【課題】ＸＰＳ法を用いた化学状態分析において、内殻スペクトルのピーク形状が非対称であっても、表面の化学状態を定量的に評価できる導電性材料表面化学状態の定量的評価方法を提供する。
【解決手段】表面に官能基修飾処理が施されていない導電性材料について、ＸＰＳ法によって構造の異なる２種類以上の内殻スペクトルそれぞれをＸＹ座標に表示する第一工程と、第一工程においてＸＹ座標に表示された内殻スペクトル全ての内殻スペクトルに当て嵌まるように、それら内殻スペクトルをＸＹ座標の２以上の対称な関数に分解し、それら２以上の対称な関数の和によってＸＹ座標に表示された非対称なピーク関数を定義する第二工程と、測定対象の導電性材料について、非対称なピークを第二工程において定義された非対称なピーク関数を用いて分解し、そのピーク関数のＸＹ座標の面積の和を非対称なピーク面積として算出する第三工程とを含む導電性材料表面の定量的評価方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、上記のような事情を背景になされたものであり、産業用Ｘ線ＣＴ画像装置において検出器厚みを従来より薄くし検出器アレイを稠密化した場合に発生する隣接検出器への漏れ放射線量を評価・予測し、除去することにより、撮像画像の高い空間分解能が得られるＸ線ＣＴ撮像方法および装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、前記検出器から得られるＸ線透過量データから画像を再構成するプロセスに、前記検出器毎のＸ線透過量データから、隣接する検出器による漏れ放射線量を除去する処理を含んだことを特徴とする。
【効果】本発明によれば、産業用Ｘ線ＣＴ画像装置において検出器厚みを従来より薄くし検出器アレイを稠密化した場合に発生する隣接検出器への漏れ放射線量を評価・予測し、除去することにより、撮像画像の高い空間分解能が得られる。 （もっと読む）

【課題】３元系の酸化物の組成比を容易に測定することができる方法を提供する。
【解決手段】第１元素および第２元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる２元系または３元系の酸化物であって各々の組成比が既知であり互いに異なる複数の標準試料それぞれに対してＥＰＭＡ測定を行って特性Ｘ線スペクトルを求め、これら複数の標準試料それぞれの特性Ｘ線スペクトルにおけるエネルギー範囲５１９〜５２２ｅＶ内のピーク位置に基づいて、このピーク位置と組成比との間の関係式を作成する。この関係式を用いることで、第１元素，第２元素および酸素元素からなる３元系の酸化物である対象物の特性Ｘ線スペクトルにおけるエネルギー範囲５１９〜５２２ｅＶ内のピーク位置から、該対象物の組成比を求める。 （もっと読む）

【課題】 主成分の数を間違って設定して多変量カーブ分解を行うと、評価対象物の情報を反映した妥当な解析データを得ることができない。
【解決手段】 複数の標本の原初スペクトルデータを主成分分析することにより、複数の暫定主成分スペクトルを求める。暫定主成分数を変えて、暫定主成分スペクトルの中から、寄与率の大きなものから順番に暫定主成分数の暫定主成分スペクトルを抽出する。抽出された暫定主成分スペクトルに基づいて計算された標本のスペクトルデータと、原初スペクトルデータとの差分スペクトルを、暫定主成分数ごとに求める。差分スペクトルに関連する情報エントロピーと、暫定主成分数との関係に基づいて、原初スペクトルデータの主成分数を決定する。 （もっと読む）

【課題】内部の雑音を低減した多重エネルギ撮像データを得る。
【解決手段】ＣＴシステム（１０）が、走査対象（２２）を収容する開口（４８）を有する回転式ガントリ（１２）と、制御器（２８）とを含んでおり、制御器（２８）は、第一の時間的期間（４５４）にわたり第一のｋＶｐ（４５２）を印加し、第一の時間的期間（４５４）とは異なる第二の時間的期間（４５８）にわたり第二のｋＶｐ（４５６）を印加し、第一の時間的期間（４５４）の少なくとも一部の間に第一の非対称型ビュー・データ集合（５５０）を取得し、第二の時間的期間（４５８）の少なくとも一部の間に第二の非対称型ビュー・データ集合（５５４）を取得して、取得された第一及び第二の非対称型ビュー・データ集合（５５０、５５４）を用いて画像を形成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】バックグラウンド波形の急激に変化する偏曲点付近に存在するスペクトルであっても、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形の適当な分離を図ること。
【解決手段】典型的なバックグラウンド波形と強度を求めたい蛍光Ｘ線ピーク波形とそのピークの周辺にあり検出された複数の蛍光Ｘ線ピーク波形を使い、測定された波形を良く再現するようにバックグラウンド波形と蛍光Ｘ線ピーク波形の強度を変化させる。そして、出来上がったスペクトルから、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を分離する蛍光Ｘ線分析装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際に、簡易な手順で精度よく組成分析を行う。
【解決手段】第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａ＞第２の領域Ｂ、第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が第２の領域Ｂ＞第１の領域Ａとなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出し（ステップＳ１０６）、積分強度Ｂｔに基づき第２の領域Ｂにおける第２の元素ｙの強度分Ｂ_ｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂ_ｙ／ｔおよび第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域Ａの第２の元素ｙの強度分Ａ_ｙ／ｔを算出し、第１の領域Ａの第１の元素ｘの強度分Ａ_ｘ／ｔを、Ａ_ｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａ_ｙ／ｔから算出する（ステップＳ１０８）。 （もっと読む）

【課題】試料の組成が異なる場合でも蛍光Ｘ線分析を利用して試料中の測定対象物の濃度を計測することができる濃度計測方法、及び蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明では、硫黄等の測定対象成分を含む液体燃料等の試料に対して蛍光Ｘ線分析を行い、蛍光Ｘ線分析により取得したスペクトルから求められる測定対象成分の蛍光Ｘ線強度から、散乱Ｘ線及びシステムピークによるバックグラウンドを減算し、バックグラウンドを減算した蛍光Ｘ線強度に対し、試料の組成に起因する蛍光Ｘ線強度変化の補正を行う。バックグラウンドを減算した蛍光Ｘ線強度に対して補正を行った後の値と測定対象成分との関係を示す検量線を予め定めておき、検量線に基づいて、試料中の測定対象成分の濃度を計算する。 （もっと読む）

検出器出力データ内の個々の信号を分離する方法および装置であって、方法は、検出器出力データをデジタル系列として取得するかまたは表現すること、データ内に存在する信号の信号形態を取得するかまたは確定すること、数学的変換に従って信号形態を変換することによって変換済み信号形態を形成すること、数学的変換に従ってデジタル系列を変換することによって、変換済み信号を含む変換済み系列を形成すること、少なくとも変換済み系列および変換済み信号形態の関数を評価し、それにより、関数出力を提供すること、関数出力のモデルに基づいて関数出力の少なくとも１つのパラメータを確定すること、および、関数出力の少なくとも１つの確定されたパラメータから信号のパラメータを確定することを含む、方法および装置。方法は、関数出力をモデル化することによってモデルを形成することを含んでもよい。
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サムピークを自動的に抑制するＸ線蛍光（ＸＲＦ）分析器を作動させる方法を開示する。本方法は、試料を照射して最初のエネルギスペクトルを取得する段階を含む。エネルギスペクトルは、着目元素の特徴的蛍光ピークを妨害するサムピークを識別するように処理される。識別されたサムピークに寄与する放射線を減衰させるフィルタが放出放射線経路に位置決めされ、フィルタリング済みのエネルギスペクトルが得られる。ある一定の実施形態では、フィルタリング済みエネルギスペクトルは、最初のエネルギスペクトルから計算された着目元素の検出限界（ＬＯＤ）がターゲット目標を満たさない時にのみ得られる。 （もっと読む）

放射線透過データおよび特に物体の画像を、構成要素の物質の相対的な比率についての一部のデータが導き出され得る方法にて取得するための方法および装置を記載する。放射線源のスペクトル内の複数の周波数全体に亘って透過強度を分解することができる放射線源および放射線検出器システムが、各々のこのような周波数についての透過強度データを生成するために用いられる。少数の予期される構成要素の物質のために、その構成要素の物質に関して、指数減衰法、すなわちｌ／ｌ_０＝ｅｘｐ［−（μ／ρ）ρｔ］によって与えられる関係に適合させ、かつ、構成要素の物質から、強度データアイテムを生成する透過経路内の各々の要素の物質の相対的な比率の指標を導き出すために、測定されたデータが、個々で、または集合的に、質量減衰データを保存する質量減衰データライブラリと数値的に比較される。画像は分解された透過強度データから生成されてもよい。 （もっと読む）

【課題】標準試料のエネルギースペクトルを用いないで、重なりのあるエネル
ギースペクトルを波形分離する。
【解決手段】
加速電圧を５ｋVと１０ｋVに切り替え、それぞれの電子ビームで試料５を照射し、各照射により得られた各加速電圧に対するエネルギースペクトル信号D_５ｋV、D_１０ｋVを記憶装置１４に記憶する。（一次電子線のエネルギー/結合エネルギー）に対するイオン化断面積の関係データから試料５を成すTiとNの分析情報変化率ｒ_Ti、ｒ_Nを算出する。記憶装置１４に記憶された各加速電圧に対するエネルギースペクトル信号D_５ｋV、D_10kVと、Tiの分析情報変化率ｒ_Ti、Nの分析情報変化率ｒ_Nとから試料５を成す各元素のエネルギースペクトル信号R_５ｋV（Ti）、R_５ｋV（N）を算出し、試料５を成すTiとNのエネルギースペクトルを表示装置１５に表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】高次回折の特性Ｘ線を用いる状態分析において、高次線の測定を行う条件を自動的に設定し、得られたスペクトルを１次線の値に換算して表示できるようにする。
【解決手段】 入力装置１２から状態分析を行う元素の元素名、特性Ｘ線種及び回折次数を入力する。測定制御装置１１は指定された元素の特性Ｘ線種に従って記憶装置１４から１次線の波長データを読出し、回折次数に基づいて実際の分光波長位置と測定波長範囲を求める。さらに、指定された回折次数のＸ線信号のみが選別されるように、ＷＤＳ測定系８内のＰＨＡの条件を設定する。
測定された高次回折線のスペクトルを１次線の値に換算し、表示装置１３に表示する。 （もっと読む）

物体の放射線相互作用データ、及び特に物体の画像を取得する方法及び装置であって、例えば、Ｘ線またはガンマ線源のような放射線源、及びＸ線またはガンマ線検出システムのような放射線検出システムであって、それらの間にスキャニング領域を定義するようにお互いに離間して配置され、放射線検出システムは、入射放射線に関する分光学的に分解可能な情報を検出及び採取でき、前記検出システムに入射する放射線に関する１つ以上の強度情報のデータセット、及び少なくとも１つ、好ましくは複数のスキャニング位置における前記スキャニング領域の物体の入射放射線との相互作用を採取し、好ましくは、前記検出システムにおいて受信された、前記物体との相互作用の後の放射線、及び例えば前記物体を透過した放射線から前記スキャニング領域の物体の画像を生成し、それぞれの前記強度データセットを、前記放射線源の前記スペクトルの範囲内の少なくとも３つの周波数帯域に亘って、それぞれの周波数帯に対する強度データアイテムを生成するために分解し、既定の強度データセットにおける、少なくとも２対の前記周波数帯域の前記強度データアイテムの間の数値的関係を、放射線相互作用に関連する特有の物理的物質特性と関数関係にある１つの数値的指標を得るために算出し、その数値的指標を、強度データセットを生成する物質に近似する成分の指標を得るために、潜在的な成分の物質の特有の物理的物質特性を示すデータのライブラリと比較する。 （もっと読む）

【課題】スループット時間を大幅に増加させることなく、ＴＩＳおよび／または瞳面の中心を求める際のエラーを補償し、或いは、軽減する方法および装置を提供する。
【解決手段】スキャトロメータの非対称性を測定する方法において、ターゲット部分を、第一には０°の基板回転で、第二には１８０°の基板回転で、２回照明する。これらの像の一方を回転し、次に回転したその像を他方の像から引く。この方法で、スキャトロメータの非対称性を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】 波長分散形Ｘ線分光器及びエネルギー分散形Ｘ線分光器を用いて試料分析を行うに際して、波長分散形Ｘ線分光器による試料分析を効率良く行うことのできる試料分析方法及び試料分析装置を提供する。
【解決手段】 試料７に電子線１２を照射し、電子１２線の照射により試料７から発生する特性Ｘ線１３をＷＤＳ８により分光して検出し、これによる特性Ｘ線ピークの検出位置における特性Ｘ線強度の測定を行うに際して、該特性Ｘ線ピークの検出位置での特性Ｘ線１３のバックグランド強度を、試料７上の対応する分析位置におけるＥＤＳ１１により測定された特性Ｘ線強度に基づく定量分析値によって算出された平均原子番号に基づいて求め、ＷＤＳ８により検出された特性Ｘ線ピークの検出位置でのピーク強度から該バックグランド強度を差し引いて正味の特性Ｘ線強度を求める。 （もっと読む）

【課題】高い分析精度を維持しつつ、非常に短時間で分析を行うことができるアスベストの定量分析方法を提供する。
【解決手段】被検試料Ｓに含まれるアスベストの回折線強度を求め、検量線に基づいてその回折線強度からアスベストの重量を求める定量分析方法である。アスベストの回折線強度を求める際、受光スリット５のスリット幅をアスベストの回折線幅と等しい幅に設定し、その受光スリット５及びＸ線検出器８をアスベストの回折線角度位置（２θ）に停止させた状態でＸ線検出器８によって所定時間、回折線を計数する。受光スリット５及びＸ線検出器８のスキャンによってアスベストの回折線強度を測定することに比べて、測定時間を大幅に短縮できる。 （もっと読む）

【課題】それぞれ異なる分光結晶を搭載する複数のＸ線分光器を装備し各Ｘ線分光器毎に検出する波長を設定して複数の元素の同時分析を行う波長分散型のＸ線分析装置において、Ｘ線分光器に対する分析対象元素の割り当てを適切に行うことで測定回数を減らしながら正確な測定を行う。
【解決手段】複数の分析対象元素の中で濃度の低い順に、より高い感度での分析が可能な分光結晶と特性Ｘ線の種類の組合せを選択し（Ｓ２、Ｓ３）、選択した分光結晶が装置に装備されているか否か、既に他の分析対象元素に割り当てられているか否か、さらには選択された特性Ｘ線に他の元素の特性Ｘ線の重畳がないかどうか、をそれぞれチェックし（Ｓ４〜Ｓ７）、問題がなければ選択された分光結晶（Ｘ線分光器）に分析対象元素を登録する（Ｓ９）。これを濃度の低い順に繰り返して、全元素をＸ線分光器に割り当てる。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを用いて１つ又はそれよりも多くの処理条件下で多層構造からＸ線を励起する提案構造解析処理の自動最適化の方法を提供する。
【解決手段】提案構造解析処理の実行可能性を判断する方法。この処理は、多層構造からのＸ線の電子ビーム励起を伴っている。本方法は、１つ又はそれよりも多くの組の処理条件に従って多層構造のＸ線励起応答を表す予測Ｘ線データを発生させる段階を含む。Ｘ線データは、層の構造及び組成を定める構造データを用いて発生される。多層構造に対して提案構造解析処理を行う実行可能性を判断するために、構造データの変更がＸ線データに与える影響が、次に、１つ又はそれよりも多くの所定の実行可能性基準に従って解析される。 （もっと読む）

【課題】減圧環境下で使用されるセラミックス部品において、処理物への汚染の少ないセラミックス部品を検査し、有機物の汚染の少ない半導体製造装置用セラミック部品を提供する。
【解決手段】焼結体密度９８％以上であり、Ｘ線光電子分光法で表面の深さ方向の測定をし、表面から５ｎｍ以深での深さで検出される吸着有機物由来の炭素量が５ｍａｓｓ％以下であることを特徴とする半導体製造装置用セラミックス部品、更に、半導体製造装置の処理室内で曝露される主面の表面粗さが、表面平滑度でRａ１μｍ以下であることを特徴とする前記半導体製造装置用セラミックス部品である。 （もっと読む）