【課題】不均一放射照度環境下において検出器ゲイン特性をステッチングおよび線形化する方法を提供する。
【解決手段】不均一放射（平面的なＸ線（光）領域を有する放射源の使用が必要とされない）状況におけるマルチセンサ検出器ゲイン特性のステッチングおよび線形化の手法で、検出器センサの出力信号強度の変換のためのＬＵＴ関数の計算に基づいている。規定されたＬＵＴ関数の適用し、測定精度の範囲内で、同じでかつ線形であるセンサゲイン特性が受信される。ステッチングＬＵＴ関数の計算は、検出器の領域に沿ってゆっくりと変化する不均一Ｘ線（光）を照射し、同じゲイン特性を有する任意の２つの隣接したセンサの応答が、これらのセンサの連結部付近において類似の値を有することを利用する。 （もっと読む）

【課題】被検査物と混在しやすい特定の異種物とが同等の大きさでも、混在しやすい特定の異種物を確実に検出して異種物混入検査を行う。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、バラ流しで搬送される被検査体にＸ線を照射して得られるＸ線透過画像のＸ線濃度データに基づいて被検査体の検査を行うものであり、Ｘ線濃度データから得られる検出すべき特定の異種物Ｗａの立体形状の特徴を示す立体形状指数に基づいて特定の異種物Ｗａの有無を判別する信号処理部６を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスのようなパターンの検査において、特定のパターン上の欠陥を選択的に検出することが欠陥発生原因を推定するのに有用である。そこで、本願発明は、試料上のパターン形状に応じて検査対象とする領域を設定することができる荷電粒子線装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本願発明は、試料の画像に基づいて得られるテンプレート画像を用いて試料上のパターンの輪郭を抽出し、前記パターンの輪郭に基づいて検査対象領域を設定し、被検査画像を比較画像と比較して欠陥候補を検出し、前記検査対象領域と当該検査対象領域に含まれる前記欠陥候補との位置関係を用いて、試料を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定試料およびＸ線照射装置の姿勢を制御する駆動機構を有さず、かつ測定可能な試料の大きさや形状に特段の制約のないＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＸ線回折装置は、Ｘ線照射装置と二次元Ｘ線検出器とを有するＸ線回折装置であって、前記二次元Ｘ線検出器は平板状に設置されており、前記Ｘ線照射装置は前記二次元Ｘ線検出器を貫通するように配設され、前記二次元Ｘ線検出器と前記Ｘ線照射装置とが一体に固定され、前記Ｘ線照射装置の姿勢を規定しかつＸ線の漏洩を防止するための筒状シールド部材が前記二次元Ｘ線検出器の周縁に配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円筒面変換処理と時間遅延積分処理との両方を同じ演算制御過程内で行うことを可能にすることにより、極めて分解能が高く、しかも強度の高い回折Ｘ線像を得ることができるＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ１７、メモリ２０等から成るコンピュータの外部にＤＳＰ（デジタルシグナルプロセッサ）から成る信号処理部２１を設置して成るＸ線回折装置１である。測定装置２はＸ線回折測定を行う。２次元ピクセル型検出器１２は複数のピクセルから出力されるデータ量の大きな２次元回折線データを高速通信線であるカメラリンクケーブル２４を通して信号処理部２１へ伝送する。信号処理部２１は送られてきた大量の回折線データに対して円筒面変換処理２６及び時間遅延積分処理２７を行い、処理結果の画像データを１ラインの行データごとにバス２３へ伝送する。 （もっと読む）

【課題】パイプの放射線透視像のうちのパイプを横断する方向の輝度プロファイルを使用してパイプの外径点及び内径点を精度よく推定し、パイプ厚みを正確に計測可能にする。
【解決手段】計測対象のパイプの放射線透視像のうちのパイプを横断する方向の輝度プロファイルを取得し、この輝度プロファイルに基づいてパイプの外径点を推定する（ステップＳ１０〜Ｓ４０）。その後、推定された２つの外径点の内側の領域を設定して輝度プロファイルをセクター分割し、このセクター分割された輝度プロファイルに基づいてパイプの内径点を推定する（ステップＳ５２〜Ｓ６０）。特に、内径点推定時に、パイプの２つの外径点の内側の所定の領域に対応する輝度プロファイル（即ち、内径点の推定に関係しない情報が排除された輝度プロファイル）に基づいて内径点を検出するようにしたため、内径点推定を精度よく行うことができるようにしている。 （もっと読む）

【課題】モルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量を迅速、且つ精度よく予測できる方法を提供すること。
【解決手段】セメントクリンカーを含み、Ｋ_２Ｏ含有量が０．２０〜０．６０質量％であるセメントの粉末Ｘ線回折結果をプロファイルフィッティング法により解析して、セメントクリンカーに含まれるクリンカー鉱物の結晶情報を得る第一工程と、結晶情報を基に、セメントクリンカーを含むセメントから得られるモルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量を予測する第二工程と、を有するモルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量の予測方法。 （もっと読む）

【課題】多孔質体、特に固体高分子形燃料電池の触媒層またはガス拡散層の細孔を簡便かつ定量的に測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】多孔質試料の表面または断面の電子顕微鏡画像を取得する工程と、該電子顕微鏡画像の細孔領域と細孔以外の領域を分離する工程とを含む細孔測定方法において、前記電子顕微鏡画像から前記試料の形状または組成分布あるいは前記試料と電子顕微鏡の組み合わせに起因する輝度ムラを除去する工程を含む細孔測定方法とすることで、高精度に細孔を測定できる。 （もっと読む）

画像処理システム(100)におけるディテクタ配列装置(110)は、放射を検出し且つそれを示す信号を生成する放射検出ディテクタ(114、116)を含む。電流−周波数(I/F)変換器(202)はその信号をパルス列に変換し、そのパルス列は統合期間における信号の周波数を示す。回路(120)はパルス列に基づいて1次モーメント及び少なくとも1つの高次モーメントを生成する。
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検出器出力データ内の個々の信号を分離する方法および装置であって、方法は、検出器出力データをデジタル系列として取得するかまたは表現すること、データ内に存在する信号の信号形態を取得するかまたは確定すること、数学的変換に従って信号形態を変換することによって変換済み信号形態を形成すること、数学的変換に従ってデジタル系列を変換することによって、変換済み信号を含む変換済み系列を形成すること、少なくとも変換済み系列および変換済み信号形態の関数を評価し、それにより、関数出力を提供すること、関数出力のモデルに基づいて関数出力の少なくとも１つのパラメータを確定すること、および、関数出力の少なくとも１つの確定されたパラメータから信号のパラメータを確定することを含む、方法および装置。方法は、関数出力をモデル化することによってモデルを形成することを含んでもよい。
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【課題】
設計データを制約条件として用い単調なパターンでも精度の良い連結画像を生成することを目的とする。設計データと画像データとのマッチングで大まかに基準位置を求めて、設計データとのズレ量を検索範囲として、隣接画像間でのマッチングを行い高速で精度の良い連結画像を生成する。
【解決手段】
本発明の画像生成方法は、走査型電子顕微鏡を用いて電子デバイスパターンを検査する画像生成方法であって、電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データを入力して記憶した設計データファイルと、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データと、前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとを用いて前記複数枚の分割画像データを１枚の画像に連結する画像連結手段とで構成される。 （もっと読む）

【課題】固液界面の注目対象である特定元素(イオン)の構造もしくはその周辺の局所構造を容易に解析することができる評価方法と評価装置を提供する。
【解決手段】注目対象が含有される液体試料Sに対して、注目対象（Ｘ線の吸収原子）とは異なる材料からなる電極4を接触させる。この電極界面の液体試料SにＸ線エネルギーを変えながらＸ線を照射し、電極4近傍の注目対象にＸ線を吸収させて注目対象から電子を放出させ、その電子の放出に伴って電極4に生じる電気量を測定する。このＸ線エネルギーと電気量との関係から電極界面における注目対象またはその周囲の構造情報を解析する。 （もっと読む）

【課題】しきい値とベースラインとの関係による影響を受けることなく、対象物の境界面を常に正確に表すことのできる３次元画像化方法と、その方法を利用したＸ線断層雑像装置を提供する。
【解決手段】対象物Ｗのボリュームデータを構成するボクセルから、あらかじめ設定されているしきい値を用いて一定濃度の境界を表現するポリゴンデータを生成した後、その各ポリゴンの各頂点について、当該頂点を通り、かつ、その近傍の物体境界面の法線方向への軸に沿って、その軸の両側所定領域の濃度値を積算して得られるプロファイルを微分することによって得られるピーク値の座標を求め、その座標を当該頂点の座標として、各ポリゴンの各頂点座標を補正することで、しきい値に依存することなく正確に対象物の３次元画像を得る。 （もっと読む）

【課題】 面方位測定の大幅な時間短縮を実現し、サブグレイン構造やリネージ構造の試料に対し高速マップ測定が可能なＸ線結晶方位測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】 被測定結晶Ｓの測定面にＸ線を照射し、当該Ｘ線の照射により結晶の格子面に対応して得られる回折スポットをＸ線検出器３０で検出し、当該検出した回折スポットの中心位置を測定して結晶の格子面法線を算出するＸ線結晶方位測定装置及び方法において、当該被測定結晶の測定面の照射点からの回折スポットを、ＴＤＩ読み出しモードで動作するＣＣＤ（TDI-CCD）３４により構成した二次元検出器で検出する。 （もっと読む）

【課題】薄膜の結晶粒子の配列状態を簡便に得る方法とこれを用いた薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜面を測定して得たＸ線回折パターンＰａと、前記薄膜面に対して直角な薄膜断面を測定面として測定して得たＸ線回折パターンＰｂとを用い、薄膜を構成する結晶粒子の面方位に該当するピークの実測強度の総和をＩｐｓ１とし、所望面方位に該当するピークの実測強度の和をＩｐｏ１とし、無配向のＸ線回折パターンを用いて、薄膜を構成する結晶粒子の面方位に該当するピークの強度の総和をＩｐｓ２とし、無配向のＸ線回折パターンを用いて、前記所望方位に該当するピークの強度の和をＩｐｏ２とし、下記式に代入して配向度Ｋを求める。
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【課題】真空容器内の残留ガスの種類を、高価あるいは大型な装置を必要とせずに、簡易な手法で判別できる残留ガス判別方法を提供する。
【解決手段】真空容器１内に配置された陰極３の温度を複数種類の温度のそれぞに順次保持した状態で、陰極３から冷陰極電界放出方式により電子を放出させ、この時に陰極３から放出される電子の電流量である電子放出電流を少なくとも所定時間の期間分、逐次計測する。各種類の温度に対応して計測された所定時間の期間分の電子放出電流の値の時系列データから電子放出電流の値の度数分布を求め、前記複数種類の温度の値とその各種類の温度に対応して求められた電子放出電流の度数分布とに基づいて真空容器１内の残留ガスの種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】 配線不良を確実に検出することができる様にする。
【解決手段】 電子源から発生した電子ビーム１で配線パターン３が形成された試料４上を二次元走査し、この走査により試料４から得られる信号に基づく試料像を表示部７に表示させる様に成す。試料４上の配線パターンの任意の箇所に２本のプローブ２Ａ，２Ｂを接触させ、これらのプローブを介して得られる吸収電流を差動電流電圧変換器６に入力することにより、各吸収電流の差を電圧信号に変換し、この電圧信号に基づく吸収電流像を表示部７に表示させる様に成す。 （もっと読む）

【課題】固体酸化物燃料電池（ＳＯＦＣ）表面の分析用のシステム及び方法を提供する。
【解決手段】固体酸化物燃料電池（ＳＯＦＣ）表面分析システムは、セラミック表面を有するＳＯＦＣを分析試料として、セラミック表面に隣接し且つセラミック表面に関連するデータを収集するスキャナ、スキャナに対してＳＯＦＣを保持する構造体、セラミック表面のデータを収集し処理するデバイス、及び、デバイス上に常駐し且つセラミック表面のデータを分析し提示するプロセスから構成される。 （もっと読む）

【課題】画像データを用いた構造解析の解像度を向上させる。
【解決手段】測定画像のデータおよび所定の数の複数の参照画像のデータを取得し（Ｓ１０３）、複数の測定画像のそれぞれについて、参照画像に対する相対位置を移動させた測定画像の派生画像群のデータを作成し、生成した複数の派生画像群のそれぞれについて、派生画像群と前記参照画像との類似度を評価して、それぞれの派生画像群の中から、複数の参照画像のうちのいずれかとの類似度の高い複数の派生画像を抽出する（Ｓ１０５）。抽出された複数の派生画像を、派生画像の空間配置を考慮して複数のグループに分類し、共通のグループに分類された派生画像を平均化して、複数の平均化画像のデータを作成し（Ｓ１０７）、平均化画像のデータに基づいて、測定対象の構造を推定する（Ｓ１１５）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、異なる検出器からの映像信号の画像データを遅滞なく表示部に転送することのできるデータ処理装置を提供することことを目的としている。
【解決手段】複数チャネルの信号を検出する検出器１と、これら検出器１のそれぞれの出力を信号処理する信号処理部３と、これら信号処理部３の出力を受けて有効データのみを抽出する有効データ抽出部１０と、該有効データ抽出部１０の出力を受けて多重化する多重部１１と、該多重部１１の出力を受けてメモリへの書き込み制御を行なうメモリ制御部１６と、該メモリ制御部１６の出力を受けて検出データを記憶するメモリ４と、該メモリ４に記憶されている検出データを読み出して出力するデータ出力部５と、該データ出力部５の出力を受けて所定のデータ処理を行なう処理装置１７と、該処理装置１７の出力を受けて検出データを出力するモニタ８とから構成される。 （もっと読む）