【課題】異なるエネルギー帯の放射線画像を取得することができ、しかも、対象物を透過した放射線に与える影響を低減することができる放射線画像取得装置を提供する。
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置１では、表面検出器３および裏面検出器４によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Ａと波長変換板６との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Ａを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、裏面検出器４は、裏面６ｂの法線Ｃ方向に出射されるシンチレーション光を集光するため、あおりの無い裏面側画像Ｐｂを取得することができ、この裏面側画像Ｐｂを基準画像として表面側画像Ｐａのあおりを適正に補正することができる。 （もっと読む）

【課題】異なるエネルギー帯の放射線画像を取得することができ、しかも、対象物を透過した放射線に与える影響を低減することができる放射線画像取得装置を提供する。
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置１では、表面検出器３および裏面検出器４によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Ａと波長変換板６との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Ａを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、表面検出器３および裏面検出器４によって集光されるシンチレーション光はそれぞれ法線Ｂ，Ｃ方向に対して角度θ_１，θ_２をなす方向に出射されるため、放射線画像Ｐａ，Ｐｂには同様のあおりが生じ、入射面６ａ側および裏面６ｂ側の画像間における演算が容易になっている。 （もっと読む）

【課題】合金系別にアルミニウム合金を判別する方法と、それを利用したアルミ合金選別設備を提供する。
【解決手段】回収する複数の校正用試料（第１アルミ合金）と排除する対比用試料（第２アルミ合金）のエネルギーの異なるＸ線の単位面積毎の透過Ｘ線強度測定結果を測定平面にプロットし、校正用試料の測定結果の分布を上側曲線と下側曲線で挟んだ判別帯を画定し、判別帯により測定平面を中密度領域と高密度領域と低密度領域に分け、対比用試料の測定結果分布と対比して高密度領域内または低密度領域内の校正用試料の測定結果に関する第１閾値を決め、中密度領域内の校正用試料の測定結果から第２閾値を決めておき、被選別試料に係る単位面積毎の透過Ｘ線強度測定値が高密度領域または低密度領域に含まれる割合が第１閾値より小さく、中密度領域に含まれる割合が第２閾値より大きいときに、回収対象品と判定する判別方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、Ｘ線検査を安定させることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される物品ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介して検出する第１の領域ＡＲ１と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介さずに検出する第２の領域ＡＲ２とを有するラインセンサ４００と、検査テーブル７１１と同じ透過特性を有し、第２の領域ＡＲ２で検出されるＸ線の減衰を調整するＸ線減衰調整部４１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】経年変化の影響を受けても、良否判定を正常に実行することができるようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器と、Ｘ線検出器と、Ｘ線透過画像形成部と、良否判定部とを備えるＸ線検査装置において、良否判定部は、模擬劣化画質レベル設定手段を有し、模擬劣化画質レベル設定手段は、Ｘ線検査装置を模擬劣化状態にするために、判定基準に基づいて良品と判定されるようなＸ線透過画像である良品画像の画質を劣化させる目標レベルである模擬劣化画質レベルを設定し、設定された模擬劣化画質レベルに対応させて、Ｘ線発生器， Ｘ線検出器，Ｘ線透過画像形成部の少なくとも一つを制御して、Ｘ線検査装置を模擬劣化状態にし、模擬劣化状態にあるＸ線検査装置において良否判定が正常であることを確認する動作確認部を備える。 （もっと読む）

【課題】複層膜厚の測定のために2つの線源を用いなくても、1つの線源と異なるシンチレータの組み合わせにより高精度にエネルギー弁別が行える安価でコンパクトな装置を用いて複層膜厚の同時独立算出を可能にした放射線測定方法を提供する。
【解決手段】同一線源から照射された放射線を複数の材質からなる被測定物に照射して透過させ、透過した透過線量から被測定物の物理量を測定する放射線測定方法において、透過した放射線を少なくとも２種類の検出器により検出し、それぞれの検出器からの出力を検量線を用いて弁別演算を行う工程と、弁別演算した値を用いて各層の坪量を演算する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】半導体の微細化、プロセスの複雑化に伴いプロセスのマージンは減り、プロセスの条件出しが難しくなっているため半導体の開発初期においてはウェーハ全面において良品チップが存在しない場合があり、定点検査を実行する場合において、比較検査のための適切な基準画像を撮像することができないという課題を解決する技術を提供する。
【解決手段】複数チップの定点検査画像を用いて平均化画像を生成し、定点位置に対応する回路デザインに関する情報を用いて平均化画像を評価し、平均化画像を基準画像とするか否かを決定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を照射することによるＩＣ等の被検査物の破損を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷへのＸ線の累積照射量を測定もしくは推定して記録するＸ線累積照射量記録手段を備えた構成とすることにより、例えば累積照射量があらかじめ設定している限界量に到達した時点で自動的にＸ線の照射を停止する等によって、検査自体による不良品の発生を防止し、良品に混入することを防止する。 （もっと読む）

【課題】複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界を一致させることができるＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法を提供すること。
【解決手段】搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器９と、被検査物Ｗの搬送方向に複数配置され、被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線ラインセンサと、Ｘ線ラインセンサからの検出信号が入力され、Ｘ線ラインセンサの間隔および被検査物Ｗの搬送速度に基づいて、搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサほどＸ線ラインセンサの検出信号を遅延させて出力する遅延部４４と、遅延部４４からの検出信号を合成して被検査物Ｗに対応する画像データとして出力する合成部４６と、合成部が出力する画像データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】幾何条件を変更した後に最初に断層撮影をする場合に、スキャン開始から断面像の完成までの時間を短くできるＣＴ装置を提供する。
【解決手段】透過像の回転中心位置を求め記憶する回転中心求出部９ｅと、スキャン制御部９ｄと回転中心求出部９ｅと再構成部９ｆとを制御して、被検体５に対し第一のスキャンを実施して、第一のスキャンデータから回転中心位置の求出と記憶を行い、引き続き、被検体５に対し第二のスキャンを実施して第二のスキャンデータを記憶しつつ、第二のスキャンデータから順次、回転中心位置を用いて再構成処理を前記第二のスキャンと並行して行い、被検体５の断面像を再構成する撮影制御部９ｃを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】試料の内部構造を破壊することなく分析する。
【解決手段】干渉性Ｘ線が発せられるＸ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線をコリメートするＸ線コリメータと、Ｘ線を吸収又は反射する材料により形成されており、前記Ｘ線の可干渉となる位置に設けられた参照穴及びＸ線透過窓とを有し、前記コリメートされたＸ線が照射されるＸ線吸収部と、前記Ｘ線透過窓を透過したＸ線が照射される位置に設置される試料と、前記試料により生じる散乱Ｘ線と、前記参照穴を通過したＸ線との干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、前記検出器により得られた前記ホログラムに基づき前記試料の内部構造のイメージ画像を得るためフーリエ変換を行う処理部と、を有し、前記試料は、前記Ｘ線吸収部に対し相対的に移動させることができるものであることを特徴とするＸ線分析装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ＢＧＡやＣＳＰなど、半田ボール等の複数の特定部位が対象物の表面ないしは内部に平面に沿って存在している回路基板等の対象物の検査において、半田ボール等が並ぶ平面による切断のための設定作業を不要としたＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＣＴ撮影により得られた投影データを逆投影処理して求めた対象物Ｗの３次元画像情報から、対象物の表面または内部に平面に沿って存在するあらかじめ設定された複数の特異部位の像を捜し出し、その各特異部位の像の中心が通る平面Ｐを求める特異部位像配列平面算出手段と、その平面Ｐでスライスした断層像を３次元画像情報に基づいて作成して自動的に表示器に表示する表示手段を備えることで、半田ボール等が並ぶ平面でスライスした断層像を、オペレータによるスライス位置の設定作業を必要とすることなく直ちに表示することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】
多層レイヤにおける下層パターンやホールパターンの穴底などの鮮明度の低い領域に対して高画質化が行える，高性能な画質改善処理を行う。
【解決手段】
設計データの高さ情報または画像から求めた試料の高さ情報の推定値を用いて鮮明化強度を計算し，該鮮明化強度を用いて撮像画像の画質改善処理を行う。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察装置、欠陥観察方法、及び半導体装置の製造方法において、欠陥観察装置と基板との位置合わせ精度を向上させること。
【解決手段】基板Wの表面の欠陥D_iのそれぞれの欠陥座標を取得するステップＳ１と、欠陥D_iのそれぞれに所定領域Rを設定し、その中に含まれる欠陥の総個数N_iを計数するステップと、ステージ座標を一番目の欠陥D₁の欠陥座標に合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第１の欠陥D₁を導入するステップと、視野中心２２ｃと第１の欠陥D₁とのズレ量を取得するステップと、上記ズレ量に基づいて、第１の欠陥D₁よりも上記総個数が多い第２の欠陥D₂の欠陥座標を補正するステップと、補正後の第２の欠陥D₂の欠陥座標にステージ座標を合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第２の欠陥D₂を導入するステップとを有する欠陥観察方法による。 （もっと読む）

【課題】リファレンス検出部を検出部の近傍に設置し線量全体の補正のみならず、線源の放射分布変化に対してもリアルタイム補正を行うことで、より精度の高い測定を実現する。
【解決手段】放射状に発散角を持つ放射線源とライン状の放射線検出器を有する放射線検出装置において、リファレンス用放射線検出器を放射線源と試料の間で且つ、測定用Ｘ線検出器に向かう放射線束を妨げない近傍に配置し、リファレンス用放射線検出器出力から線源の強度及び強度分布の変動分を検出し、測定用放射線検出器出力の補正を行うことで、線源の強度及び強度分布を補正した。 （もっと読む）

【課題】煩雑になる検査要員を必要とせず、迅速で有効な乗物の内室、荷物コンテナ、または他の対象の検査装置を提供する。
【解決手段】道路走行能力があるバンなどの包囲された運搬機構に基づいて、人間も含む検査対象を検査する検査システム。運搬機構は、格納ボディまたは装甲により特徴付けられる。貫通放射線源と貫通放射線をビームに形成するための空間モジュレータとは、共に運搬機構のボディ内に完全に収容されており、時間変化走査プロファイルにより対象を照射する。検出器モジュールは対象の内容物により散乱された貫通放射線に基づく散乱信号を発生し、相対移動センサは運搬機構と検査対象との相対配置に基づいて相対移動信号を生成する。散乱信号及び相対移動信号に部分的に依存して信号から対象の内容物の画像が形成される。散乱検出器モジュールとは別々でも部分でもよい検出器が、放射性物質の崩壊生成物に対する感度を示すようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】位置ずれ補正に要する走査画像の取得回数を１回で済まし、また、ｙ軸方向の位置ずれ補正およびｘ軸方向の位置ずれ補正に要する演算を１回で済まして、位置ずれ補正に要する時間を短縮する。
【解決手段】荷電粒子ビームを試料上で二次元的に走査して走査画像を形成する走査ビーム照射装置において、試料を支持するステージ上に設けたマークと、このマークを含む走査画像を取得する走査画像取得手段と、走査画像取得手段で取得した走査画像に基づいて位置ずれを補正する位置ずれ補正手段とを備え、走査画像取得手段は、同一のマークを走査画像中に含む２つの異なる走査画像を取得し、この２つの走査画像の取得は同じ走査期間内で行う。２つの走査画像は同一のマークを走査画像中に含むため、２つの走査画像中のマークの位置を比較することによって、走査画像間に位置ずれを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に割れや欠けがなく、良品と相似形で面積が相違する物品や、周囲長が良品と同程度でも欠けが存在する物品について、従来に比してより正確に割れや欠けの有無を判定することのできるＸ線検査装置とその検査プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１からのＸ線を検査対象物Ｗに照射し、その透過Ｘ線をＸ線検出器２で検出して得られる検査対象物のＸ線透視像を、画像処理して良否判定を行う装置において、検査対象物のＸ線透視像の外形の複雑さを数値化し、その数値をあらかじめ設定されている許容範囲と比較することによって良否判定を行うことで、割れや欠けが存在しないものの面積の大きな対象物を欠陥品と判定せず、また、周囲長が良品と同程度でも欠け等が存在する対象物を確実に欠陥品と判定する。 （もっと読む）

【課題】検出画像を取得した被検査領域毎に閾値を最適化する手法はあるが、１枚の検出画像については１つ閾値だけを適用する。このため、１つの画像内に有意でない欠陥が含まれる場合でも、有意の欠陥と同じ感度レベルで検出される。
【解決手段】１つの検査領域内に複数の感度領域を設定して、１つの検査領域のうちＤＯＩ（Defect of interesting）が存在する領域の欠陥だけを他と区別して検出できる仕組みを提案する。具体的には、検査領域内の画像の特徴に基づいて、検査領域内に複数の感度領域を設定し、検出画像、差画像又は欠陥判定部の判定用閾値に、各感度領域の設定感度を適用する。 （もっと読む）

【課題】平行ビーム法を用いたＸ線回折法において、角度分解能が優れていて、Ｘ線強度の低下が少なく、構造が簡素化されたＸ線回折装置およびＸ線回折方法を提供する。
【解決手段】平行ビームのＸ線２４を試料２６に照射して、試料２６からの回折Ｘ線２８をミラー１８で反射させてからＸ線検出器２０で検出する。ミラー１８の反射面は複数の平坦反射面の組み合わせからなり、各平坦反射面の中心点は、試料２６の表面上に中心を有する等角螺旋の上にある。Ｘ線検出器２０は、回折平面に平行な平面内において１次元の位置感応型である。異なる平坦反射面で反射した反射Ｘ線が、Ｘ線検出器２０の異なる地点にそれぞれ到達する。異なる平坦反射面で反射した反射Ｘ線がＸ線検出器の同一の検出領域上で混在して検出されることを想定して、それらを互いに区別するための補正処理を実施する。 （もっと読む）