【課題】面方位測定とノッチ方位測定の両方を１つの測定で同時に行うことができるようにする。
【解決手段】Ｘ線源Ｆからの連続Ｘ線を平行化して単結晶試料位置へ導くコリメータ３３と、試料の格子面（００１）に対応したラウエ像を検出できる第１位置に配置された第１の２次元検出器３１と、試料の格子面（ｈｈｌ）に対応したラウエ像を検出できる第２の位置に配置された第２の２次元検出器３２と、第１の２次元検出器３１の出力に基づいて格子面（００１）の法線ベクトルＶ_００１を演算し、第２の２次元検出器３２の出力に基づいて格子面（ｈｈｌ）の法線ベクトルＶ_ｈｈｌを演算し、ベクトルＶ_００１とベクトルＶ_ｈｈｌとに基づいて方位マークの方向を演算する演算装置とを有するＸ線結晶方位測定装置である。２つの格子面（００１）及び（ｈｈｌ）は方位マークを付けようとしている結晶方位を晶帯軸とするときにその晶帯軸に属する格子面である。 （もっと読む）