Fターム[2G001FA17]の内容
放射線を利用した材料分析 (46,695) | 信号処理とその周辺手段(測定出力提供とその精度向上関連) (1,977) | SP重畳対策関連 (23)
Fターム[2G001FA17]に分類される特許
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薄膜内の元素の非破壊分布プロファイリングの方法及びシステム
【課題】薄い膜又は極薄の膜に堆積される1つ又は複数の元素の深さ分布情報を抽出する方法及びシステムを提供する。
【解決手段】薄膜内の元素の分布プロフィールを判断する方法。本方法は、第1の薄膜に堆積した元素の電子エネルギを励起する段階、電子エネルギに関連する第1のスペクトルを取得する段階、及び第1のスペクトルから背景スペクトルを除去する段階を含む。背景値を除去すると、処理スペクトルが生成される。本方法は、更に、第1の薄膜に同等の薄膜内の元素に対する既知の模擬分布プロフィールを備えた模擬スペクトルに処理スペクトルを適合させる段階を含む。第1の薄膜内の元素に対する分布プロフィールは、模擬スペクトルの組から選択された模擬スペクトルに処理スペクトルを適合させるこの段階に基づいて取得される。
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エネルギー分散型蛍光X線装置、蛍光X線分析方法、およびプログラム
【課題】 分析精度の高いエネルギー分散型蛍光X線装置、蛍光X線分析方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 本発明にかかるエネルギー分散型蛍光X線装置100は、試料にX線を照射することにより発生する蛍光X線に基づいて前記試料を分析するエネルギー分散型蛍光X線装置であって、前記試料から発生した蛍光X線を検出する検出部14と、前記検出部が検出した前記蛍光X線のスペクトルを作成するスペクトル作成部22と、前記スペクトル作成部によって作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する鉛同定部24と、を含む。
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スペクトルCTのための検出器アレイ
放射線検出器は、低エネルギーの放射線イベントを可視光に変換し、高エネルギー放射線を透過するように、X線源(14)に対向して備えられている上部シンチレータ(30T)の二次元アレイを有する。下部シンチレータ(30B)の二次元アレイは、透過された高エネルギー放射線を可視光に変換するように、X線源(14)から遠位側に上部シンチレータ(30T)に隣接して備えられている。上部及び下部光検出器(38T,38B)は、上部及び下部シンチレータ(30T,30B)の内側(60)においてそれぞれのシンチレータ(30T,30B)に光学的に結合されている。光学要素(100)は、上部シンチレータ(30T)から光を収集して、対応する上部光検出器(38T)に導くように、上部シンチレータ(30T)に光学的に結合されている。
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