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Fターム[2G001FA08]の内容

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【課題】表面形状と内部構造との双方を計測する。
【解決手段】実施形態によれば、計測装置は、電磁波照射手段と検出手段とデータ処理手段と膜構造変換手段と膜構造計測手段とを持つ。電磁波照射手段は電磁波を生成して前記基体へ照射する。検出手段は、前記基体で散乱されまたは反射した電磁波の強度を測定する。データ処理手段は、前記検出手段からの信号を処理して散乱プロファイルを作成して解析し、前記周期構造の表面形状を算出する。膜構造変換手段は、前記周期構造の表面構造に関する仮想的膜構造を算出し、参照データから前記周期構造の内部構造に関する仮想的膜構造を算出する。膜構造計測手段は、前記仮想的膜構造から測定条件を設定し、該測定条件に従って前記周期構造について実測による反射率プロファイルを取得して解析し、前記周期構造を構成する各層の膜厚を算出し、算出された前記膜厚と前記仮想的膜構造とを用いて前記周期構造の形状を再構築する。 (もっと読む)


【課題】2段に重ねられた検出器の画素間での対応がとれなくなったことを検出し、画素間での対応がとれるように輝度データを補正する非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置1は、X線照射器20、低エネルギ検出器32、高エネルギ検出器42、低エネルギ透過率算出部72、高エネルギ透過率算出部74、検出部76及び補正部78を備えている。算出部72は、透過X線の低エネルギ範囲における透過率を示す値を算出する。算出部74は、透過X線の高エネルギ範囲における透過率を示す値を算出する。検出部76は、両算出部72,72で算出された透過率の比に基づいてX線照射器20の位置ずれ内容を検出する。補正部78は、検出部76でX線照射器20の位置ずれ内容が検出された場合に、当該位置ずれ内容に応じて、検出器32,42で検出されたX線の輝度データを補正する。 (もっと読む)


【課題】2段に重ねられた放射線検出器の画素間での対応がとれなくなったことを早期に知ることができる非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置1は、X線照射器20、低エネルギ検出器32、高エネルギ検出器42、低エネルギ透過率算出部72、高エネルギ透過率算出部74及び検出部76を備えている。低エネルギ透過率算出部72は、被検査物Sを透過したX線の低エネルギ範囲における透過率を、低エネルギ検出器32で検出された輝度データから算出し、高エネルギ透過率算出部74は、被検査物Sを透過したX線の高エネルギ範囲における透過率を、高エネルギ検出器42で検出された輝度データから算出する。検出部76は、低エネルギ透過率算出部72で算出された透過率と、高エネルギ透過率算出部74で算出された透過率との比に基づいてX線照射器20の位置ずれを検出する。 (もっと読む)


【課題】不均一放射照度環境下において検出器ゲイン特性をステッチングおよび線形化する方法を提供する。
【解決手段】不均一放射(平面的なX線(光)領域を有する放射源の使用が必要とされない)状況におけるマルチセンサ検出器ゲイン特性のステッチングおよび線形化の手法で、検出器センサの出力信号強度の変換のためのLUT関数の計算に基づいている。規定されたLUT関数の適用し、測定精度の範囲内で、同じでかつ線形であるセンサゲイン特性が受信される。ステッチングLUT関数の計算は、検出器の領域に沿ってゆっくりと変化する不均一X線(光)を照射し、同じゲイン特性を有する任意の2つの隣接したセンサの応答が、これらのセンサの連結部付近において類似の値を有することを利用する。 (もっと読む)


【課題】X線検出器において暗電流などの暗出力や検出感度の変化に即時に対応して補正を行なうことにより検査対象物の検査精度を向上させることができるX線検査装置およびX線検査装置用コンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】X線検査装置100は、筐体101内に貫通した状態で搬送コンベア104を備える。筐体101内における搬送コンベア104の上方にはX線Lを照射するX線照射器105が設けられており、同搬送コンベア104の内側にはX線照射器105に対向した状態でX線ラインセンサ107が設けられている。また、筐体101内の検査対象物WKの搬送経路上におけるX線ラインセンサ107より上流側には、ワーク検出器108が設けられている。X線検査装置100の作動を制御するコンピュータ装置120は、ワーク検出器108が検査対象物WKを検出するごとにX線ラインセンサ107の暗出力補正および検出感度補正を実行する。 (もっと読む)


【課題】試料を微細に加工することなく、容易に3次元イメージ画像を得る。
【解決手段】X線が発せられるX線源と、前記X線を遮蔽する基材に、前記X線が透過する透過窓と前記透過窓よりも小さく前記X線の可干渉となる位置に設けられた複数の参照穴を有するマスク部と、前記マスク部を透過したX線が照射される試料と、前記試料を支持する試料支持部材と、を有する観察用試料部と、前記X線が照射された試料により生じる散乱X線と前記参照穴を通過した参照X線との干渉により生じたホログラムと、前記複数の参照穴を通過した参照X線同士の干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、前記検出器により得られた前記参照X線同士の干渉によるホログラムに基づき前記試料の3次元イメージ画像を得るための処理を行う処理部と、を備えることを特徴とするX線分析装置により上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】鮮明な高倍率断層画像を取得することができるX線CT装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、テーブル2の載置位置のファントムを撮影するプレ撮影を行ったあと、テーブル2および検出器3をプレ撮影と同じ様式で移動させて試料を撮影する実撮影を行って断層画像を再構成する構成となっている。再構成部10は、実撮影X線画像Qの撮影時におけるテーブル2の移動の様式を考慮することができる。しかし、テーブル2がプレ撮影と実撮影で全く同じように移動するとは限らない。そこで、本発明によれば、テーブル2のウラ面のマーカを撮影し、実撮影マーカ画像Nとプレマーカ画像Mとによってプレ撮影と実撮影との間で生じたテーブル2の位置ズレを認識する。結果として高解像度の断層画像を取得可能なX線CT装置が提供できる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、試料の中央が凸状になる場合や、凹状になる場合であっても、試料を短時間で簡単に精度よく測定することができる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光X線分析装置は、試料SにX線源1から1次X線2を照射して発生する2次X線4の強度をX線検出器7で測定し、1次X線2および2次X線4の光路上の光学素子について、第1の光学素子31または第2の光学素子32を選択する光学素子選択手段3と、第1の光学素子での2次X線の強度対第2の光学素子での2次X線の強度の強度比と試料高さとの、あらかじめ求められた相関を記憶する強度比/試料高さ記憶手段8と、未知試料Sについて、第1の光学素子での2次X線の強度対第2の光学素子での2次X線の強度の強度比を記憶手段8が記憶した相関に適用して、試料高さを算出して第1の光学素子31での2次X線の強度を補正する強度補正手段9とを備える。 (もっと読む)


【課題】X線照射手段側のX線照射のON/OFF状態を検出する、あるいはX線照射手段側のX線照射の異常を検出することができるX線制御装置を提供する。
【解決手段】X線管21も含めてX線発生装置31の消費電流に基づいて、X線照射のON/OFF状態を電流検出回路11aが検出することで、消費電流をモニタリングすればX線発生装置31側のX線照射のON/OFF状態を検出することができる。また、当該消費電流とX線照射条件との比較に基づいて、設定されたX線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、X線照射の異常を電流検出回路11aが検出することで、消費電流をモニタリングすればX線発生装置31側のX線照射の異常を検出することができる。 (もっと読む)


【課題】対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物あるいは対象物中のどの部分かがわかることができるX線検査装置を提供する。
【解決手段】テーブルに過去に記憶された複数の外観像からなる外観像群Iの中から対象となる外観像Iを選択する。選択された外観像Iに関連付けられ、かつテーブルに過去に記憶されたX線透視像F100を読み出してモニタ10Mに表示すると、選択された外観像Iの対象物(サンプル)から、それに関連付けられたX線透視像F100を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。 (もっと読む)


【課題】放射線検出器が有する時間分解能を維持しつつ、放射性核種の定量分析及びエネルギー分析を精度良く行うことができる放射線計測装置を提供する。
【解決手段】半導体放射線検出器1から出力されるアナログパルス信号ごとに、このアナログパルス信号をアナログデジタル変換器2により複数のデジタル信号に変換する。これらのデジタル信号が入力されるスレッショルド回路3は、スレッショルド値を超えるデジタル信号を弁別する。デジタル信号加算回路4は、弁別された複数のデジタル信号をアナログパルス信号ごとに加算してアナログパルス信号ごとに加算値を求める。それぞれの加算値を入力するスペクトル生成回路5は、それらの加算値を用いて放射線エネルギースペクトルを生成し、放射線エネルギースペクトルを用いて放射性核種9の定量分析及びエネルギー分析を精度良く行う。 (もっと読む)


【課題】蛍光体の劣化を適切に、かつ容易に検知する。
【解決手段】放射線露光によって蛍光を発する蛍光物質を含有した蛍光体10と、前記蛍光体の放射線入射側に隣設されて該蛍光体によって支持され、前記蛍光体に生じた蛍光を検出する薄膜型のセンサ部11と、を備える放射線画像検出装置1の保守方法であって、下記の構造ノイズ検査、MTF検査、暗電流検査のうち少なくとも一つの検査を定期的に実施して前記蛍光体の劣化を検知する。構造ノイズ検査:放射線画像を取得し、取得された画像及びそれ以前に取得された画像の両画像に表れる前記放射線画像検出装置固有のパターンの変化を検知する。MTF検査:MTFチャートを撮影した放射線画像を取得し、取得された放射線画像のMTFの変化を検知する。暗電流検査:放射線非露光での黒画像を取得し、取得された黒画像に基づいてセンサ部の暗電流の変化を検知する。 (もっと読む)


【課題】簡単に製造することができ、X線CT装置から得られる投影イメージにおいて、測定対象物の内部形状を含む形状寸法を精度良く校正することができ、かつ、該X線CT装置における内部形状を含む形状測定性能を効果的に評価することができるX線CT装置の校正及び評価用の標準ゲージ、並びに該X線CT用の標準ゲージを用いたX線CT装置の校正方法及び評価方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のX線CT装置の校正及び評価用の標準ゲージ10は、ベリリウム成型体11と、該ベリリウム成型体11を内包し、X線CT装置から得られる投影イメージにおいてベリリウム成型体11と異なるコントラストで示される外装体12とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】放射線源とライン型検出器との間に検査対象物等が配置されている状態であっても精度良く校正を行うことが可能な放射線検査装置を提供する。
【解決手段】放射線検査装置としての厚さ検査装置は、検査対象物としてのシートSTの一方側に配置されてシートST上に設定された検査方向(X方向)に延びるライン状の放射線をシートSTに照射する放射線源11と、シートSTの他方側に配置されてシートSTを透過したライン状の放射線を検出するライン型検出器12と、放射線源11とシートSTとの間及びシートSTとライン型検出器12との間の少なくとも一方に配置され、検査方向に沿って移動しつつ放射線源11からの放射線を検出する校正用検出器13,14と、校正用検出器13,14の検出結果を用いてライン型検出器12の検出結果を校正する校正装置とを備える。 (もっと読む)


【課題】等価膜校正時に測定セルの上下ブロック間に校正用具を手作業で配置するときに、校正用具が濾紙に接触することがなく、濾紙の位置が変化して等価膜校正の再現性が悪くなることを防止することができるダスト計を提供する。
【解決手段】開閉可能な上ブロック102、下ブロック104を有するとともに、内部にガス流路106及びβ線照射路が形成され、ガス流路を流れる気相中のダストを上下ブロックで挟持した濾紙108上に吸引捕集する測定セル100を備えたダスト計において、上記測定セル100の下ブロックの上面の濾紙が配置される部分を含む領域に、深さが濾紙の厚さより大きい凹部118を形成し、濾紙が上記凹部118の底面に接触するようにする。 (もっと読む)


【課題】被検体の断層画像を求めるために必要となる撮像条件の数を抑えて、被検体の被曝負荷を軽減する。
【解決手段】検査対象範囲TRの一部の領域TRa、TRwについては、被検体を構成する各部材(基板W、電子部品EP)の配置を示す部材配置情報から推定することとし、透過像の撮像結果から断層画像情報を求める領域を領域TRa、TRw以外の領域に限定する。つまり、撮像条件は、検査対象範囲TRのうち領域TRa、TRwを除いた領域の断層画像情報を求めるために必要となるものについて設定され、こうして設定された各撮像条件で透過像が撮像される。その結果、撮像条件の数を抑えて、被検体の被曝負荷を軽減することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】肉厚補正治具を使用することなく簡易かつ正確に検査対象物の欠陥等を検出する。
【解決手段】異なる複数の既知の厚みを有する較正体に対してX線を照射して各厚みとこの部分のX線透過量の関係を測定するステップと、各厚みとこの部分でのX線透過量の関係が直線状になるように前記各厚みにおける較正値を決定するステップと、欠陥等の無い正常な検査対象物のX線透過量に基づいた画像をマスタ画像として得るステップと、マスタ画像の各部のX線透過量より当該X線が透過した部分の前記検査対象物の厚みを得るステップと、通常の検査対象物のX線透過量に基づいた画像をテスト画像として得るステップと、前記マスタ画像と前記テスト画像の各部のX線透過量の差分たる差分X線透過量に基づいた差分画像を算出するステップと、前記差分画像の各部の位置に対応した前記マスタ画像部分の厚みにおける前記較正値を前記各部の差分X線透過量に乗じて較正差分X線透過量を算出してこれに基づく較正差分画像を得るステップとを備える。 (もっと読む)


【課題】2次元検出器を用いた場合であっても極点図測定を正確に行うことが可能なX線回折装置を提供する。
【解決手段】X線回折装置は、X線源と、試料を保持し、移動可能な保持台と、試料から回折により出射されるX線を検出する2次元検出器と、X線源と保持台と2次元検出器とを制御する制御処理部とを備える。制御処理部は、記憶手段と演算手段(工程(S50))と極点図作成手段(工程(S70))とを含む。記憶部は、2次元検出器により複数の条件下で検出されたX線の複数の強度データを記憶する。演算手段(工程(S50))は、複数の強度データについて、それぞれの強度データに対応するX線の試料における吸収量の差を補正するように、強度データに対する補正演算を行う。極点図作成手段(工程(S70))は、補正演算された補正後の複数の強度データを用いて試料の極点図データを作成する。 (もっと読む)


【課題】X線検査を効率的に実施することができるX線検査装置を提供する。
【解決手段】対象物に欠陥を意図的に発生させたり、全ての検査位置(観察ポイント)に欠陥を持つ対象物を準備しなくとも、従来では固定であった基準画像に替えて、当該基準画像よりも後に得られるX線画像を新たに基準画像としてステップS10で置き換えることで、必要最小限の構成により、基準画像としてより適切なX線画像が得られた段階で基準画像のデータを改善して、X線検査を効率的に実施することができる。さらに、好ましくは、評価値として欠陥度合い(気泡の面積比率等)を採用し、ステップS4,S7で画像を当該評価値として数値化することによりX線画像を評価し、評価値に最も近い画像を基準画像として置き換えることで、基準画像を自動的に置き換えることができる。 (もっと読む)


【課題】搬送される被検査物の欠陥等をインラインで正確に検出することが可能なX線検査装置を提供する。
【解決手段】通過する被検査物Mに対して直交する平面内でX線光源31から拡散し被検査物Mを横断する帯状のX線Lを照射するX線発生器3と、被検査物Mを透過したX線Lを入光させてその受光強度に応じた出力信号を発するX線ラインセンサカメラ4とを備える。パソコン5は、上記出力信号より被検査物Mの透過画像を生成するとともに、サンプル被検査物のマスタ画像を記憶しておき、透過画像とマスタ画像の位置合せを行なった後、位置合せを行なった透過画像とマスタ画像についてその伸縮を略一致させ、伸縮を略一致させた透過画像とマスタ画像との差分画像を得る。 (もっと読む)


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