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Fターム[2G001FA08]の内容

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【課題】 ビニング処理を実行するか否かの選択等によって、画像データの画素数を切り替えても、所望の画像処理を実行し続けることができるX線検査装置を提供する。
【解決手段】 標準画像データを作成する標準画像データ作成部31と、複数個のブロック画素からなる画像を示すビニング画像データを作成するビニング処理制御部32と、標準画像データかビニング画像データのいずれを作成させるかを決定する画像データ決定部35と、コンボリューションフィルタを用いて所望の画像処理を実行するコンボリューションフィルタリング処理制御部36とを備えるX線検査装置1であって、コンボリューションフィルタリング処理制御部36は、画像データ決定部35で標準画像データを作成させると決定されるに伴い、標準画像データ用コンボリューションフィルタに切り替え、一方、ビニング画像データを作成させると決定されるに伴い、ビニング画像データ用コンボリューションフィルタに切り替えることを特徴とする。 (もっと読む)


コンテナ内の目標物を分類するためのシステム及び方法が提供される。一態様においては、コンテナ内の持ち込み禁制品を検知するための部品を含む画像形成システムにより発生する警報を分析する方法が提供される。該方法は、画像形成システムからの複数の画像を受信し、警報を発生させる原因となる少なくとも1つの物体に対して少なくとも1つの特性を推定し、少なくとも1つの分類器に少なくとも1つの特性を入力し、少なくとも1つの分類器の票決に基づいて少なくとも1つの物体に判定を下し、コンテナに対して最終判定を下すことを含む。 (もっと読む)


【課題】二次イオン質量分析法において、二次イオン強度の変化を簡便に抑制できる技術を提供する。
【解決手段】一次イオンの試料表面への照射中に、試料電流値の変化に応じて、一次イオンの入射方向に対する試料ステージの角度を変更することにより、一次イオンの試料表面への入射角度を補正する。 (もっと読む)


【課題】被検査物を連続的に検査して、短時間にその材質を識別することができ、かつ予めX線の検出出力と対象物の厚みとの特性データを求める必要がない材質識別検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査物5を搬送する搬送装置12と、被検査物に対し、搬送方向に直交する同一断面内で、2以上の異なる方向から、所定のエネルギー分布を有する入射X線7を、同時又は時間をずらして照射するX線照射装置14と、入射X線が被検査物を透過した透過X線8から2以上のエネルギー領域のX線強度を弁別して計測するX線検出装置16と、2以上のエネルギー領域における入射X線と透過X線の強度から、被検査物の実効原子番号Zeffと電子密度ρeを算出し、これから被検査物の材質を識別する演算装置18とを備える。 (もっと読む)


【解決手段】各々が個々のフォトンに対応している複数のステップエッジを有するプリアンプ信号の傾きに基づいて、FIRフィルタのような、パルスプロセッサのエネルギー測定フィルタの応答を調整する方法が提供され、当該方法は、各々がデジタル値を有する連続的な複数のデジタルサンプルを含むプリアンプ信号のデジタルバージョンを受信する工程を含んでおり、プリアンプ信号は、複数のステップエッジの中の第1ステップエッジと、複数のステップエッジの第1ステップエッジの直後に続く、複数のステップエッジの中の第2ステップエッジとで規定される部分を有している。当該方法は、当該部分に関するデジタルサンプルの各々のデジタル値を用いて、当該部分の長さで規格化された当該部分の傾きの平均値を決定する工程と、エネルギー測定フィルタの応答を補正するために当該部分の長さで規格化された当該部分の傾きの平均値を用いる工程とを含んでいる。 (もっと読む)


【課題】CT装置などの非破壊検査装置で取得した濃淡画像を詳細部分に渡って容易に比較できるようにする。
【解決手段】まず、断層撮影装置1でタイヤの断面画像を取得し(S101)、表示装置にそのタイヤの断面画像を表示する(S102)。次に、そのタイヤの断面画像内の対象領域を抽出し(S103)、その対象領域に着色し(S104)、対象領域を着色したタイヤの断面画像と、補助記憶装置6に記憶されている比較画像とを重ね合わせる(S105)。必要に応じて、着色したタイヤの断面画像と比較画像との混合比を変更したり(S106)、重ね合わせ位置の調節をしたり(S107)、着色したタイヤの断面画像と比較画像とのタイヤの形状の差異部分の長さを算出したりする(S108)。 (もっと読む)


【課題】試料10の位置ずれを高い信頼性で検出可能な蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】試料10を載置するステージ22と、このステージ22を収納し、開閉可能なカバーが設けられた筐体を有し、試料10にX線を照射して、試料10からの蛍光X線を検出することにより測定を行う測定装置2と、カバーを開けた状態で試料10をステージ22上に載置した後であってカバーを閉める前後に、試料10の同一箇所の画像をそれぞれ撮像し第1及び第2の画像データをそれぞれ取得する撮像装置3と、第1及び第2の画像データを用いて試料10の位置ずれを検出する位置ずれ検出部13と、位置ずれを通知する通知部14とを備える。 (もっと読む)


【課題】検査対象を破壊することなく、従来に比べてより簡易に被検体の材料を識別することのできる非破壊識別方法及び非破壊識別装置を提供する。
【解決手段】非破壊識別装置は、既知の材質からなる標準試料5及び被検体3にX線2を放射する線源1と、これらを透過した放射線を検出するセンサ4と、センサ4の信号を画像に変換する信号処理装置7と、得られた画像における標準試料5部分の輝度値或いは輝度値と標準試料5の厚みの関係が、線源1のエネルギーを第1のエネルギーとした場合の第1の画像と、第2のエネルギーとした場合の第2の画像とにおいて同じになるように当該第2の画像全体に調整を施し、調整を施した第2の画像と第1の画像との差分或いは比を取る演算処理を行う画像演算処理装置8と、画像を表示する表示装置9とを具備している。 (もっと読む)


本発明は、エネルギ依存型投影データから関心領域の画像を形成するための画像形成システムに関し、この画像形成システムは、関心領域のエネルギ依存型の第1の投影データを供給するための投影データ供給ユニット1,2,3,6,7,8を有する。画像形成システムは、さらに、投影データが減衰成分画像に依存するとしたモデルを用いてエネルギ依存型の第2の投影データを発生することにより関心領域の減衰成分画像を発生するための減衰成分画像発生ユニット12を有する。成分画像発生ユニット12は、第1の投影データからの第2の投影データの偏差が小さくなるように減衰成分画像を発生するよう適合させられる。
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【課題】深さ方向元素濃度分析方法に関し、測定されたイオン注入元素の深さ方向プロファイルを減衰深さとスパッタ収率との関係を利用し、スパッタ収率の変化を分析しようとする。
【解決手段】二次イオン質量分析法で測定されたイオン注入元素の深さ方向プロファイルを分析する方法であって、イオン注入時に形成されたダメージの度合いにより変化するスパッタ収率の変化を減衰深さから求め、そのスパッタ収率の変化に依って測定プロファイルの深さ軸を補正する。 (もっと読む)


【課題】試料の線幅、欠陥などを精密に測定、検査することができる、荷電粒子ビーム装置のマッチング方法の提供。
【解決手段】電子顕微鏡によるSEM画像と、試料の設計データとをパターンマッチングさせ、線幅などの測定、欠陥の検査などを行う荷電粒子ビーム装置によるマッチング方法において、校正用マーク又はそれの付された試料をステージ上に設置し、高さを変えて複数のSEM画像を取得し、当該SEM画像の位置歪みと、設計上の位置歪みデータとをマッチングし、高さを変化させたときの校正用補正データを作成する第1ステップと、フォーカスをかけて検査用SEM画像を取得する第2ステップと、フォーカスの高さ値より、前記第1ステップの校正用補正データを用いて、検査用SEM画像の位置歪みを補正する第3ステップと、当該位置歪み補正を行ったSEM画像と、設計データとのマッチングを行い、試料の測長または検査を行う第4ステップとを含む。 (もっと読む)


【課題】 走査電子顕微鏡で、試料の測長により得られた寸法をより精密に校正する。
【解決手段】 互いの間隔を空けて並んだ複数の校正マーク部材42a,42b,…を備え、各校正マーク部材42a,42b,…は、並んでいる方向の幅寸法が互いに異なり、各寸法が予め定められた寸法になっている校正用標準材40を用いる。走査電子顕微鏡の画像処理装置には、各校正マーク部材42a,42b,…の幅寸法の公証値を記憶しておき、各校正マーク部材42a,42b,…の幅を実測し、各実測値と対応公証値との差を求め、各差と実測値との関係を校正関数として記憶し、これを用いて試料の実測値を補正する。 (もっと読む)


【課題】量産が可能な汎用部品で構成して大幅なコストダウンが可能であり、検出ピッチの微細化が容易であり、X線検査トンネルの外壁から外側に突出することなく内部に収容でき、X線検査装置全体の設置スペースを小さくでき、単一で被検査物の材質識別に適用できるX線検査装置用のX線センサを提供する。
【解決手段】X線発生源2から照射され被検査物を透過した線状のX線を線状の光に変換する細長い蛍光板10と、蛍光板を撮像して光の強度分布を検出するCCDカメラ20と、光の強度分布から線状のX線の強度分布を演算する演算制御装置30とを備える。蛍光板10とCCDカメラ20は、X線検査装置5の内壁6と外壁7の間に収納されている。また蛍光板10は、X線の照射面に対して45°傾斜して配置されており、CCDカメラ20は、蛍光板上のX線照射面を撮像するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】試料の構成や膜種等によって測長誤差の生じることのない走査形電子顕微鏡の測長方法を提供する。
【解決手段】本発明の走査形電子顕微鏡による測長方法は、対物レンズから試料までの距離を検出するセンサの出力を用いて走査形電子顕微鏡を測定ポイントにオートフォーカスさせ、対物レンズの励磁電流を変化させながら試料から放出された試料信号の変化をモニターしてフォーカスずれに相当する対物レンズの励磁電流ΔIobjを検出する。そして、対物レンズの励磁電流ΔIobjを試料に入射する電子ビームの加速電圧ΔVに換算し、試料に入射する電子ビームの加速電圧をΔVだけ変更する。その後、測定ポイントの測長を行う。 (もっと読む)


本発明は、観察周期(T)中に連続的に変化するエネルギースペクトル(P(E,t))を有するX放射線を生成するX線源(10)を有する、特にスペクトルCTスキャナである、X線撮像装置(100)に関する。好適な一実施形態において、放射線(X)は、エネルギーに依存する減衰係数(μ(E,))に従って対象物(1)内で減衰し、透過した放射線が検出器(20,30)のセンサユニット(22)によって測定され、得られた測定信号(i(t))がサンプリングされ且つA/D変換される。これは好ましくは、例えばΣΔ−ADCといったオーバーサンプリングA/D変換器によって行われる。X線源を駆動する管電圧(U(t))が高周波でサンプリングされる。評価システム(50)にて、これらのサンプリングされた測定値が、対応する実効エネルギースペクトル(Φ(E))に関連付けられ、エネルギーに依存する減衰係数(μ(E,))が決定される。
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【課題】試料の量が少ない場合に、回折線強度が弱くなる2θ高角度領域で十分な回折線強度を獲得でき、X線照射幅が広くなる2θ中角度領域及び2θ低角度領域において回折ピークの相対X線強度を正しく維持できるX線回折装置を提供する。
【解決手段】X線源Fから放射されたX線を発散スリット2によって規制して試料Sに照射し、試料Sから出た回折線RをX線検出器10によって検出するX線回折装置である。発散スリット2の発散角は固定値であり、発散スリット2は試料幅方向のX線照射幅を規制するスリットである。試料Sは、その試料幅が標準試料幅よりも狭くその試料高さが標準試料高さと同じである縦長配置に配置される。X線検出器10の出力に基づいて求めたX線強度Iobs(θ)を、試料幅から計算された実効発散角に基づいて補正して真のX線強度Itru(θ)を求める。 (もっと読む)


【課題】 検査対象とすべき最適な断層像を特定することが困難であり、結果として高精度の検査を行うことができなかった。
【解決手段】 X線によって検査対象を検査するにあたり、X線を基板上の検査対象品に照射して異なる方向から撮影した複数のX線画像を取得し、上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行し、当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の検査位置を決定する。 (もっと読む)


【課題】基底基準吸収回折法に基づいたX線回折定量装置において、基底板を改良することにより安定した再現性の高い測定データを得ることができるようにする。
【解決手段】物質Sが無いときに基底板31で回折した回折線の強度と、物質Sを透過した後に基底板31で回折した回折線の強度とによって物質SのX線吸収量を求め、X線を用いて測定した物質Sの重量をその求められたX線吸収量に基づいて補正する基底基準吸収回折法を用いたX線回折定量装置である。この装置は、物質Sを保持するフィルタ33と、物質Sに照射するX線を発生するX線源Fと、物質Sで回折した回折X線を検出するX線検出器20と、フィルタ33におけるX線照射面の反対側に設けられた基底板31とを有し、基底板31のX線が照射される表面は結晶の配向性が低くなる処理、例えばサンドブラスト処理、ショットピーニング処理を受けている。 (もっと読む)


X線撮像機器(100)を校正するための校正装置(140)が開示される。校正装置(140)は、X線撮像機器(100)の検出ユニット(108)によって基準条件下で捕捉された画像を受信する受信ユニット(200)と、捕捉された画像を分析して利得補正情報を取得する分析ユニット(201)と、ヒール効果の利得補正に関しない利得補正情報に基づいて、X線撮像機器(100)を校正するための校正情報を提供する校正ユニット(202)とを有する。
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【課題】被検体の形状に依存せずに回転振れの影響を除去した断層像データを作成する。
【解決手段】断層撮影装置10は、被検体5が載置される表面部21Aの反対側にマークMが形成された裏面部21Bを備えたテーブル部材21と、テーブル部材21に載置された被検体5にX線ビームB1を照射するX線管31と、X線ビームB1を検出するX線検出器32と、X線管31およびX線検出器32とテーブル部材21とを、テーブル部材21の表面部21Aに垂直な回転軸Rに沿って相対的に回転させる回転機構23と、被検体5の透過画像データを収集するためのデータ収集部51と、マークMの位置を検出するためのマーク位置検出部40と、マークMの位置データに基づいて、透過画像データを回転振れの無い透過画像データに補正する軸振れ補正部52と、補正された透過画像データから断層像データを作成するための再構成部53とを備える。 (もっと読む)


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