識別する識別方法。 (もっと読む)


【課題】前置増幅部前段の性能特性の変動による影響が抑制されたX線分析装置を提供する。
【解決手段】標準サンプルから放出された蛍光X線を検出する半導体X線検出素子、及び半導体X線検出素子の出力信号を受信する初段FET回路を含む前置増幅部前段と、前置増幅部前段を冷却する冷却装置と、前置増幅部前段から出力される検出信号を分析する信号分析装置と、検出信号を分析して得られる前置増幅部前段の性能特性を示す性能値、及び前置増幅部前段の温度をリアルタイムで監視し、冷却装置を制御して性能値が規定値を満たすように前置増幅部前段の温度を調整させる制御装置とを備え、前置増幅部前段が調整された温度において、測定対象物から放出された蛍光X線を分析する。 (もっと読む)


【課題】実際の実環境において部材に発生した損傷部について、正確且つ簡略に損傷の原因を検査可能な検査方法を提供すること。
【解決手段】部材(10)に発生した損傷部(11)を被覆するように樹脂材料(12)を塗布する保護工程と、前記損傷部(11)を切り出すサンプリング工程と、前記樹脂材料(12)が形成された状態で前記損傷部(11)の分析を行う検査工程とを設ける。また、前記保護工程は、前記サンプリング工程の前に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】透過X線装置で検出した異物の位置の元素分析を蛍光X線で正確かつ迅速に行えるX線分析装置を提供する。
【解決手段】第1のX線源12と、第1のX線源から試料100を透過した透過X線12xを検出する透過X線検出器14とを有する透過X線検査部10と、第2のX線源22と、第2のX線源からのX線を試料に照射したときに該試料から放出されるX線22yを検出する蛍光X線検出器24とを有する蛍光X線検査部20と、試料を保持する試料ステージ50と、試料ステージを、第1のX線源の照射位置と第2のX線源の照射位置との間で相対的に移動させる移動機構30と、透過X線検出器にて試料中に検出された異物101の位置を演算する異物位置演算手段60と、異物位置演算手段によって演算された異物の位置が第2のX線源の光軸22cに一致するように移動機構を制御する移動機構制御手段61と、を備えたX線分析装置1である。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子顕微鏡が、様々なビームエネルギーでの一連の測定を必要とすることなく、試料からの深さ分解像を取得するために用いることのできる方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子顕微鏡を用いた試料の検査方法は、試料ホルダ上に試料を載置する手順;粒子光学鏡筒を用いて試料の表面上に特別な放射線ビームを案内することで、試料から放出される放射線を生じさせる相互作用を生じさせる手順;検出装置を用いて放出される放射線の少なくとも一部を検出する手順、試料の表面に対して垂直な軸に対する放出される放射線の放出角θnの関数として検出装置の出力Onを記録することによって、複数のθnについて測定データの組M={(Onn)}をまとめる手順、コンピュータ処理装置を用いて測定データの組Mのデコンボリューションを自動的に行って、結果の組R={(Vk,Lk)}に分解する手順を有する。 (もっと読む)


【課題】海洋コンクリートから製造される細骨材について、迅速に精度よく、JIS A 5002に規定の試験方法に基づいて得られる可溶性塩化物含有率を推定する。
【解決手段】海洋コンクリート製の細骨材Sについて、X線装置1により1次X線R1を照射した際に細骨材Sから放射される蛍光X線R2のX線強度と、JCI規準集に規定の全塩化物定量方法に基づいて得た細骨材Sの全塩化物含有率との関係を予め把握し、全塩化物含有率と、JIS A 5002に規定の試験方法に基づいて得た細骨材Sの可溶性塩化物含有率との関係を予め把握し、海洋コンクリート製の新たな細骨材SのX線強度を測定し、この測定値と、予め把握したX線強度と全塩化物含有率との関係と、予め把握した全塩化物含有率と可溶性塩化物含有率との関係とに基づいて、この細骨材Sについて、JIS A 5002に規定の試験方法に基づいて得られる可溶性塩化物含有率を推定する。 (もっと読む)


【課題】 連続した波長を有する白色X線から、設定した波長範囲の多波長X線を容易に選択して取り出すことができるX線分光システムを提供する。
【解決手段】 白色X線が入射されるX線導波路と、前記X線導波路から出射した回折角の異なる回折X線を分離して、前記回折X線から設定した波長範囲の多波長X線を選択して取り出すためのX線選択手段とを具備するX線分光システムであって、前記X線導波路がコアとクラッドを有し、前記コアは屈折率実部の異なる複数の物質を含む基本構造が周期的に配されている周期性構造体で形成されており、前記クラッドと前記コアとの界面における前記X線の全反射臨界角が、前記コアの周期性構造体の基本構造の周期性に対応するブラッグ角よりも大きいことを特徴とするX線分光システム。 (もっと読む)


【課題】X線に基づいた分析の際に対象物にビームをマッチングさせる際の問題点を解決する。
【解決手段】検査方法は、サンプルの表面上においてスポットを画定するべく合焦されるX線ビームを使用してサンプルを照射する段階を含んでいる。表面上の特徴部を横断するスキャン経路に沿ってスポットをスキャンするべく、サンプル及びX線ビームの中の少なくとも1つをシフトさせる。スポットが異なる個々の程度の特徴部とのオーバーラップを具備しているスキャン経路に沿った複数の場所において、X線ビームに応答してサンプルから放射される蛍光X線の個々の強度を計測する。スキャン経路における放射蛍光X線の調節値を演算するべく、複数の場所において計測された強度を処理する。調節済みの値に基づいて、特徴部の厚さを推定する。 (もっと読む)


【課題】波高分析器で選別される所定の波高範囲が変更されても、計数手段で求められたパルスの計数率を正確に補正できる波長分散型蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】数え落とし補正手段11が、検出器7のデッドタイムに基づいて計数手段10で求められたパルスの計数率を補正するにあたり、波高分析器9で選別される所定の波高範囲とデッドタイムとの相関をあらかじめ記憶しており、その記憶した相関に基づいて、測定時の所定の波高範囲に対応するようにデッドタイムを決定する。 (もっと読む)


【課題】放射線検出器が有する時間分解能を維持しつつ、放射性核種の定量分析及びエネルギー分析を精度良く行うことができる放射線計測装置を提供する。
【解決手段】半導体放射線検出器1から出力されるアナログパルス信号ごとに、このアナログパルス信号をアナログデジタル変換器2により複数のデジタル信号に変換する。これらのデジタル信号が入力されるスレッショルド回路3は、スレッショルド値を超えるデジタル信号を弁別する。デジタル信号加算回路4は、弁別された複数のデジタル信号をアナログパルス信号ごとに加算してアナログパルス信号ごとに加算値を求める。それぞれの加算値を入力するスペクトル生成回路5は、それらの加算値を用いて放射線エネルギースペクトルを生成し、放射線エネルギースペクトルを用いて放射性核種9の定量分析及びエネルギー分析を精度良く行う。 (もっと読む)


【課題】微小試料の測定室への落下による装置の不具合と故障を、未然に防止することができる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】測定部に備えられた撮像装置7によって、試料3下部の透明な落下防止板11を通して試料3の被測定部位を、例えば0.5秒に一回撮影する。この画像を画像記憶装置16によって記憶し、画像比較装置15直近の2つの画像を比較する画像に差がある場合は、表示装置17に警報を表示するとともに、制御装置14を介して落下防止板11の動作を停止する。 (もっと読む)


【課題】 金属部材の化成処理膜中に含まれる六価クロムを重量濃度で定量する分析方法を提供する。
【解決手段】
分析対象となる検体を研磨シート上に採取した分析試料に励起X線を照射し、弾性散乱X線強度を測定する手順と、散乱X線強度に基づいて分析試料の重量を算出する手順と、研磨シートの接着剤層を有機溶媒中で溶解した溶液をろ過し、ろ過残渣として分析試料を分離する手順と、ろ過した残渣をアルカリ分解液に溶解させた溶液中の六価クロム量を測定する手順と、分析試料の重量に対する六価クロム量の比を六価クロムの重量濃度として算出する手順とを有することを特徴とする六価クロムの分析方法に関する。 (もっと読む)


【課題】3元系の酸化物の組成比を容易に測定することができる方法を提供する。
【解決手段】第1元素および第2元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる2元系または3元系の酸化物であって各々の組成比が既知であり互いに異なる複数の標準試料それぞれに対してEPMA測定を行って特性X線スペクトルを求め、これら複数の標準試料それぞれの特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519〜522eV内のピーク位置に基づいて、このピーク位置と組成比との間の関係式を作成する。この関係式を用いることで、第1元素,第2元素および酸素元素からなる3元系の酸化物である対象物の特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519〜522eV内のピーク位置から、該対象物の組成比を求める。 (もっと読む)


【課題】放射光装置(高エネルギー電子蓄積リング)等の大がかりな装置を用いることなく、比較的簡易な連続X線光源を用い、被測定物に含有される各元素の平均密度、全量等を非破壊で測定することのできる定量分析方法、及び、そのような定量分析方法を実施することのできる元素別定量分析装置を提供する。
【解決手段】炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性の軽元素からなり、冷陰極電子源から放出された電子が入射面に入射され、入射方向に対して前方にX線を放出するターゲット、及び、該ターゲットで発生したX線以外のX線を遮蔽する遮蔽部材を具備する連続X線光源と、エネルギー弁別型検出器とを用いて、被測定物のX線吸収スペクトルにおける含有各元素の吸収端ジャンプ量を求め、あらかじめ標準試料等で決定した元素別の質量吸収端ジャンプ係数と前記含有各元素の吸収端ジャンプ量に基づき、被測定物に含有される各元素について同時にX線透過経路上の面密度を測定することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高エネルギーの電子蓄積リングのような大がかりな装置を用いることなく、所定値以上のエネルギー領域において特性X線の無い連続X線を発生することのできるX線放射装置を提供する。
【解決手段】X線放射装置は、炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性軽元素ターゲットからなり、冷陰極電子源から放出された電子を入射するターゲット、及び、該ターゲットで発生したX線以外のX線を遮蔽する遮蔽部材を具備し、電子の入射方向に対して前方に放出するX線を利用することを特徴とする。 (もっと読む)


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