【課題】Ａ／Ｄ変換後の画像補正を複雑にすることなく、適切な濃度階調が描出された高画質なＸ線画像を得る。
【解決手段】放射線の照射終了後、ＦＰＤの撮像領域における一次元の入射線量の分布である線量プロファイルを測定する。線量プロファイルの最大値と最小値の差Δｄであるコントラストに基づいて、信号電荷を読み出す際のゲインの値を決定する。ゲインは、コントラストが大きい場合には小さい値に、コントラストが小さい場合には大きい値に決定される。コントラストが小さい場合にゲインを大きくすることで、Ａ／Ｄ変換器のダイナミックレンジを有効利用できる。 （もっと読む）

【課題】 ダイナミックレンジが広くかつ密度分解能が高い屈折コントラスト型X線撮像方法を提供する
【解決手段】 被写体の密度分布に応じて、非対称結晶の非対称度を変化させることによって、入射Ｘ線と回折Ｘ線がほぼ比例する角度領域を広げ、回折Ｘ線強度が最大値の半分となる低角および高角の入射角度で測定を行う。 （もっと読む）

【課題】複数の信号を用いた高精度な寸法測定を実現することを可能にする。
【解決手段】本実施形態は、走査顕微鏡を用いて対象物の寸法測定を行う寸法測定方法であって、前記対象物の測定に関する始点および終点となる測長点を定義する工程と、前記対象物にビームを入射して走査することにより、同時刻における前記対象物からの複数の信号を検出する工程と、前記対象物の測長点の定義に基づいて、前記複数の信号から測長点を決定する工程と、前記対象物において決定された測長点の間の距離を算出する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】無機酸化物系材料中のエトリンガイト量を精度良く定量する。
【解決手段】無機酸化物系材料を、5ｍｍより小さい粒度まで粗粉砕し、150μｍ以下の粒度のものを篩いとり、全体に対する150μｍ以下の粒度の質量割合を測定した上で、前記150μｍ以下の粒度の材料中に含まれるエトリンガイトの量を定量分析し、それを質量割合で割り戻すことにより、無機酸化物系材料中のエトリンガイトの量を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】測定試料の結晶品質が著しく劣化し、ｔｗｉｓｔ分布に起因したピーク拡がりが著しく大きくなる場合にも、ｔｗｉｓｔ分布に起因したピーク拡がりを同定する結晶の構造解析方法を新たに提供する。
【解決手段】Ｘ線受光器１２の位置は固定し、試料１４のみを回転させるωスキャンモードを用いて、Ｘ線回折測定を行うことにより、横軸がスキャン角度Δθで縦軸がＸ線強度を表すｈｋｌ反射プロファイルを求め、求めたｈｋｌ反射プロファイルについて、再規格化工程、形状解析工程及び判定工程を適用して、ピーク拡がり形状が結晶のモザイク性により生じる局所的なｔｗｉｓｔ分布に起因して生じる形状か否か判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも空間分解能の高い透視画像を生成することを目的とする。
【解決手段】逆コンプトン散乱Ｘ線を透視対象物に走査して照射するＸ線照射手段と、前記透視対象物で発生する後方散乱Ｘ線光子を検出するＸ線検出部と、該Ｘ線検出部のＸ線光子のうち、所定の評価範囲内のエネルギーに属するＸ線光子を抽出する抽出手段と、該抽出手段の抽出結果に基づいて透視対象物の透視画像を作成する透視画像作成手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】プラズモンロス像を、計算で簡単に算出することが可能な試料解析装置を提供する。
【解決手段】入力部１１がＳＴＥＭ−ＥＥＬＳ法における実験条件と試料情報を取得し、損失関数演算部１２が試料情報をもとに損失関数を算出し、吸収ポテンシャル演算部１３が損失関数と、実験条件の１つでありプラズモン吸収領域に設定されるエネルギースリットをもとに、エネルギースリットを考慮するか否かで２種類の吸収ポテンシャルを算出し、全散乱電子強度演算部１４が２種類の吸収ポテンシャルをもとに、第１及び第２の全散乱電子強度を算出し、プラズモンロス像生成部１５が第１の全散乱電子強度と第２の全散乱電子強度との差分からプラズモンロス像を生成する。 （もっと読む）

【課題】判断基準を複数有し、複数の判断基準に基づいて異物判断を行うことができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００においては、Ｘ線照射装置２００およびラインセンサ３００により商品６００の状態を検出し、制御部３５０により当該レベル１，〜，レベル５の検出レベルに基づいて商品６００の状態を判断し、出力部３５５により当該判断結果を出力する。また、制御部３５０の判断基準となる第１閾値７７１ａ，７７１ｂをレベル１の検出レベルにおいて設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分光装置に関し、広い波長範囲でＸ線の分光を再現性よく得ることができるＸ線分光装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料１１から発生した特性Ｘ線１３を受ける互いにほぼ９０°の角度で配置された２つの分光素子１，２と、該２つの分光素子からの分散光を同時に受けて電気信号に変換する位置敏感検出器１５と、該位置敏感検出器の出力を記憶するメモリと、該メモリに記憶されたデータを読み出して所定の画像処理を行なう画像処理部と、該画像処理部の出力を受けて分光情報を表示する表示部と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】対象物に含まれる異物の検出精度を向上させることができるＸ線画像取得システムを提供する。
【解決手段】Ｘ線画像取得システム１は、所定の厚みＷを有する対象物ＳにＸ線源からＸ線を照射し、対象物Ｓを透過したＸ線を複数のエネルギ範囲で検出する。Ｘ線画像取得システム１は、対象物Ｓ内において厚み方向に延在する領域Ｒ１を透過したＸ線を低エネルギ範囲で検出する低エネルギ検出器３２と、対象物Ｓ内において厚み方向に延在する領域Ｒ２を透過したＸ線を高エネルギ範囲で検出する高エネルギ検出器４２と、対象物Ｓ内の所定箇所に位置する被検査領域Ｅが領域Ｒ１及び領域Ｒ２に含まれるように低エネルギ検出器３２及び高エネルギ検出器４２でのＸ線の検出タイミングを制御するタイミング制御部５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】層界面領域に達する前に、照射面の層界面領域への近接を検出することが可能な電子分光分析方法を提供する。
【解決手段】試料に電子を励起させる励起線を照射し、試料から放出され、第１の層の構成元素に由来する第１の電子の信号強度を測定し、試料から第１の電子とともに放出され、第２の層の構成元素に由来する第２の電子の信号強度であって、前記第２の層が前記試料の表面を形成しているときに測定される運動エネルギーである第１の運動エネルギー（Ｅｋ（Ｓｉ２ｓ）、Ｅｋ（Ｓｉ２ｐ））よりも低い第２の運動エネルギー（Ｅｋ（１）、Ｅｋ（２）、Ｅｋ（３））を有する第２の電子の信号強度を測定し、第２の電子の信号強度の変化度合いが所定のレベルに達したときは、試料の分析条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】走査装置を通過するコンベヤシステムとの互換性を有し、かつ高速な走査が可能なＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】物品を検査するＸ線画像化検査システムは、撮像容積（１６）の周りに延在し、放射されるＸ線が撮像容積を通過できるように配向された複数の点状放射源（１４）を構成するＸ線放射源（１０）を有する。Ｘ線検出器アレー（１２）は同様に走査容積の周りに延在し、点状放射源からの撮像容積（１６）を通過したＸ線を検出し、この検出されたＸ線に基づく出力信号を生成するように構成されている。コンベヤ（２０）は撮像容積（１６）を通過して物品が運ばれるように構成されている。 （もっと読む）

コンピュータ断層撮影システム用の圧縮サブシステムは、効率的なデータ送信及び記憶のために投影データを圧縮する。この圧縮は、投影データサンプルのアレイに減衰プロフィールを適用することを含む。この減衰プロフィールは、サンプル座標の関数であり、サンプルに適用する減衰値を決定する。減衰サンプルは、データ転送のためにエンコードされ、パックされる。或いは又、差の演算器が減衰サンプルに適用され、差がエンコードされる。圧縮サンプル当たりの平均ビット数が監視され、圧縮サンプル当たり希望のビット数を達成するように減衰プロフィールを変更することができる。圧縮サンプルは、画像再構成処理の前に解凍される。解凍は、圧縮サンプルをデコードし、そのデコードされたサンプルに利得プロフィールを適用して、オリジナルのダイナミックレンジを回復することを含む。 （もっと読む）

【課題】エネルギー分解能が良好な１次元の位置感応型Ｘ線検出器を用いることで、受光側にモノクロメータを配置することなく、蛍光Ｘ線に起因するバックグラウンドを低減する。
【解決手段】入射Ｘ線２８と回折Ｘ線３０とのなす角度を変更しながら試料２０からの回折Ｘ線３０の強度をＸ線検出器１０で検出する。Ｘ線検出器１０はシリコン・ストリップ検出器であり、細長く延びる単位検出領域を複数個備えている１次元の位置感応型検出器である。この検出器は、受光したＸ線のうち、そのＸ線エネルギーが上限値と下限値の間にあるものだけを弁別する機能を備えている。ＣｕＫαにおけるエネルギー分解能は２０％以下である。上述の上限値と下限値を適切に設定することで、蛍光Ｘ線の大半をカウントしないようにすることができて、本来の回折Ｘ線の強度をあまり下げずに、バックグラウンドを大幅に下げることができる。 （もっと読む）

本発明は、細胞壁を透過する検体の移送を測定する方法および装置を含む。
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【課題】検量線を短時間に容易に作成できるようにして、定量分析を短時間に容易に行うことができるようにする。
【解決手段】被検試料をスキャン読取りすることによって回折強度プロファイルを求め、そのプロファイルに含まれているピーク波形の積分量を求め、検量線に基づいてその積分量から含有量を判定する定量分析方法である。含有量既知の標準試料に対して広いスキャン範囲（１１．０°≦２θ≦１３．２°）で所定の読取りステップ幅（０．０２°）で測定を行って回折線プロファイルＰ１〜Ｐ５を求め、その読取りステップ幅ごとの測定量（Ｉ）を標準試料ごとに記憶し、被検試料の測定結果に基づいて定量測定スキャン範囲を決め、記憶した標準試料についてのステップ幅ごとの強度データについて、定量測定スキャン範囲と同じ範囲（γ≦２θ≦δ）の積分値を演算によって求め、その積分値と標準試料の既知の含有量とによって検量線を求める。 （もっと読む）

【課題】ＧａＮ系試料に対してＸ線回折測定をすることにより、同材料系で重要となるtwist 分布の存在を判定する。
【解決手段】ＧａＮ系試料に対してＸ線回折測定をし、選択した複数の異なる反射指数hklごとのhklプロファイルを求める。選択した反射指数hklで特定される反射指数hkl面と試料の表面とでなす角度を面角度θｃとし、各hklプロファイルの
横軸であるスキャン角度Δθをsinθｃで割って、hklプロファイルの横軸をΔθ／sinθｃに規格化しなおして、複数の選択した反射指数hklごとの再規格化したhklプロファイルを求める。複数の再規格化したhklプロファイルを、それぞれのピーク頂点をそろえる状態にして重ね、このようにして重ねた複数の再規格化したhklプロファイルのピーク拡がり形状が一致する場合には、hklプロファイルのピーク拡がり形状は、結晶のモザイク性により生じる局所的なtwist 分布に起因して生じるピーク拡がり形状であると判定する。 （もっと読む）

【課題】対象サンプルに関するX線エネルギースペクトルの放射線量子の背景補正された計数を正確かつ速く決定する方法。
【解決手段】本発明の方法は、対象サンプルから蛍光X線ビームを発生させるステップであって、前記X線ビームは、解析結晶及び検出器に入射されるステップと、前記解析結晶を、前記蛍光X線ビームに対して角度θが得られるように回転させ、前記検出器を、前記蛍光X線ビームに対して角度２θが得られるように回転させるステップと、一定の検出器角度２θで、前記検出器を用いて、パルス高分布エネルギースペクトルを測定するステップとを有する。 （もっと読む）

本発明は、多色Ｘ線源（１０）と、各々のピクセルが、少なくとも１つの調整可能な閾値により範囲が規定されている少なくとも１つのエネルギ・ウィンドウ内で光子計数モードにて動作するのに適している複数のピクセルを有する検出器（１、２）と、少なくとも１つのカウンタとを備えるＸ線撮像装置に関し、各々のピクセルは、予め定められた期間にてエネルギ・ウィンドウ内で各々のピクセルにより受領された光子の数に対応する出力を送出することが可能である。Ｘ線撮像装置は、さらに、リアルタイムで、種々のエネルギ・ウィンドウ内で複数のピクセルの閾値を連続して調整することが可能な調整手段（１２）と、リアルタイムで、種々のエネルギ・ウィンドウ内で複数のピクセルの出力の微分処理を実行するための処理手段（１６）とを備える。
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