【課題】結晶の外形に対して結晶軸がどのように取り付いているかを調べる全３軸の方位決定を高速で、かつ高精度に行うことのできるＸ線単結晶方位測定装置および測定方法を提供することにある。
【解決手段】特性Ｘ線による回折を利用する、ディフラクトメータ法を基本とし、Ｘ線検出器として、ＴＤＩ読み出しモードで動作するＣＣＤをベースにした２次元検出器を採用したことと、該２次元検出器により特定の（狙った）指数の反射を２点で捕らえることにより全３軸の方位決定を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】しきい値とベースラインとの関係による影響を受けることなく、対象物の境界面を常に正確に表すことのできる３次元画像化方法と、その方法を利用したＸ線断層雑像装置を提供する。
【解決手段】対象物Ｗのボリュームデータを構成するボクセルから、あらかじめ設定されているしきい値を用いて一定濃度の境界を表現するポリゴンデータを生成した後、その各ポリゴンの各頂点について、当該頂点を通り、かつ、その近傍の物体境界面の法線方向への軸に沿って、その軸の両側所定領域の濃度値を積算して得られるプロファイルを微分することによって得られるピーク値の座標を求め、その座標を当該頂点の座標として、各ポリゴンの各頂点座標を補正することで、しきい値に依存することなく正確に対象物の３次元画像を得る。 （もっと読む）

【課題】深さ方向元素濃度分析方法に関し、測定されたイオン注入元素の深さ方向プロファイルを減衰深さとスパッタ収率との関係を利用し、スパッタ収率の変化を分析しようとする。
【解決手段】二次イオン質量分析法で測定されたイオン注入元素の深さ方向プロファイルを分析する方法であって、イオン注入時に形成されたダメージの度合いにより変化するスパッタ収率の変化を減衰深さから求め、そのスパッタ収率の変化に依って測定プロファイルの深さ軸を補正する。 （もっと読む）

本発明は、Ｘ線光子１２、１４を計数する装置１０に関する。装置１０は、光子１２、１４を電荷パルスに変換するよう構成されるセンサ１６と、電荷パルス５１を電気パルス５３に変換するよう構成される処理要素１８と、電気パルス５３を第１の閾値ＴＨ１と比較し、第１の閾値ＴＨ１が越えられる場合イベント５５を出力するよう構成される第１の識別器２０とを有する。第１のゲート要素２４により計数が禁止されるまで、第１のカウンタ２２はこれらのイベント５５を計数する。上記第１の識別器２０が上記イベント５５を出力するとき、第１のゲート要素２４は起動される。測定により又は上記処理要素１８において光子１２、１４を処理するのにかかる時間に関する情報により、光子１２、１４の上記処理が完了したとわかるか又は完了しそうであるとき、このゲート要素は停止される。上記第１のカウンタ２２を起動及び停止することにより、パイルアップイベント、即ち、複数の電気パルス５３のパイルアップが、処理されることができる。本発明は、対応する撮像デバイス及び対応する方法にも関連する。
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【課題】画像データを用いた構造解析の解像度を向上させる。
【解決手段】測定画像のデータおよび所定の数の複数の参照画像のデータを取得し（Ｓ１０３）、複数の測定画像のそれぞれについて、参照画像に対する相対位置を移動させた測定画像の派生画像群のデータを作成し、生成した複数の派生画像群のそれぞれについて、派生画像群と前記参照画像との類似度を評価して、それぞれの派生画像群の中から、複数の参照画像のうちのいずれかとの類似度の高い複数の派生画像を抽出する（Ｓ１０５）。抽出された複数の派生画像を、派生画像の空間配置を考慮して複数のグループに分類し、共通のグループに分類された派生画像を平均化して、複数の平均化画像のデータを作成し（Ｓ１０７）、平均化画像のデータに基づいて、測定対象の構造を推定する（Ｓ１１５）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、異なる検出器からの映像信号の画像データを遅滞なく表示部に転送することのできるデータ処理装置を提供することことを目的としている。
【解決手段】複数チャネルの信号を検出する検出器１と、これら検出器１のそれぞれの出力を信号処理する信号処理部３と、これら信号処理部３の出力を受けて有効データのみを抽出する有効データ抽出部１０と、該有効データ抽出部１０の出力を受けて多重化する多重部１１と、該多重部１１の出力を受けてメモリへの書き込み制御を行なうメモリ制御部１６と、該メモリ制御部１６の出力を受けて検出データを記憶するメモリ４と、該メモリ４に記憶されている検出データを読み出して出力するデータ出力部５と、該データ出力部５の出力を受けて所定のデータ処理を行なう処理装置１７と、該処理装置１７の出力を受けて検出データを出力するモニタ８とから構成される。 （もっと読む）

【課題】 被検査物を移動させながら行う検査において、被検査物中の異物を正確に検出することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を照射するＸ線源１と、Ｘ線源１と対向配置され、Ｘ線を検出して検出信号を出力するＸ線検出器３と、Ｘ線源１とＸ線検出器３との間で、被検査物７を載置し移動させるための被検査物載置部５と、Ｘ線検出器３のキャリブレーションデータを作成して記憶させるキャリブレーションデータ作成部３１と、キャリブレーションデータに基づいて、被検査物７のＸ線透過像データを作成するＸ線透過像データ作成部３３とを備えるＸ線検査装置８０であって、キャリブレーションデータ作成部３１は、被検査物載置部５を所定の時間駆動しながら取得した複数の検出信号に基づいて、キャリブレーションデータを作成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 波長分散形Ｘ線分光器及びエネルギー分散形Ｘ線分光器を用いて試料分析を行うに際して、波長分散形Ｘ線分光器による試料分析を効率良く行うことのできる試料分析方法及び試料分析装置を提供する。
【解決手段】 試料７に電子線１２を照射し、電子１２線の照射により試料７から発生する特性Ｘ線１３をＷＤＳ８により分光して検出し、これによる特性Ｘ線ピークの検出位置における特性Ｘ線強度の測定を行うに際して、該特性Ｘ線ピークの検出位置での特性Ｘ線１３のバックグランド強度を、試料７上の対応する分析位置におけるＥＤＳ１１により測定された特性Ｘ線強度に基づく定量分析値によって算出された平均原子番号に基づいて求め、ＷＤＳ８により検出された特性Ｘ線ピークの検出位置でのピーク強度から該バックグランド強度を差し引いて正味の特性Ｘ線強度を求める。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状の検査対象について正確に欠陥検出を行うことができなかった。
【解決手段】放射線を検査対象に照射し、前記検査対象を透過した放射線の強度に対応した透過放射線画像を取得し、基準の検査対象を撮影したときの透過放射線の強度が所定の強度になるようにオフセットを与えるための補正画像データを取得し、前記補正画像データによって前記透過放射線画像を補正した結果に基づいて、前記検査対象に欠陥が含まれるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】面分析における定量分析の精度を向上させる方法を提供する。
【解決手段】試料表面上に点分析位置と点分析位置を含むように面分析領域を指定し、点分析位置に一次エネルギー線を照射して発生した二次エネルギー線に基づいて点分析におけるピーク強度とバックグランド強度を取得し、面分析領域内を一次エネルギーで走査して発生した二次エネルギー線に基づいて面分析におけるピーク強度とバックグランド強度を取得し、次に、点分析におけるピーク強度とバックグランド強度から原子濃度を求め、面分析におけるピーク強度とバックグランド強度の内で点分析位置に対応した位置に存在する元素に対応したピーク強度とバックグランド強度と、求めた原子濃度から元素に対応した相対感度係数値を求め、この相対感度係数と面分析におけるピーク強度とバックグランド強度とに基づいて面分析領域の定量計算を行う。 （もっと読む）

測定ウィンドウ全体にわたる変数の変化を推定する方法であって、測定ウィンドウの間に変数の複数のサンプルを採取するステップ、各サンプルと対応づけられる重みを定義するステップであって、該重みは測定ウィンドウ内でサンプルの位置の関数として変動する前記ステップ、変数の変化の推定値を形成するために、サンプルを、それらの重みを考慮して処理するステップを含む、前記方法。
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【課題】 一定周期で繰り返し配置される配線パターン上の特定の配線に電気的欠陥が周期的に発生しても、ボルテージコントラスト法のアレイ検査を用いて電気的欠陥を効率的に検出すること。
【解決手段】 半導体基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に配置された複数の配線とからなる配線不良検出用の試験構造体において、
前記絶縁膜上に一定方向に配置された複数の配線不良検知用配線からなる配線不良検知用配線群を、所定の方向に一定の周期で繰り返し配置してなると配線不良検知領域と、
前記配線不良検知用配線を延長して形成された検査用配線からなり、前記配線不良検知用配線群に含まれる前記配線不良検知用配線の本数の整数倍（０を除く）に一致しない数の前記検査用配線を含む対比区間を、所定の方向に一定の周期で繰り返し配置してなるアレイ検査領域とからなることを特徴とする配線不良検出用の試験構造体による。 （もっと読む）

【課題】メッキ中の鉛含有量を容易に検出することができる分析技術を提供する。
【解決手段】金属基材、該金属基材上にメッキされた第１の金属成分と５重量％以下の鉛を含有するメッキ層と有するメッキ標準物質を用いて蛍光Ｘ線分析を行い、検量線を作成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は検知器アレイを開示する。
【解決手段】本検知器アレイは、被検体の第１複数の部分を透過した第１放射線と第２放射線とを検出し、前記第１複数の部分に対する第１検知値と第２検知値とを取得するための第１リニアアレイ検知器と、前記第１リニアアレイ検知器と平行に設けられ、被検体の第２複数の部分を透過した第１放射線と第２放射線とを検出し、前記第２複数の部分に対する第３検知値と第４検知値とを取得するための第２リニアアレイ検知器とを含み、第２放射線と第１放射線は交互に輻射され、前記第１複数の部分と前記第２複数の部分は同じである。本検知器アレイにより、被検体に対する交互の二重エネルギーの放射線の走査検査効率と材料識別の正確率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】
Ｘ線ＣＴ装置の計測誤差を減少することにある。
【解決手段】
Ｘ線ＣＴ装置であって、該計測対象物の少なくとも二つの異なる高さに前記Ｘ線を透過させて任意の単一の前記断層像を得る手段を備える。又は、Ｘ線源から放出されるＸ線を計測対象物に透過させ断層像を得る手段と、該計測対象物の少なくとも二つの異なる高さに前記Ｘ線源を位置させ、前記Ｘ線を放出させて、任意の単一の前記断層像を得る手段とを備える。或いは、Ｘ線源から放出されるＸ線を計測対象物に透過させ断層像を得る手段と、該計測対象物の第一の高さ位置及び第二の高さ位置の断層像データに基づき、両者の高さの間の第三の高さ位置の断層像データを得る手段とを備える。
【効果】
Ｘ線ＣＴ装置及びＸ線ＣＴ装置による撮像方法で、計測対象物にとらわれずに、高さ方向の計測誤差を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】試料の種類及び濃度を検出しながら、外観では判断できない装置自体の性能上の
異常を、自動的かつ即座に検出することにより、より正確な試料の検査を行うことができ
る検査装置、該検査装置を用いた検査方法を提供する。
【解決手段】試料３を構成する第１の元素の種類及び濃度を検出するＸＲＦ装置１００に
おいて、試料３と、第１の元素とは異なる、種類及び濃度が既知な第２の元素から構成さ
れた基準部材４とに、１次Ｘ線２０を照射するＸ線管１と、１次Ｘ線２０の照射により、
試料３から発生する第１の元素特有の第１の２次Ｘ線２１を検出するとともに、基準部材
４から発生する第２の元素特有の第２の２次Ｘ線２２を検出する検出器５とを具備し、基
準部材４は、１次Ｘ線２０の光路上に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高分解能の電子顕微鏡の特徴であるノイズ成分を多く含む画像に対し、ノイズの低減と画像の輪郭の強調という、従来技術では相反する画像処理を同時に行うことのできる電子顕微鏡の画像処理システムを提供する。
【解決手段】 走査電子顕微鏡１０は、電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する。パーソナルコンピュータ２０は電子顕微鏡１０によって生成された顕微鏡画像を取得し、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す。パーソナルコンピュータ２０は、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す際に、あらかじめ取得された大照射電流量の電子顕微鏡画像と、最大エントロピー法を用いた画像との比較に対する評価結果に基づいて前記画像処理のためのフィルタリング条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】電子線式半導体ウエハ検査装置の検査条件を適正化する。
【解決手段】ウエハ上における非導通コンタクト孔２や突抜け欠陥位置と大きさ及び欠陥層の厚さが明確なサンプルを作成し、これを評価することによって、検査装置の検査条件を適正化する。 （もっと読む）

【課題】任意の電荷蓄積期間、温度条件でのＸ線撮影に対応し、またハードウェアのの構成の制限を受けることなく、Ｘ線センサの各画素ごとに最適な暗電流補正を行うことができるＸ線撮影装置を得る。
【解決手段】少なくともＸ線撮影を実施している時間を含む電荷蓄積期間にＸ線の照射量に応じた電荷を含む蓄積された電荷を出力する複数の第１の画素と、Ｘ線の照射量に影響を受けずに前記電荷蓄積期間に蓄積された電荷を出力する複数の第２の画素とを備えるＸ線センサと、あらかじめ複数の既知の電荷蓄積期間におけるＸ線照射されない状態での前記第１の画素からの出力を保持する第１記憶部と、あらかじめ複数の既知の電荷蓄積期間における前記第２の画素から出力を保持する第２記憶部と、前記Ｘ線センサからの電荷出力を元にＸ線画像データを形成する信号処理演算部とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】搬送方向において所定の隙間を空けて配置された搬送プレートを組み合わせて構成される搬送部を備えたＸ線検査装置において、面倒な作業やコストアップ等を伴うことなく、高精度なキャリブレーションを実施することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置では、搬送方向において所定の隙間Ｘを空けて複数枚配置された搬送プレート１２ａを回転させて商品Ｇの搬送を行いながら検査を行うX線検査装置において、Ｘ線ラインセンサ１４における各画素ごとのＸ線の検出感度を調整するキャリブレーションを行う際に、搬送プレート１２ａの１ピッチ以上に相当するライン数分の検出信号をＸ線ラインセンサ１４において取得し、ここで取得した検出信号に基づいて算出された補正係数を用いてＸ線ラインセンサ１４の検出感度を補正する。 （もっと読む）