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Fターム[2G001FA08]の内容

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物体の画像を生成して表示するための装置および方法は、線源および、線源との間に走査範囲を定義するために間隔を置かれて、物体を通って伝えられて入射する放射を検出できる、少なくとも2つ(好ましくは3つ以上)の一連の線形検出器;線形検出器に沿って互いにある角度で連続した経路において、走査範囲を通って物体を相対的に移動させる手段;少なくとも、第1の線形検出器の出力から第1の画像、第2の線形検出器の出力から第2の画像、および第3の画像を各連続した経路のために生成する画像生成装置;第1、第2、第3の画像を連続して表示し、したがって、画像間に単眼の移動視差を表示するのに適した画像ディスプレイ;が使用される。各画像は、走査方向に対して垂直な方向においてビーム拡散に起因する歪みを減らすような方法で、表示の前に処理される。画像間の単眼の移動視差は、観察者の目に見える三次元キューを生成するのに用いられる。 (もっと読む)


【課題】被測定物体の三次元形状を短時間で高精度に測定可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置1を、被測定物体Sに照明光を照射してこの被測定物体Sを透過した光を検出し、被測定物体Sの透過画像を出力する透過画像検出部4と、被測定物体Sの表面のうち、少なくとも照明光が透過する領域を含む表面の形状を測定する表面形状測定部5と、透過画像検出部4から出力された被測定物体Sの透過画像から得られる形状データを、表面形状測定部5で測定された測定値で補正する制御部7と、から構成する。 (もっと読む)


【課題】 エアーデータの収集作業に煩わされること無く被検体の断層撮影を行うことにある。
【解決手段】 予め、所定の管電圧と管電流とラミノ角において、被検体4をX線検出器2の視野から外して透過データが飽和しないようにエアーデータを収集した後、被検体4をX線検出器2の視野内で撮影位置設定するとともに断層撮影条件を設定し、回転機構8によりX線と被検体4とが相対的な回転を行いつつ、複数の回転位置で検出した透過データを取得し、先に収集したラミノ角ごとのエアーデータから、断層撮影条件に適合する推定エアーデータを求め、得られた推定エアーデータを用いてエアー補正を施して再構成処理し、被検体4の3次元画像を得る円錐軌道断層撮影装置である。 (もっと読む)


【課題】絶縁性樹脂中に存在する最大長が50μm以上の金属粉異物を検知・判別することができ、且つインライン化が可能な金属粉異物の検知方法を提供する。
【解決手段】絶縁性樹脂組成物中に異物として存在する金属粉を、少なくとも1台のX線管2,3を有するX線透視装置を用いて、X線照射角度を変化させることにより検知した後、画像処理装置8を用いて自動的に該金属粉を画像認識することを特徴とする絶縁性樹脂組成物中の金属粉異物の自動検知方法である。 (もっと読む)


【課題】ウェハの評価の良い部分の領域や悪い部分の領域が分かる半導体検査装置のデータ処理方法とデータ表示方法と半導体検査装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを用いた吸収電流測定方法を用いて、ウェハ23のコンタクトホール界面状況を評価する半導体検査装置において、電子銃10によって所定の電子ビームサイズでコンタクトホールを照射し、その際に測定される吸収電流値をコンタクトホールサイズで正規化した値をグラフ化し、そのグラフから任意の領域を指定して、表示装置150に表示されるウェハ上のマップにその測定点を表示する。 (もっと読む)


【課題】対象物に含まれる異物の検出精度を向上させることができるX線画像取得システムを提供する。
【解決手段】X線画像取得システム1は、所定の厚みWを有する対象物SにX線源からX線を照射し、対象物Sを透過したX線を複数のエネルギ範囲で検出する。X線画像取得システム1は、対象物S内において厚み方向に延在する領域R1を透過したX線を低エネルギ範囲で検出する低エネルギ検出器32と、対象物S内において厚み方向に延在する領域R2を透過したX線を高エネルギ範囲で検出する高エネルギ検出器42と、対象物S内の所定箇所に位置する被検査領域Eが領域R1及び領域R2に含まれるように低エネルギ検出器32及び高エネルギ検出器42でのX線の検出タイミングを制御するタイミング制御部50と、を備える。 (もっと読む)


【課題】FP法で基板上に点在する島状構造物について組成、高さおよび占有率をすべて定量できる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】基板1b上に島状構造物1cを有する試料1に1次X線6を照射するX線源3と、基板表面1aへの1次X線6の照射角度αを調整する照射角度調整手段5と、試料1からの蛍光X線7強度を測定する検出手段8と、島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を仮定し、照射角度調整手段5により調整された照射角度αごとに、仮定した島状構造物1cの組成、高さおよび占有率に基づいて島状構造物1c中の各元素からの蛍光X線7の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段8で測定した測定強度とが合致するように、仮定した島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を逐次近似的に修正計算して、島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を算出する算出手段11とを備える。 (もっと読む)


【課題】 測定位置特定の操作性に優れていると共に、高精度で距離測定を行うことができるX線分析装置及びX線分析方法を提供すること。
【解決手段】 試料S上の照射ポイントに1次X線X1を照射するX線管球2と、試料Sから放出される特性X線及び散乱X線を検出し該特性X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出器3と、信号を分析する分析器4と、照射ポイントP1を決定するために試料S上を光学的に観察可能な第1観察系5と、該第1観察系5よりも被写界深度が小さくかつ狭域を光学的に観察可能であると共に決定した照射ポイントP1との距離を焦点調整によって測定可能な第2観察系6と、を備えている。 (もっと読む)


入射X線が非晶質材料標本へ向けて広角セクターにおいて放射され、この標本がX線を反射する。
本方法は、
− 実験光子強度測定値を入射角の関数として記録するステップと、
− 反射の前に標本内への入射波の侵入長lに依存する状態で、少なくとも前記標本内での吸収現象を考慮しながら、前記実験強度を補正するステップと、
− 正規化係数(α)に従い、前記実験強度から得られた補正強度を電子強度に関連付ける正規化ステップと、
− 離散化された関数Q.i(Q)を計算するステップ、但しiは、補正および正規化された実験強度の測定値から得られた減衰強度、Qは量(sinθ/λ)に比例する波散乱ベクトルの絶対値、2θは散乱角、λは放射された波の長さであって、前記正規化定数(α)は関数Q.i(Q)の値に対する線形回帰により得られたアフィン直線(42)の傾きを最小化すべく再帰的に変化し、各反復を行う間に減衰強度の値が侵入長lについて計算され、前記関数Q.i(Q)が前記最小の傾きに対応して求められる(41)ステップと、
− Q.i(Q)に依存する動径原子濃度ρ(r)の分布に基づいて構造因子を決定するステップとを含んでいる。
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【課題】放射線撮像装置の2次元放射線検出器において、キャリブレーションデータ作成時に、異物が2次元放射線検出器上に付着していた場合、正確なキャリブレーションデータを作成することができなかった。
【解決手段】
画像処理部にて、前回キャリブレーションを実施した時のキャリブレーション照射データと今回新たに取得したキャリブレーション照射データとを加算平均処理して、閾値で判別することにより、異物が付着した画素を検出し、異物を取り除くようにオペレータに警告する。異物が除去できない場合には、隣接する正常な画素との置き換えなどにて異物が付着した画素を補完する。 (もっと読む)


【課題】2つの画像の間で減算を行う場合であっても、画像データの減算に起因する補正後の画像の画質の劣化を防止することができる画像補正方法および画像補正装置を提供する。
【解決手段】第1の画像データから第2の画像データを符号付きで減算することによって第1の画像データに対応する画像を補正し、補正画像データを生成する符号付き演算器と、符号付き演算器で生成された補正画像データの最小データ値を求める最小データ値算出部と、最小データ値算出部で求められた最小データ値が負の場合、最小データ値が0になるように補正画像データの全体を正側にシフトするシフト処理部とを有する。 (もっと読む)


診断撮像装置は、原子核崩壊を示すγ線を検出する検出器素子16を含む。検出されたγ線は、タイムスタンプされ20、リストモードで記憶されるラインオブレスポンス(LOR)46を生成するのに使用される。前記LORは、画像に再構成される34。画像分析プロセッサ38は、運動アーチファクトについて前記画像を分析し、前記モーションアーチファクトを最小化するように選択されたLORを変換するように事象変換プロセッサ30を反復的に調整する。変換されたLOR50が検出器素子16の対と対応しない場合、最も近い検出器素子52、54が、決定される。候補LOR62は、最も近い検出器素子と近隣の検出器素子との間で作成される。LOR46上の事象位置40は、飛行時間(TOF)情報から決定され、次いで変換された事象位置48を生成するように変換される。変換された事象位置40に最も近く交差する候補LOR62及び適切に更新されたTOF情報は、画像再構成において使用するのに選択される。
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【課題】オペレータの経験等によらずに、X線像に要求される正確さに係る情報の入力により、自動的に最適なX線検出出力の積算回数を設定することのできるX線撮影装置を提供する。
【解決手段】X線像に要求される正確さに係る情報を入力するための入力手段と、X線発生装置1の管電圧と、X線発生装置1とX線検出器3間の距離とを含み、かつ、X線検出器3の画素出力の積算回数を含まない撮影条件を設定することにより、その条件下で略一様なX線がX線検出器3の複数の画素に入射したときの各画素出力の積算回数と、その各画素出力ごとの積算値相互のばらつきとの関係を求め、その関係と入力手段15により入力された正確さに係る情報とから、当該正確さを得ることのできる積算回数を算出して自動的に設定する検出器出力積算回数設定手段を設けることにより、入力された正確さを有するX線像を得ながら、最も少ない積算回数でのX線撮影を可能とする。 (もっと読む)


【課題】
パターンの形状や試料特性に応じて,高速・高性能な画質改善処理を行う。
【解決手段】設計データや,設計データ上の各領域に対応する試料特性情報を用いて画質改善処理を行うことにより,画像上の個々の領域に対応する試料特性に応じて適切な画質改善処理を施し,画像上の領域分割を高速に行うといった処理を可能とする。さらに,設計データと対応する画像情報を保存したデータベースを利用することにより,類似した設計データにおいて過去に撮像した画像との差が大きい箇所を自動で強調する等の画質改善処理を可能とする。 (もっと読む)


【課題】X線異物検査装置において、微細な異物を検出可能とする。
【解決手段】X線検査画像メモリ11に記憶されているX線検査画像データに基づいて、ずらし画像データを作成するずらし画像作成器12と、ずらし画像作成器12によって作成されたずらし画像データを記憶するずらし画像メモリ13と、X線検査画像メモリ11に記憶されているX線検査画像データとずらし画像メモリ13に記憶されているずらし画像データを画素毎に加算してずらし加算画像データを算出するずらし画像加算演算処理器14と、ずらし画像加算演算処理器14によって算出されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定する異物判定処理器15によって構成する。 (もっと読む)


【課題】X線異物検査装置において、微細な異物を検出可能とする。
【解決手段】X線検査画像メモリ11がX線エリアセンサ6から出力されたX線検査画像データを記憶し、基準良品画像メモリ12が異物の有無を判定するための基準良品画像データを記憶する。画像除算演算処理器13が、X線検査画像データから基準良品画像データを除算処理することにより、異物の画像データを算出し、異物判定処理器14が画像除算演算処理器13によって算出された異物の画像データに基づいて異物の有無を判定する。画像除算演算処理器13が行なう除算処理によって検査対象物の材質又は形状に起因するノイズが除去され、異物に関する高品位なX線画像を取得できるので、微細な異物が検出可能になる。 (もっと読む)


【課題】基板検査に要するトータルの処理時間が長くすることなく、ステージの駆動機構による位置ずれによって生じる欠陥位置の誤差を低減する。
【解決手段】TFTアレイ基板のアレイ欠陥を検査するTFTアレイ検査装置であり、TFTアレイ基板を載置して検査位置に移動するステージと、移動中のステージの画像を取得する画像取得部と、この画像取得手段で取得した画像データを用いて検査位置におけるステージの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、位置ずれ量算出部で算出したステージの位置ずれ量に基づいて、欠陥検査により得られたTFTアレイの欠陥位置を補正する欠陥位置補正部とを備える。ステージが移動している間にステージの位置ずれ量を求めることによって、処理時間を短縮する。 (もっと読む)


【課題】 エアーデータに煩わされること無く被検体の断層撮影を行うことにある。
【解決手段】 被検体4に向けてX線を照射するX線管1と、被検体4の透過X線を検出する2次元検出チャンネルのX線検出器2と、X線と被検体4とを相対的に回転させる回転手段8と、被検体4をX線検出器視野に入れ、X線条件を設定する撮影条件設定部15aと、エアーデータが飽和していないかを判定する判定部15cと、被検体をX線検出器視野から外し、設定したX線条件から管電流を変更して飽和しないエアーデータを得た後、被検体とX線条件を元に戻して断層撮影を実施する撮影制御部15bと、このときX線検出器2で検出した透過データに対し、エアーデータにて感度補正を行い、被検体の断層像を再構成する再構成部15dとを設けた断層撮影装置である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、リアルタイムに材料を識別することを解決し、二重階調融合とカラー化などのアルゴリズムを利用して材料区分及び階調情報可視化することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る物質識別方法は、高エネルギー放射線と低エネルギー放射線とで被検体を透過させて、各画素の値が高エネルギー放射線の被検体の該当部分に対する高エネルギー透明度を示す被検体の高エネルギー透過画像と、各画素の値が低エネルギー放射線が被検体の該当部分に対する低エネルギー透明度を示す被検体の低エネルギー透過画像とを取得するステップと、各画素ごとに、高エネルギー透明度の第1の関数の値と高エネルギー透明度及び低エネルギー透明度の第2の関数の値を算出するステップと、第1の関数の値及び第2の関数の値によって特定される位置を、予め作成した分類曲線で分類し、各画素に対応する被検体の該当部分の物質のタイプを識別するステップとを含む。 (もっと読む)


本発明は、動く物体のパラメータを決定するための装置に関し、当該装置は、物体の適応モデルを提供するための適応モデル提供ユニット12を有する。ユーザは、ユーザインタフェース13によって適応モデルの領域を定義することができる。当該装置はさらに、動く物体の空間的及び時間的に依存する画像データセットを提供するための画像データセット提供ユニット14、並びに、定義された領域の空間的及び時間的依存性を決定するために、適応モデルの少なくとも定義された領域を空間的及び時間的に依存する画像データセットに適応させるための適応ユニット15を有する。動く物体のパラメータは、パラメータ決定ユニット16によって、定義された領域の空間的及び時間的依存性に応じて決定される。
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