説明

Fターム[2G001FA06]の内容

Fターム[2G001FA06]に分類される特許

21 - 40 / 669


【課題】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工,観察,追加工を行う装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の真空室内にイオン液体を充填した液体浴と超音波振動手段を配置し、イオン液体と試料の加工対象領域が接触した状態において、イオン液体中に超音波振動を伝搬させて試料を加工する。
【効果】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工,観察,追加工ができるため、スループットを向上させるとともに、大気の影響を防止する。 (もっと読む)


【課題】走査透過型電子顕微鏡を用いて簡易に歪の分布解析を行う結晶材料の格子歪評価方法、評価システムを提供する。
【解決手段】結晶材料の格子歪評価方法は、結晶構造を有する試料に対して晶帯軸方向に電子線を照射し、試料により回折される複数の回折波の内、特定方向に回折される特定の回折波を選択して検出する工程と、上記電子線を照射し特定の回折波を選択して検出する工程を、試料上を走査しつつ繰り返し、試料について各点での回折強度から特定の回折波に対応する方向の歪分布像を得る工程と、を含む。格子歪が生じると励起誤差が変化し回折強度は変化するので歪分布像が得られる。 (もっと読む)


【課題】X線検出器等の被冷却物を冷却できない原因となる異常箇所を判定できる冷却装置を提供する。
【解決手段】筐体41内に配置された被冷却物32を設定目標温度に冷却する冷却装置40であって、被冷却物32の熱を吸熱する吸熱部51と、吸熱部51が吸熱した熱を排熱する排熱部52と、回転羽根42bが回転することで排熱部52に向かって冷却風を送るファン42と、被冷却物32の温度を測定する被冷却物温度センサ44と、吸熱部51の温度を測定する吸熱部温度センサ45と、被冷却物温度センサ44からの温度情報に基づいて、被冷却物32の温度が設定目標温度となるように、吸熱部51が吸熱する熱量を調整する制御部とを備え、制御部は、回転検知センサ46、被冷却物温度センサ44及び吸熱部温度センサ45からの情報に基づいて、被冷却物32を冷却することができない原因となる異常箇所を判定する。 (もっと読む)


【課題】波高分析器で選別される所定の波高範囲が変更されても、計数手段で求められたパルスの計数率を正確に補正できる波長分散型蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】数え落とし補正手段11が、検出器7のデッドタイムに基づいて計数手段10で求められたパルスの計数率を補正するにあたり、波高分析器9で選別される所定の波高範囲とデッドタイムとの相関をあらかじめ記憶しており、その記憶した相関に基づいて、測定時の所定の波高範囲に対応するようにデッドタイムを決定する。 (もっと読む)


【課題】X線照射手段側のX線照射のON/OFF状態を検出する、あるいはX線照射手段側のX線照射の異常を検出することができるX線制御装置を提供する。
【解決手段】X線管21も含めてX線発生装置31の消費電流に基づいて、X線照射のON/OFF状態を電流検出回路11aが検出することで、消費電流をモニタリングすればX線発生装置31側のX線照射のON/OFF状態を検出することができる。また、当該消費電流とX線照射条件との比較に基づいて、設定されたX線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、X線照射の異常を電流検出回路11aが検出することで、消費電流をモニタリングすればX線発生装置31側のX線照射の異常を検出することができる。 (もっと読む)


【課題】X線検査装置において、検査対象領域を広くしつつ、対象物を確実に保持できるようにする。
【解決手段】X線検査装置において、クランプ50は上方から基板10を支持する。クランプ50の上記端面は傾斜を有する。これにより、クランプ50に確実に基板10を支持させつつ、X線源2から放射されるX線(符号XRで示されている)の基板10による透過光がクランプ50によって遮蔽されることを極力回避できる。 (もっと読む)


【課題】X線画像を用いて被検査対象を検査する場合に、被検査対象における検査領域を精度よく設定することが可能なX線検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物の検査を実行するX線検査装置において、被検査物における検査領域を設定する検査領域設定方法は、被検査物の検査対象を含む第1の領域の可視画像を撮像するステップ(S104)と、被検査物の検査対象を含む第2の領域に対して、X線画像を撮像するステップ(S112)と、第1の領域についての可視画像と第2の領域についてのX線画像を、位置および倍率をそろえて、検査対象の位置を示すマークとともに同時に表示するステップ(S118)と、表示した検査対象のマークの位置およびX線画像における検査対象の位置について確認の入力を受け付け、検査領域を確定するステップ(S120)とを備える。 (もっと読む)


【課題】対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物あるいは対象物中のどの部分かがわかることができるX線検査装置を提供する。
【解決手段】テーブルに過去に記憶された複数の外観像からなる外観像群Iの中から対象となる外観像Iを選択する。選択された外観像Iに関連付けられ、かつテーブルに過去に記憶されたX線透視像F100を読み出してモニタ10Mに表示すると、選択された外観像Iの対象物(サンプル)から、それに関連付けられたX線透視像F100を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。 (もっと読む)


【課題】表示パターンのフレームサンプリングから得られた撮像画像(シグナルイメージ)の収縮、膨張等のフレーム間の幅に不均等な部分が生じた場合であっても、各ラインの座標位置を正確に算出し、液晶パネルのピクセル位置を正確に算出する。
【解決手段】表示パターンを撮像して得られる撮像画像(シグナルイメージ)において、実検出ラインの座標位置を検出した後、次に座標位置を検出する実検出ラインを求める際に、前の実検出ラインの信号強度パターンと比較することによってラインの良・不良の検出、および、不良ラインの収縮又は膨張の判定を行い、次の実検出ラインを求める。ラインの良・不良を検出し、不良ラインの収縮・膨張の判定することによって、ライン幅にばらつきが生じた場合であっても、各ラインの座標位置を正確に算出する。 (もっと読む)


【課題】微小試料の測定室への落下による装置の不具合と故障を、未然に防止することができる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】測定部に備えられた撮像装置7によって、試料3下部の透明な落下防止板11を通して試料3の被測定部位を、例えば0.5秒に一回撮影する。この画像を画像記憶装置16によって記憶し、画像比較装置15直近の2つの画像を比較する画像に差がある場合は、表示装置17に警報を表示するとともに、制御装置14を介して落下防止板11の動作を停止する。 (もっと読む)


【課題】異物検出の閾値を高感度な状態に保ち、異物の誤検出を防ぎつつ高精度に検出することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査物WにX線を照射して検出したX線透過量を表すX線画像に対して、複数の画像処理フィルタを組み合わせてなる複数の異物強調処理を用いてそれぞれ並列に画像処理を行う画像処理部50と、複数の異物強調処理を施した結果の濃淡画像から、それぞれ所定の閾値を用いて異物候補を検出する複数の異物候補検出部61〜64と、X線画像上の同じ箇所で複数の異物候補検出部61〜64によって異物候補が検出され、かつ、それらの異物候補が予め設定された異物の有無を判定するための複数の異物強調処理に対する異物候補の組合せであるときに、被検査物W中に異物が有ると判定する異物判定部44と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】正確な検査を短時間で行うことができる欠陥検出装置、欠陥検出方法、及び欠陥検出プログラムを提供する。
【解決手段】配線を有する試料30に対して電荷を与えることで、与えられた電荷に応じて輝度が変化する画像を、試料30の配線の方向における異なる箇所で取得する画像取得装置10と、試料の画像から、欠陥箇所に対応する輝度の不連続点の位置を求める不連続点特定部23と、複数枚の試料の画像中における輝度の不連続点の位置を比較して、複数枚の画像を取得した箇所の間に、欠陥が存在するか否かを判定する判定部24と、を備える。 (もっと読む)


【課題】サンプリング不良により生じる欠陥の誤検出を解消する。
【解決手段】ピクセルに対して異なる電圧の検査信号を二次元で互いに交互に印加する際に得られるピクセルの信号強度パターンの特徴を利用し、検査対象のピクセルに対してy方向で隣接するピクセルの信号強度と比較対照することによって、サンプリング不良によるx方向のサンプリング点の行が欠如した場合であっても、サンプリング行に含まれるピクセルについて欠陥検出を行う。検査対象のピクセルに対してy方向に隣接するピクセルの信号強度との比較対照において、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がy方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と異なる信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定し、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がy方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と同じ信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定する。 (もっと読む)


【課題】2つのX線画像上の被検査物の大きさの違いを、異物検出性能の低下が無視できる程度に低減することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】X線管32をその鉛直軸上の位置を調整可能に支持する支持機構71と、第1のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第1の波形と第2のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第2の波形とを取得して比較し、第2の波形の幅が第1の波形の幅より大きいときは、X線管32の調整方向が鉛直軸上方であると判定するとともに、第2の波形の幅が第1の波形の幅より小さいときは、X線管32の調整方向が鉛直軸下方であると判定する調整判定部81と、調整判定部81により判定された調整方向を表示する表示器5と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、観測上の精度の限界と消滅則の影響を考慮し、かつ、高速な指数付けを可能とする技術を提供することである。
【解決手段】本発明の情報処理装置は、q値の集合を取得する手段と、q値の集合から、組合せに含まれない他のq値を算出可能な第1のq値の組合せを取得する手段と、第1のq値の組合せと他のq値から、結晶格子の逆格子の2次元部分格子の基底に係る第2のq値の組合せを取得する手段と、2次元部分格子の基底がそれぞれ共通する第2のq値の組合せ同士を関連付ける手段と、互いに関連付けられた第2のq値の組合せに含まれる異なるq値の数による比較を行う手段と、比較の結果が所定の条件を満たす関連付けに係る第2のq値の組合せから、結晶格子の逆格子に係る第3のq値の組合せを特定し、該特定した第3のq値の組合せから結晶格子の格子定数の候補を取得する手段と、を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】自由に動かすことのできない被検体に対し、観察部分の拡大率と透視方向を自由に操作性よく設定して透視する。
【解決手段】X線管2を位置決めするロボット7と、ロボット7を制御する制御部9と、X線検出器5を位置決めするロボット8と、ロボット8を制御する制御部10と、被検体1の着目点を基準とした被検体座標に基づいたX線焦点Fの位置と透過像の拡大率とに関する透視条件データを受け付けて、透視条件データを実現するためのロボット7の所定の姿勢、およびロボット8の所定の姿勢を計算し、それぞれ制御部9と制御部10に送信するデータ処理部11とより成り、被検体座標に基づいて透視方向と拡大率を変更する放射線透視検査装置。 (もっと読む)


【課題】測定者が必要とする試料上の領域のみを、必要最小限の動作で測定することで、マッピング分析に要する測定時間を短縮するX線分析装置を提供する。
【解決手段】マッピング像と試料の画像データとを重畳処理し、照射ポイントに相当する位置を決定し、その結果に基づき画像表示し、該表示された画像において測定実施領域を指定して、試料移動機構が指定された領域以外を高速で移動するようにした。 (もっと読む)


【課題】 衝突危険領域を過大に設定することを防止し、スムースにX線透検査を行うことができるX線検査装置を提供する。
【解決手段】 衝突危険領域設定部33は、X線測定光学系13が被測定物に接触する可能性のある衝突危険領域を設定するものであり、背景モデル作成部34と、外観形状抽出部35と、衝突危険領域算出部39とを備える。外観形状抽出部35は、背景モデル作成部34において作成された背景モデルと、回転ステージ14a上に被測定物Sを載置している状態で、回転ステージ14aを回転させながら光学カメラ16により撮影して得た複数の試料画像と、を比較することで被測定物Sの外観形状を抽出するものであり、外観形状候補作成部36と、影除去部37と、最適化部38とを有する。 (もっと読む)


【課題】比較的簡便に検査作業が行え、しかも、対象物を運んでいるベルトコンベアであっても、ベルトの良否を判定できるベルトコンベアのベルトの検査装置を提供する。
【解決手段】ベルトコンベアに使用されているリターン側のベルト12の上側及び下側のいずれか一方側に配置されたX線発生器13と、ベルト12の他方側に配置され、X線発生器13からの透過X線を受けるX線ラインセンサー14と、X線ラインセンサー14の出力によって、ベルト12を通過したX線の透過量とその位置からベルト12のX線透過画像を作る制御手段16とを有する。 (もっと読む)


【課題】
本発明は集積回路、磁気ヘッド、磁気ディスク、太陽電池、光モジュール、発光ダイオード、液晶表示パネルなど基板上に発生した欠陥や異物の画像を撮像し、欠陥や異物を種類ごとに分類する欠陥分類装置において、撮像した画像に写っている欠陥の重要度を定量的に計算し、重要度の高い欠陥が写っている画像だけをデータベースに保存することで、ネットワーク負荷やデータベース負荷を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥座標データを入力し、画像撮像プログラム501にて画像を撮像し、特徴量抽出プログラム502にて撮像した画像から欠陥の特徴量を抽出し、欠陥分類プログラム503にて欠陥を種類別に分類し、重要度予測プログラム504にて欠陥毎に重要度を計算し、画像選別プログラム506にて重要度に基づいて画像をデータベースに伝送するか否かを判定する。 (もっと読む)


21 - 40 / 669