【課題】表面形状と内部構造との双方を計測する。
【解決手段】実施形態によれば、計測装置は、電磁波照射手段と検出手段とデータ処理手段と膜構造変換手段と膜構造計測手段とを持つ。電磁波照射手段は電磁波を生成して前記基体へ照射する。検出手段は、前記基体で散乱されまたは反射した電磁波の強度を測定する。データ処理手段は、前記検出手段からの信号を処理して散乱プロファイルを作成して解析し、前記周期構造の表面形状を算出する。膜構造変換手段は、前記周期構造の表面構造に関する仮想的膜構造を算出し、参照データから前記周期構造の内部構造に関する仮想的膜構造を算出する。膜構造計測手段は、前記仮想的膜構造から測定条件を設定し、該測定条件に従って前記周期構造について実測による反射率プロファイルを取得して解析し、前記周期構造を構成する各層の膜厚を算出し、算出された前記膜厚と前記仮想的膜構造とを用いて前記周期構造の形状を再構築する。 （もっと読む）

【課題】２段に重ねられた放射線検出器の画素間での対応がとれなくなったことを早期に知ることができる非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置１は、Ｘ線照射器２０、低エネルギ検出器３２、高エネルギ検出器４２、低エネルギ透過率算出部７２、高エネルギ透過率算出部７４及び検出部７６を備えている。低エネルギ透過率算出部７２は、被検査物Ｓを透過したＸ線の低エネルギ範囲における透過率を、低エネルギ検出器３２で検出された輝度データから算出し、高エネルギ透過率算出部７４は、被検査物Ｓを透過したＸ線の高エネルギ範囲における透過率を、高エネルギ検出器４２で検出された輝度データから算出する。検出部７６は、低エネルギ透過率算出部７２で算出された透過率と、高エネルギ透過率算出部７４で算出された透過率との比に基づいてＸ線照射器２０の位置ずれを検出する。 （もっと読む）

【課題】２段に重ねられた検出器の画素間での対応がとれなくなったことを検出し、画素間での対応がとれるように輝度データを補正する非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置１は、Ｘ線照射器２０、低エネルギ検出器３２、高エネルギ検出器４２、低エネルギ透過率算出部７２、高エネルギ透過率算出部７４、検出部７６及び補正部７８を備えている。算出部７２は、透過Ｘ線の低エネルギ範囲における透過率を示す値を算出する。算出部７４は、透過Ｘ線の高エネルギ範囲における透過率を示す値を算出する。検出部７６は、両算出部７２，７２で算出された透過率の比に基づいてＸ線照射器２０の位置ずれ内容を検出する。補正部７８は、検出部７６でＸ線照射器２０の位置ずれ内容が検出された場合に、当該位置ずれ内容に応じて、検出器３２，４２で検出されたＸ線の輝度データを補正する。 （もっと読む）

【課題】不均一放射照度環境下において検出器ゲイン特性をステッチングおよび線形化する方法を提供する。
【解決手段】不均一放射（平面的なＸ線（光）領域を有する放射源の使用が必要とされない）状況におけるマルチセンサ検出器ゲイン特性のステッチングおよび線形化の手法で、検出器センサの出力信号強度の変換のためのＬＵＴ関数の計算に基づいている。規定されたＬＵＴ関数の適用し、測定精度の範囲内で、同じでかつ線形であるセンサゲイン特性が受信される。ステッチングＬＵＴ関数の計算は、検出器の領域に沿ってゆっくりと変化する不均一Ｘ線（光）を照射し、同じゲイン特性を有する任意の２つの隣接したセンサの応答が、これらのセンサの連結部付近において類似の値を有することを利用する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器において暗電流などの暗出力や検出感度の変化に即時に対応して補正を行なうことにより検査対象物の検査精度を向上させることができるＸ線検査装置およびＸ線検査装置用コンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、筐体１０１内に貫通した状態で搬送コンベア１０４を備える。筐体１０１内における搬送コンベア１０４の上方にはＸ線Ｌを照射するＸ線照射器１０５が設けられており、同搬送コンベア１０４の内側にはＸ線照射器１０５に対向した状態でＸ線ラインセンサ１０７が設けられている。また、筐体１０１内の検査対象物ＷＫの搬送経路上におけるＸ線ラインセンサ１０７より上流側には、ワーク検出器１０８が設けられている。Ｘ線検査装置１００の作動を制御するコンピュータ装置１２０は、ワーク検出器１０８が検査対象物ＷＫを検出するごとにＸ線ラインセンサ１０７の暗出力補正および検出感度補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】試料を微細に加工することなく、容易に３次元イメージ画像を得る。
【解決手段】Ｘ線が発せられるＸ線源と、前記Ｘ線を遮蔽する基材に、前記Ｘ線が透過する透過窓と前記透過窓よりも小さく前記Ｘ線の可干渉となる位置に設けられた複数の参照穴を有するマスク部と、前記マスク部を透過したＸ線が照射される試料と、前記試料を支持する試料支持部材と、を有する観察用試料部と、前記Ｘ線が照射された試料により生じる散乱Ｘ線と前記参照穴を通過した参照Ｘ線との干渉により生じたホログラムと、前記複数の参照穴を通過した参照Ｘ線同士の干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、前記検出器により得られた前記参照Ｘ線同士の干渉によるホログラムに基づき前記試料の３次元イメージ画像を得るための処理を行う処理部と、を備えることを特徴とするＸ線分析装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】鮮明な高倍率断層画像を取得することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、テーブル２の載置位置のファントムを撮影するプレ撮影を行ったあと、テーブル２および検出器３をプレ撮影と同じ様式で移動させて試料を撮影する実撮影を行って断層画像を再構成する構成となっている。再構成部１０は、実撮影Ｘ線画像Ｑの撮影時におけるテーブル２の移動の様式を考慮することができる。しかし、テーブル２がプレ撮影と実撮影で全く同じように移動するとは限らない。そこで、本発明によれば、テーブル２のウラ面のマーカを撮影し、実撮影マーカ画像Ｎとプレマーカ画像Ｍとによってプレ撮影と実撮影との間で生じたテーブル２の位置ズレを認識する。結果として高解像度の断層画像を取得可能なＸ線ＣＴ装置が提供できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料の中央が凸状になる場合や、凹状になる場合であっても、試料を短時間で簡単に精度よく測定することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、試料ＳにＸ線源１から１次Ｘ線２を照射して発生する２次Ｘ線４の強度をＸ線検出器７で測定し、１次Ｘ線２および２次Ｘ線４の光路上の光学素子について、第１の光学素子３１または第２の光学素子３２を選択する光学素子選択手段３と、第１の光学素子での２次Ｘ線の強度対第２の光学素子での２次Ｘ線の強度の強度比と試料高さとの、あらかじめ求められた相関を記憶する強度比／試料高さ記憶手段８と、未知試料Ｓについて、第１の光学素子での２次Ｘ線の強度対第２の光学素子での２次Ｘ線の強度の強度比を記憶手段８が記憶した相関に適用して、試料高さを算出して第１の光学素子３１での２次Ｘ線の強度を補正する強度補正手段９とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物あるいは対象物中のどの部分かがわかることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】テーブルに過去に記憶された複数の外観像からなる外観像群Iの中から対象となる外観像Ｉ_１を選択する。選択された外観像Ｉ_１に関連付けられ、かつテーブルに過去に記憶されたＸ線透視像F_１００を読み出してモニタ１０Ｍに表示すると、選択された外観像Ｉ_１の対象物（サンプル）から、それに関連付けられたＸ線透視像F_１００を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線照射手段側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出する、あるいはＸ線照射手段側のＸ線照射の異常を検出することができるＸ線制御装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管２１も含めてＸ線発生装置３１の消費電流に基づいて、Ｘ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出することができる。また、当該消費電流とＸ線照射条件との比較に基づいて、設定されたＸ線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、Ｘ線照射の異常を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射の異常を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】放射線検出器が有する時間分解能を維持しつつ、放射性核種の定量分析及びエネルギー分析を精度良く行うことができる放射線計測装置を提供する。
【解決手段】半導体放射線検出器１から出力されるアナログパルス信号ごとに、このアナログパルス信号をアナログデジタル変換器２により複数のデジタル信号に変換する。これらのデジタル信号が入力されるスレッショルド回路３は、スレッショルド値を超えるデジタル信号を弁別する。デジタル信号加算回路４は、弁別された複数のデジタル信号をアナログパルス信号ごとに加算してアナログパルス信号ごとに加算値を求める。それぞれの加算値を入力するスペクトル生成回路５は、それらの加算値を用いて放射線エネルギースペクトルを生成し、放射線エネルギースペクトルを用いて放射性核種９の定量分析及びエネルギー分析を精度良く行う。 （もっと読む）

【課題】簡単に製造することができ、Ｘ線ＣＴ装置から得られる投影イメージにおいて、測定対象物の内部形状を含む形状寸法を精度良く校正することができ、かつ、該Ｘ線ＣＴ装置における内部形状を含む形状測定性能を効果的に評価することができるＸ線ＣＴ装置の校正及び評価用の標準ゲージ、並びに該Ｘ線ＣＴ用の標準ゲージを用いたＸ線ＣＴ装置の校正方法及び評価方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のＸ線ＣＴ装置の校正及び評価用の標準ゲージ１０は、ベリリウム成型体１１と、該ベリリウム成型体１１を内包し、Ｘ線ＣＴ装置から得られる投影イメージにおいてベリリウム成型体１１と異なるコントラストで示される外装体１２とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蛍光体の劣化を適切に、かつ容易に検知する。
【解決手段】放射線露光によって蛍光を発する蛍光物質を含有した蛍光体１０と、前記蛍光体の放射線入射側に隣設されて該蛍光体によって支持され、前記蛍光体に生じた蛍光を検出する薄膜型のセンサ部１１と、を備える放射線画像検出装置１の保守方法であって、下記の構造ノイズ検査、ＭＴＦ検査、暗電流検査のうち少なくとも一つの検査を定期的に実施して前記蛍光体の劣化を検知する。構造ノイズ検査：放射線画像を取得し、取得された画像及びそれ以前に取得された画像の両画像に表れる前記放射線画像検出装置固有のパターンの変化を検知する。ＭＴＦ検査：ＭＴＦチャートを撮影した放射線画像を取得し、取得された放射線画像のＭＴＦの変化を検知する。暗電流検査：放射線非露光での黒画像を取得し、取得された黒画像に基づいてセンサ部の暗電流の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】放射線源とライン型検出器との間に検査対象物等が配置されている状態であっても精度良く校正を行うことが可能な放射線検査装置を提供する。
【解決手段】放射線検査装置としての厚さ検査装置は、検査対象物としてのシートＳＴの一方側に配置されてシートＳＴ上に設定された検査方向（Ｘ方向）に延びるライン状の放射線をシートＳＴに照射する放射線源１１と、シートＳＴの他方側に配置されてシートＳＴを透過したライン状の放射線を検出するライン型検出器１２と、放射線源１１とシートＳＴとの間及びシートＳＴとライン型検出器１２との間の少なくとも一方に配置され、検査方向に沿って移動しつつ放射線源１１からの放射線を検出する校正用検出器１３，１４と、校正用検出器１３，１４の検出結果を用いてライン型検出器１２の検出結果を校正する校正装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】等価膜校正時に測定セルの上下ブロック間に校正用具を手作業で配置するときに、校正用具が濾紙に接触することがなく、濾紙の位置が変化して等価膜校正の再現性が悪くなることを防止することができるダスト計を提供する。
【解決手段】開閉可能な上ブロック１０２、下ブロック１０４を有するとともに、内部にガス流路１０６及びβ線照射路が形成され、ガス流路を流れる気相中のダストを上下ブロックで挟持した濾紙１０８上に吸引捕集する測定セル１００を備えたダスト計において、上記測定セル１００の下ブロックの上面の濾紙が配置される部分を含む領域に、深さが濾紙の厚さより大きい凹部１１８を形成し、濾紙が上記凹部１１８の底面に接触するようにする。 （もっと読む）

【課題】被検体の断層画像を求めるために必要となる撮像条件の数を抑えて、被検体の被曝負荷を軽減する。
【解決手段】検査対象範囲ＴＲの一部の領域ＴＲa、ＴＲwについては、被検体を構成する各部材（基板Ｗ、電子部品ＥＰ）の配置を示す部材配置情報から推定することとし、透過像の撮像結果から断層画像情報を求める領域を領域ＴＲa、ＴＲw以外の領域に限定する。つまり、撮像条件は、検査対象範囲ＴＲのうち領域ＴＲa、ＴＲwを除いた領域の断層画像情報を求めるために必要となるものについて設定され、こうして設定された各撮像条件で透過像が撮像される。その結果、撮像条件の数を抑えて、被検体の被曝負荷を軽減することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】肉厚補正治具を使用することなく簡易かつ正確に検査対象物の欠陥等を検出する。
【解決手段】異なる複数の既知の厚みを有する較正体に対してＸ線を照射して各厚みとこの部分のＸ線透過量の関係を測定するステップと、各厚みとこの部分でのＸ線透過量の関係が直線状になるように前記各厚みにおける較正値を決定するステップと、欠陥等の無い正常な検査対象物のＸ線透過量に基づいた画像をマスタ画像として得るステップと、マスタ画像の各部のＸ線透過量より当該Ｘ線が透過した部分の前記検査対象物の厚みを得るステップと、通常の検査対象物のＸ線透過量に基づいた画像をテスト画像として得るステップと、前記マスタ画像と前記テスト画像の各部のＸ線透過量の差分たる差分Ｘ線透過量に基づいた差分画像を算出するステップと、前記差分画像の各部の位置に対応した前記マスタ画像部分の厚みにおける前記較正値を前記各部の差分Ｘ線透過量に乗じて較正差分Ｘ線透過量を算出してこれに基づく較正差分画像を得るステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】２次元検出器を用いた場合であっても極点図測定を正確に行うことが可能なＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線回折装置は、Ｘ線源と、試料を保持し、移動可能な保持台と、試料から回折により出射されるＸ線を検出する２次元検出器と、Ｘ線源と保持台と２次元検出器とを制御する制御処理部とを備える。制御処理部は、記憶手段と演算手段（工程（Ｓ５０））と極点図作成手段（工程（Ｓ７０））とを含む。記憶部は、２次元検出器により複数の条件下で検出されたＸ線の複数の強度データを記憶する。演算手段（工程（Ｓ５０））は、複数の強度データについて、それぞれの強度データに対応するＸ線の試料における吸収量の差を補正するように、強度データに対する補正演算を行う。極点図作成手段（工程（Ｓ７０））は、補正演算された補正後の複数の強度データを用いて試料の極点図データを作成する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】対象物に欠陥を意図的に発生させたり、全ての検査位置（観察ポイント）に欠陥を持つ対象物を準備しなくとも、従来では固定であった基準画像に替えて、当該基準画像よりも後に得られるＸ線画像を新たに基準画像としてステップＳ１０で置き換えることで、必要最小限の構成により、基準画像としてより適切なＸ線画像が得られた段階で基準画像のデータを改善して、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。さらに、好ましくは、評価値として欠陥度合い（気泡の面積比率等）を採用し、ステップＳ４，Ｓ７で画像を当該評価値として数値化することによりＸ線画像を評価し、評価値に最も近い画像を基準画像として置き換えることで、基準画像を自動的に置き換えることができる。 （もっと読む）

【課題】搬送される被検査物の欠陥等をインラインで正確に検出することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】通過する被検査物Ｍに対して直交する平面内でＸ線光源３１から拡散し被検査物Ｍを横断する帯状のＸ線Ｌを照射するＸ線発生器３と、被検査物Ｍを透過したＸ線Ｌを入光させてその受光強度に応じた出力信号を発するＸ線ラインセンサカメラ４とを備える。パソコン５は、上記出力信号より被検査物Ｍの透過画像を生成するとともに、サンプル被検査物のマスタ画像を記憶しておき、透過画像とマスタ画像の位置合せを行なった後、位置合せを行なった透過画像とマスタ画像についてその伸縮を略一致させ、伸縮を略一致させた透過画像とマスタ画像との差分画像を得る。 （もっと読む）