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Fターム[2G001FA06]の内容

Fターム[2G001FA06]に分類される特許

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【課題】搬送される被検査物の欠陥等をインラインで正確に検出することが可能なX線検査装置を提供する。
【解決手段】通過する被検査物Mに対して直交する平面内でX線光源31から拡散し被検査物Mを横断する帯状のX線Lを照射するX線発生器3と、被検査物Mを透過したX線Lを入光させてその受光強度に応じた出力信号を発するX線ラインセンサカメラ4とを備える。パソコン5は、上記出力信号より被検査物Mの透過画像を生成するとともに、サンプル被検査物のマスタ画像を記憶しておき、透過画像とマスタ画像の位置合せを行なった後、位置合せを行なった透過画像とマスタ画像についてその伸縮を略一致させ、伸縮を略一致させた透過画像とマスタ画像との差分画像を得る。 (もっと読む)


【課題】宇宙線ミュオン用いて、操業条件毎の反応炉内部の密度分布を推定する方法を提供する。
【解決手段】反応炉内部を通過してミュオン計測器で検出されるミュオンの飛来方向毎の累積強度情報を一定時間毎に繰り返し記録するステップ1と、ステップ1を実施している最中の反応炉の操業条件の時間変化を記録するステップ2と、ステップ1及びステップ2で記録された情報に基づいて、一定時間毎のミュオンの飛来方向毎の累積強度情報を操業条件と関連づけるステップ3と、ステップ3で得られた情報に基づいて、特定の操業条件のときにミュオン計測器で検出された飛来方向毎の累積強度情報の合計値を生成するステップ4とを含む操業条件と関連づけられた反応炉内密度分布推定方法。 (もっと読む)


【課題】円筒面変換処理と時間遅延積分処理との両方を同じ演算制御過程内で行うことを可能にすることにより、極めて分解能が高く、しかも強度の高い回折X線像を得ることができるX線回折装置を提供する。
【解決手段】CPU17、メモリ20等から成るコンピュータの外部にDSP(デジタルシグナルプロセッサ)から成る信号処理部21を設置して成るX線回折装置1である。測定装置2はX線回折測定を行う。2次元ピクセル型検出器12は複数のピクセルから出力されるデータ量の大きな2次元回折線データを高速通信線であるカメラリンクケーブル24を通して信号処理部21へ伝送する。信号処理部21は送られてきた大量の回折線データに対して円筒面変換処理26及び時間遅延積分処理27を行い、処理結果の画像データを1ラインの行データごとにバス23へ伝送する。 (もっと読む)


【課題】
性質が異なる画像を取得する複数種類の観察装置を用いた欠陥分類システムにおいて、分類性能及びシステムの操作性を向上させる。
【解決手段】
被検査対象を撮像する複数の画像撮像手段と、上記画像撮像手段から得られた画像を分類する欠陥分類装置と、上記複数の画像撮像手段と、上記欠陥分類との間のデータ伝送を行う為の伝送手段からなる欠陥分類システムにおいて、上記欠陥分類装置に、画像撮像手段から得られた画像データを記憶する画像記憶手段と入力画像データに関する付随情報を記憶する情報記憶手段と、上記、付随情報に応じて画像の処理方式あるいは表示方式を変更する手段を備える。 (もっと読む)


【課題】X線の漏洩防止を図りつつ、検査室を良好な衛生状態に保つ。
【解決手段】このX線検査装置は、被検査物を検査する検査室S2と、検査室S2内にX線を照射するX線源と、X線源から照射されるX線を検出する検出部と、検査室S2内に被検査物を搬入出させる搬送部と、検査室S2の前面に設けられた検査室を開放するX線遮蔽扉600と、を備える。X線遮蔽扉600は、第1遮蔽部材610、第2遮蔽部材620、および第3遮蔽部材630を含み、第2遮蔽部材620は、第1遮蔽部材610および第3遮蔽部材630よりもX線遮蔽性が高く、第1遮蔽部材610は、検査室S2側の最内側に配置されることで検査室S2の前面を形成し、かつ検査室S2側の面が連続した平坦面を有し、第2遮蔽部材620は、第1遮蔽部材610の外側に配置され、第3遮蔽部材630は、第2遮蔽部材620の外側で、かつ第2遮蔽部材620に対して所定間隔を有して設けられる。 (もっと読む)


【課題】X線の漏洩を防止しつつ、被検査物のX線検査を適切に実施する。
【解決手段】X線検査装置は、被検査物を検査する検査室S2と、検査室S2内に設けられたX線照射口UからX線を照射するX線源と、X線源から照射されるX線を検出する検出部400と、検査室S2内に被検査物を搬入出させる搬送部500と、検査室S2内へ被検査物を搬入出するための搬入出口201,202を遮蔽するX線遮蔽カーテン671〜676と、を含む。X線遮蔽カーテン673,676は、X線遮蔽カーテン673,676の鉛直方向の長さC1,C2が、X線照射口UからX線遮蔽カーテン673,676が配置されている位置までの水平長さL5,L6と比較して、略同一または短い位置に設けられる。 (もっと読む)


【課題】高速かつ高感度で微小欠陥を検出する。
【解決手段】実施形態のパターン欠陥検査装置は、検査対象パターンに関する第1のデータに基づいて、前記検査対象パターンに対する電子ビームの照射点の軌道に関するデータを含み前記電子ビームの走査を制御するためのデータである電子ビーム照射点軌道データを生成する電子ビーム照射点軌道データ生成手段と、前記電子ビーム照射点軌道データに従って前記検査対象パターンに電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、前記電子ビームの照射により前記検査対象パターンから発生する二次電子を検出する二次電子検出手段と、前記二次電子検出手段の出力信号から前記二次電子の信号強度に関する第2のデータを取得する信号強度取得手段と、前記第2のデータから異常点を検出して前記検査対象パターンの欠陥として出力する欠陥検出手段と、を持つ。 (もっと読む)


【課題】二重エネルギ計算機式断層写真法(CT)でのエネルギ分離を拡大する。
【解決手段】イメージング・システム(10)が、X線のビーム(16)を撮像対象(22)へ向けて放出するX線源(14)と、対象(22)によって減弱されたX線(16)を受光する検出器(18)と、X線源(14)と対象(22)との間に配置されるスペクトル・ノッチ・フィルタ(15)と、検出器(18)に接続されて動作するデータ取得システム(DAS)(32)と、DAS(32)に接続されて動作するコンピュータ(36)とを含んでおり、コンピュータ(36)は、第一のkVp(104)において第一の画像データセットを取得し、第一のkVp(104)よりも大きい第二のkVp(108)において第二の画像データセットを取得して、第一の画像データセット及び第二の画像データセットを用いて対象(22)の画像を形成するようにプログラムされている。 (もっと読む)


【課題】X線検査を効率的に実施することができるX線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】開始位置である第1開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置が、第2〜第10開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置と同じである場合において、第1開始ポイント、その後の観察ポイント(ここでは縦・横の送り量)および第2〜第10開始ポイントをそれぞれ設定して登録する。このように、第2〜第10開始ポイントの後の残りの観察ポイントを登録せずとも、登録された第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第2〜第10開始ポイントに基づいて、当該残りの観察ポイントを演算することが可能であり、必要である第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第2〜第10開始ポイントのみを登録すれば、X線検査を効率的に実施することができる。 (もっと読む)


【課題】被検査物の重心を正確に算出する。
【解決手段】X線検査装置は、被検査物Bに異物Cが混入しているか否かを検出する異物検出部と、異物検出部により検出された異物Cの重心G1を算出する異物重心算出部と、被検査物Bの異物Cを除いた対象部分Dの重心G2を算出する対象部分重心算出部と、異物重心算出部により算出された異物Cの重心G1と、対象部分重心算出部により算出された対象部分Dの重心G2とに基づいて、被検査物Bの重心Gを算出する重心算出部とを備えている。 (もっと読む)


【課題】複数の信号を用いた高精度な寸法測定を実現することを可能にする。
【解決手段】本実施形態は、走査顕微鏡を用いて対象物の寸法測定を行う寸法測定方法であって、前記対象物の測定に関する始点および終点となる測長点を定義する工程と、前記対象物にビームを入射して走査することにより、同時刻における前記対象物からの複数の信号を検出する工程と、前記対象物の測長点の定義に基づいて、前記複数の信号から測長点を決定する工程と、前記対象物において決定された測長点の間の距離を算出する工程と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】無機成分を含んでガラスビードに調製すべき試料について、無機成分のみの濃度を簡便かつ正確に求めることができる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】FP法により試料における各成分の濃度を算出する算出手段10Aを備えた蛍光X線分析装置であって、算出手段10Aが、ガラスビード3について試料3aに含まれていた各無機成分の濃度および残分としての融剤3bの濃度を仮定して、ガラスビード3における各成分の濃度を算出し、算出した各無機成分の濃度の合計が100%になるように規格化して各無機成分の濃度を試料3aについての最終分析値とする。 (もっと読む)


【課題】容器中の二相流状態における液膜厚さの分布情報を求めるために、CT画像により計測領域を2次元又は3次元の連続的情報として得る。CT装置での時間平均画像において液膜厚さを評価しようとした場合に、液膜分布を計測するために液膜の真値との相関関係を把握することが必要となる。
【解決手段】被検体を透過するエネルギーを持つX線源と、透過X線を検出する検出器と、被検体の全周方向からの透過データが取得可能な機構とからなるX線CT装置と、該被検体内の容器表面の液膜厚さを計測可能な厚さ計測器を少なくとも1つ有し、X線CT装置が取得するCT画像において厚さ計測器の計測位置と対応する箇所の液膜厚さを、厚さ計測器の計測値によりキャリブレーションを実施し、CT画像から液膜厚さを算出する。 (もっと読む)


【課題】結晶構造を有する試料から発生する散乱線および不純線を抑制し、回折X線を回避することができるX線分析装置および方法を提供する。
【解決手段】X線分析装置は、試料Sを試料の所定点周りに360°回転させながら1次X線2を照射させて取得した回折パターンを記憶する制御手段15と、試料SのR−θ座標において試料の測定面上に位置することができる試料の平行移動範囲の上下限値のθ座標を、演算および/または記憶する演算記憶手段17と、演算および/または記憶されたθ座標の上下限値、および回折パターンに基づいて、隣り合う間隔がθ座標の上下限値範囲内の角度であって、回折X線を回避できる回避角度を選択するための選択手段とを備え、制御手段15が試料の測定点の座標に応じて、回避角度の中から測定点の座標に最も近い回避角度を読み出して、読み出した回避角度に試料を設定する。 (もっと読む)


【課題】パイプの放射線透視像のうちのパイプを横断する方向の輝度プロファイルを使用してパイプの外径点及び内径点を精度よく推定し、パイプ厚みを正確に計測可能にする。
【解決手段】計測対象のパイプの放射線透視像のうちのパイプを横断する方向の輝度プロファイルを取得し、この輝度プロファイルに基づいてパイプの外径点を推定する(ステップS10〜S40)。その後、推定された2つの外径点の内側の領域を設定して輝度プロファイルをセクター分割し、このセクター分割された輝度プロファイルに基づいてパイプの内径点を推定する(ステップS52〜S60)。特に、内径点推定時に、パイプの2つの外径点の内側の所定の領域に対応する輝度プロファイル(即ち、内径点の推定に関係しない情報が排除された輝度プロファイル)に基づいて内径点を検出するようにしたため、内径点推定を精度よく行うことができるようにしている。 (もっと読む)


【課題】 特別な構成を設けることなくX線曝射の開始及び停止において生じる遅延時間を簡易で安価に測定する技術を提供する。
【解決手段】 X線を曝射してX線画像を取得するX線撮影装置は、X線を出力する出力手段と、出力手段に制御信号を供給してX線出力に係る動作を制御する制御手段と、出力されたX線を検出して電荷を蓄積する複数の検出素子を備えた検出手段と、複数の検出素子を一定の速度で順に走査して、各検出素子に蓄積された電荷を読み出す読出手段と、各検出素子の電荷を画素値に変換して画像を生成する生成手段と、生成した画像を解析して、制御信号の出力に対する、出力手段のX線出力に係る動作の遅延を測定する測定手段とを備える。出力手段は検出手段が備える各検出素子に対して一定強度のX線を出力し、測定手段は、画像において画素値の変化が存在する領域と存在しない領域との境界の位置と、走査の速度とに基づいて遅延を測定する。 (もっと読む)


【課題】再構成画像の偽像や像の欠落を大きく低減し、再構成の精度を向上するとともに、複数成分で構成されている観察対象物に対しても、構造物の組成数が未知である試料に対しても適用できる画像処理を提供すること。
【解決手段】観察対象物を傾斜する傾斜装置と撮像装置を有した電子顕微鏡において、該観察対象物をある角度ステップで傾斜し、得られた傾斜画像を格納する手段、該傾斜画像の位置を合わせる手段、該傾斜画像を元に初期再構成画像を生成する手段、該初期再構成画像を任意の角度に投影し複数枚の投影画像を生成する手段、上記傾斜画像と上記投影画像との対応するピクセルの誤差を演算する手段、該誤差から処理の優先度を決定する手段、階調レベル毎に密度を演算する手段、該密度から処理の優先度を決定する手段、更に上記それぞれの優先度で上記初期再構成画像の各ピクセルの濃度値を変化させる手段を備えた画像処理装置。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェーハに形成された半導体チップのメモリマット部の最周辺部まで高感度に欠陥判定できる検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】所定パターンがX方向,Y方向ないしXY両方向に所定のピッチで繰返し形成された回路パターンの形成領域を備えるダイの画像を取得して欠陥を判定する回路パターン検査装置において、前記取得された回路パターンの画像を記憶する画像メモリと、該画像メモリに記憶された画像を、当該画像データを前記X方向,前記Y方向ないし前記XY両方向のいずれかの方向に加算平均して得られる加算平均画像と比較して差分画像を生成し、該差分画像の差分値が予め定められたしきい値より大きい領域を欠陥と判定するプロセッサエレメントと、を備える。 (もっと読む)


【課題】結晶構造が回転対称の試料だけでなく、回転対称でない試料であっても、簡単に精度のよい分析をすることができるコンパクトな蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光X線分析装置は、結晶構造を有する試料Sが載置される試料台8と、試料Sに1次X線2を照射するX線源1と、試料Sからの2次X線4を検出する検出手段7と、試料台8を回転させる回転手段11と、試料台8を平行移動させる平行移動手段12と、試料Sの回転角度とその角度で発生する2次X線4の強度とを対応させて取得した回折パターンに基づいて、隣り合う間隔が180°未満であって、回折X線を回避できる回避角度を少なくとも3つ選択するための選択手段17とを備え、制御手段15が、試料台8、回転手段11および平行移動手段12が当該装置の他の構造物と干渉しない回避角度に試料Sを設定するように回転手段11を制御する。 (もっと読む)


【課題】3次元画像から抽出した領域を表す領域データの編集を、再現性を低下させることなく、かつ、効率良く行なうことができる方法および装置を実現する。
【解決手段】
本発明の領域データ編集装置1は、領域Dの輪郭線Cを変形する輪郭線変形操作を受け付ける輪郭線変形部12と、輪郭線変形部12が変形した輪郭線に追随するように境界面∂Dを変形する境界面変形部13と、境界面変形部13が変形した境界面の内部を表すように領域データ22を更新する領域データ更新部14を備えている。 (もっと読む)


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