【課題】ＡｒＦ露光用のフォトレジスト等、低Ｓ／Ｎの信号波形による寸法計測が必要な試料においても、精度の高い寸法計測を実現する電子線式寸法計測装置及びそれを用いた寸法計測方法を提供する。
【解決手段】電子線式寸法計測装置（測長ＳＥＭ装置）において、予め、寸法計測対象試料と同種のサンプル試料から得たサンプル信号波形（あるいは画像）の部分波形（あるいは部分画像）を登録しておき、寸法計測対象試料から得られた計測対象信号波形（あるいは画像）と前記サンプル登録波形の波形照合を行い、照合結果に基づき寸法計測対象パターンの寸法値を算出する。 （もっと読む）

装置が、X線のような電離放射線に感受性のある検出器（１００）によって生成される信号を受領する。微分器（２０４）は検出器信号の変化率を示す出力を生成する。弁別器（２０６）は微分器（２０４）出力の大きさを分類する。弁別器（２０６）の出力によってトリガーされる積分器（２０８）が検出された光子を示す出力を生成する。一つまたは複数の補正器（２４ａ、２４ｂ）がパルスの積み上げについて補正し、組み合わせ器（２５）が補正器（２４ａ、２４ｂ）の出力を使って、検出された光子の数およびエネルギー分布を示す出力信号を生成する。
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データ処理装置であって、可動データ収集装置上に配置され、該可動データ収集装置によって収集されたデータを含んでいる電磁放射を放出するよう適応された複数の放出器アンテナ（１４０）と、前記複数の放出器アンテナ（１４０）のそれぞれによって放出された電磁放射を受信するようそれぞれ適応された複数の受信器アンテナ（１５０）と、前記複数の受信器アンテナ（１５０）に結合され、前記複数の受信器アンテナ（１５０）によって受信された電磁放射から前記可動データ収集装置によって収集されたデータを抽出するよう適応されたデータ処理ユニット（１１８）とを有する、データ処理装置。
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【課題】
MEM構造解析により得られる電子密度を、たんぱく質に代表される高分子に適用して、その高分子の静電ポテンシャルの計算に応用する。
【解決手段】
実験的に得られるX線回折データにMEM構造解析を適用することで詳細な電子密度分布を求め，これをもとに観測されていないX線回折データを予測することで静電ポテンシャルを求める。 （もっと読む）

【課題】 石炭中の無機鉱物の化学形態を推定するために、ＮＭＲ法を利用して、高炉などの冶金炉やボイラーなどの燃焼炉で広く使用される石炭中の無機鉱物の化学形態を迅速かつ簡便に推定する方法を提供する。
【解決手段】 予め各銘柄を代表する複数種の石炭について、該石炭中に存在する各無機鉱物の化学形態を²⁷Ａｌ−ＮＭＲスペクトル測定法により特定するともに、該石炭中のＡｌ量およびＳｉ量を成分分析法により測定し、該石炭中のＡｌ量およびＳｉ量と無機鉱物の化学形態との関係を示す無機鉱物推定マップを作成した後、評価対象である石炭について、該石炭中のＡｌ量およびＳｉ量を成分分析法により測定し、該石炭中のＡｌ量およびＳｉ量から前記無機鉱物推定マップに基づいて、該石炭中に存在する無機鉱物の化学形態を推定することを特徴とする石炭中の無機鉱物の化学形態の推定方法。 （もっと読む）

【課題】気相分解−全反射蛍光Ｘ線法における分析精度、感度を高める。
【解決手段】複数の波長を用いた気相分解−全反射蛍光Ｘ線分析において、あらかじめ校正用試料の乾燥痕に対して求められた複数の内標準元素の定量値の相関関係である感度校正直線を利用することによって、被測定試料の乾燥痕中に添加される内部標準用元素を１種類とした場合においても、高い精度で被測定試料の乾燥痕中の元素の定量分析を可能とするものである。 （もっと読む）

【課題】後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ）パターンの磁場歪みを修正すること。
【解決手段】後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ）パターンの磁場歪みを修正する方法が提供される。最初に、ＥＢＳＤパターンが、電子顕微鏡内に配置された試料から生成される。顕微鏡内の磁場の所定の表現が用いられ、顕微鏡内の電子の軌道が異なった出現角度に対して計算される。次に、計算された軌道を用いて、顕微鏡の磁場が実質的に存在しない場合のＥＢＳＤパターンを表現する、修正されたＥＢＳＤパターンが、計算される。 （もっと読む）

【課題】 各種計測装置において検出された検出信号をA/D変換して得られるデジタル検出信号のノイズ成分を除去する。
【解決手段】 検出信号値の増減を検出し、検出信号値が予め設定された回数連続増加又は減少しているか否かに基づき、前後の検出信号値の差分値を予め設定された数で除した圧縮値を直前に出力された処理後出力値に加算するか、上記検出信号値をそのまま出力するかを判断して実行する構成とすることにより、ノイズ成分のみを低減することが可能となる。より処理精度を向上させるために、差分値と所定の閾値とを比較する構成とすることもできる。 （もっと読む）

【課題】 測定が困難なγ-Fe₂O₃を精度良く定量する鉄鉱石中のγ-Fe₂O₃量の測定方法を提供する。
【解決手段】 (1)鉄鉱石の示差走査熱量測定または示差熱分析により測定された温度-示差熱曲線における650〜750℃の温度範囲で観測された発熱ピークの面積を基に、鉄鉱石中のγ-Fe₂O₃量を求める、(2)先ず、鉄鉱石のX線回折分析により測定されたX線回折パターンにおける回折角29.8〜30.5゜または42.9〜43.7゜で観測される回折ピークの強度からFe₃O₄及びγ-Fe₂O₃の総量を求め、次に、JIS M8213に準じて測定された前記鉄鉱石中の酸可溶性鉄(II)からFe₃O₄量を求め、前記Fe₃O₄及びγ-Fe₂O₃の総量と前記Fe₃O₄量から鉄鉱石中のγ-Fe₂O₃量を求める、または、(3)鉄鉱石を大気中で400〜650℃の温度で加熱処理した後、該鉄鉱石のX線回折分析により測定されたX線回折パターンにおける回折角29.8〜30.5゜または42.9〜43.7゜で観測される回折ピークの強度からγ-Fe₂O₃の総量を求める。 （もっと読む）

【課題】 マッピング測定を行う全反射蛍光Ｘ線分析装置において、十分正確な測定強度の分布を短時間で求められるものを提供する。
【解決手段】 以下のように動作する制御手段２４Ａを備える。基準試料９について、測定点３２ごとに適切なステージ角度を補正ステージ角度φ_ｍとして記憶しておき、分析対象試料１については、各測定点３２で、その測定点３２に対応させて記憶した補正ステージ角度φ_ｍに調整し、その状態での基準Ｘ線５ａの強度を基準点３１での基準強度と比較して、補正ステージ角度φ_ｍに調整することが適切でないと判断される場合にのみ、改めて適切なステージ角度に調整して、蛍光Ｘ線５ｂの強度を測定し、測定強度の分布を求める。 （もっと読む）

【課題】 単結晶試料又は配向性が高い多結晶試料であっても、電子後方散乱回折像のコントラストを改善することができる方法を提供する。
【解決手段】 試料の観察領域以外の領域にイオンビームを照射して結晶性を劣化させた劣化領域を形成する（ステップＳ１２）。その後、劣化領域における電子後方散乱回折像を撮像する（ステップＳ１３）。さらに、試料の観察領域における電子後方散乱回折像を撮像する（ステップＳ１４）。最後に、各回折像の間で、同一画素毎に回折強度の差を算出することにより回折像のコントラストを改善する（ステップＳ１５）。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ簡易な構造であっても、複雑な形状等を有する測定試料の元素分布マップを精度良く作成することができるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 測定試料に電子線を照射して、当該測定試料から発生する特性Ｘ線の強度を測定するための検出手段を備えたＸ線分析装置であって、測定試料及び検出手段の相対位置を変更するための回転手段と、測定試料の特性Ｘ線の強度を複数位置で測定するための検出手段と、特性Ｘ線強度の加算値を求めるとともに、当該加算値に基づいて、測定試料の元素分布マップを作成する作成手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】試料の表面分析方法を提供する。
【解決手段】（イ）Ｎ個の相異なる元素を含む試料表面のＭ個の相異なるデータポイントを設定し、各データポイントでの元素成分比を測定するステップと、（ロ）測定された元素成分比からデータポイント間の濃度距離値を計算するステップと、（ハ）計算されたデータポイント間の濃度距離値を利用し、試片表面の相分布を決定するステップとを含む試料表面での構成元素の成分比を利用した相分布を決定する試料表面の分析方法である。 （もっと読む）

【課題】 画像の高品質化に寄与し得るコンピュータ断層撮影装置を提供する。
【解決手段】
平面状の間隙を有するファントム２６と、間隙が前記回転の軸に直交するように設置されたファントム２６に対し当該軸の方向に相対的な変位を与えて、ファントム２６の平面状間隙について得られる透過像が最も明瞭となるときの当該間隙の中心の線に対応するデータ行列における線の位置を求める交差線設定手段とを有する。 （もっと読む）

従来のＣＴ又はＸ線手法を利用して関心領域が特定される。次いで、複数のペンシルビーム２８を利用して関心領域がスキャンされ、複数の異なる散乱Ｘ線スペクトルが得られる。次いで、スペクトルが関心領域の特徴のみによるものであるかの如く、各スペクトルに対して幾何補正が適用される。前記ビームを利用して記録された種々のスペクトルは組み合わせられ関連付けられ、関心領域３２の特徴を決定し、一方でサンプル３０中の他の部分における特徴の影響を最小限にする。
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【課題】 Ｘ線画像における背景の部分を正確に特定して補正を行うことで高精度な異物検出を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１０では、制御コンピュータ２０が、Ｘ線ラインセンサ１４における検出結果に基づいてＸ線画像を形成し、このＸ線画像に基づいて異物混入の検査を行う装置において、全体のＸ線画像における各部の明るさを抽出して背景部分と思われる部分を特定する。制御コンピュータ２０は、背景部分として特定された部分と、Ｘ線ラインセンサ１４の１ライン分に相当するＸ線画像の部分の最大明るさとを比較して、その１ライン分に相当するＸ線画像の部分の補正の可否を決定する。 （もっと読む）

【課題】 試料の厚みに特定した所定の試料の補正を考慮した場合に、複雑な工程を不要としながらも精度の高い蛍光Ｘ線分析方法を可能とする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析方法による分析対象試料の形状を補正するための試料形状補正方法であって、試料の蛍光Ｘ線スペクトルにおけるピークの出ない高エネルギー領域ＡＲ−Ｈのバックグラウンド強度ＢＧ１、ＢＧ２に基づいて試料の厚みを補正する。 （もっと読む）

【課題】 計測時間中に発生する超伝導X線分析装置の動作点の変動に起因するエネルギースペクトルの半値幅の増大を抑え、高いエネルギー分解能を有する超伝導Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 波高分析装置から出力されるエネルギースペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存する記憶装置と、エネルギースペクトルの各ピーク位置をシフト補正して加算するシフト補正加算処理装置を設けることとした （もっと読む）

小型化された手荷物検査用ＣＴスキャナであって、広角のＸ線源および当該Ｘ線源から異なる距離にある複数組の検出器を有している。各組の検出器は、すべての検出器について一定のピッチおよび線束レベルが保たれるような寸法および配置とされている。ＣＴスキャナからのデータを処理するために、従来からの再現方法を使用することができる。このスキャナを、スキャナのネットワークとしてチェックイン・デスクに組み込んでもよい。
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本発明は、広範囲にわたる高エネルギーＸ線を利用してＸ線透過像を測定する装置の空間分解能を測定するために用いる素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能の評価方法を提供する。本発明は、Ｘ線透過像を測定する装置の空間分解能を評価する素子であって、角柱状基材上または細線状基材上にＸ線遮断層とＸ線透過層とを交互に積層した多層膜を有し、且つＸ線遮断層の吸光係数が、使用するＸ線の波長において、Ｘ線透過層の吸光係数の３倍以上である素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能評価方法に関する。
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