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Fターム[2G001GA12]の内容

Fターム[2G001GA12]に分類される特許

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【課題】装置構成が複雑化することなく、確実かつ自動的に動作モードを動作確認モードに切替えることができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】搬送部2に設けられ、搬送される被検査物Wの通過を検知する搬入センサ50(第1搬入センサ51、第2搬入センサ52)と、搬入センサ50により通過が検知される検知タイミングに基づいて、被検査物Wを検査する通常検査モードから検査部3の動作確認を行う動作確認モードに動作モードを切替える制御部8と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】欠陥周辺に圧痕マーキングを行う際、試料の膜種によらず、一定の条件で行うと、周囲が割れてマーキングや欠陥が見にくくなったり、マーキングが小さすぎて見にくくなるという問題があった。また、パターン付きウェーハではマーキングに適さない方の膜上にマーキングしてしまうという問題があった。
【解決手段】マーキング予定位置を元素分析し、その結果に基づいて、圧子の荷重、下降速度、深さ等の圧痕マーキングの条件を変えることにより、膜種に適したマーキングを行う。また、登録された膜種と断定できない場合、手動設定に切り替えることにより、間違えた条件でマーキングすることを防ぐ。マーキングに適さない材質の場合、マーキングを施さないようにすることもできる。 (もっと読む)


【課題】走査型電子顕微鏡等を用いて化粧料の断面を観察する化粧料の断面観察方法に関し、所望する位置での断面観察を可能とした化粧料の断面観察方法を提供する。
【解決手段】サンプルホルダに化粧料を配設して試料を作成する試料作成工程S1と、この試料を凍結させる凍結工程S2と、凍結された試料を集束イオンビームにより加工し試料に切断面を形成する切断工程S3と、走査型電子顕微鏡を用いて切断面の切断面画像を生成する切断面画像処理工程S4とを有する。また凍結工程S2において凍結された試料を凍結環境を保ったままシールド処理し、凍結環境を保ったまま切断工程S3及び切断面画像処理工程S4を実施する。この際、支持台として、人工皮膚、樹脂テープ、又は皮膚のいずれかを用い、かつ、シールド処理では真空状態又は不活性ガスを充填したシールド部材に凍結された試料を配設する。 (もっと読む)


【課題】TFTアレイ検査装置において、基板内で絶縁破壊(ESD)を生じさせることなく、基板に帯電した電荷を放電する。
【解決手段】プローバーを基板に配置し、プローバーを介して検査信号を基板に供給し、基板上に形成されたTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置において、TFTアレイ検査時にプローバーを基板に配置した際に、基板をプローバーを介して接地された高抵抗の放電用抵抗に接続することによって、基板に帯電する電荷をプローバーおよび放電用抵抗を介して放電させる。基板に帯電する電荷を、基板からプローバーを介して放電用抵抗に導くことによって、TFTアレイ検査装置内において格別な機構を設けることなく基板に帯電する電荷を放電することができる。 (もっと読む)


【課題】エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物の大きさと形状を略一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】X線管31を、搬送面に平行な平面上において搬送部2の搬送方向上流側または搬送方向下流側に位置調整可能に支持する支持機構100と、第1のX線画像データおよび第2のX線画像データから被検査物Wの搬送方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形をそれぞれ取得し、第1の波形形状と第2の波形形状の差異に基づいて、X線管31の調整方向を判定する調整判定部81と、調整判定部81により判別された調整方向を表示する表示器5と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】X線管31を、X線ラインセンサ51に対する相対位置を調整可能に支持する第1支持機構100と、第1および第2のX線画像データから被検査物Wの検出幅方向の濃淡変化を示す第1および第2の波形をそれぞれ取得し、第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度(角度θ1)が第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度(角度θ2)より小さい場合に、X線管31の調整方向が、搬送面と平行な平面上であって被検査物Wの搬送方向と直交する方向(Y軸)において、第1の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別する調整判定部81と、調整判定部81により判定された調整方向を表示する表示器5と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】X線等の電磁波や電子線、中性子線等の粒子線を利用し、試料の断層像を撮影するComputerized Tomography Method(CT法)において、密度等のスカラー場ではなく、磁気等のベクトル場の断層像を得る。
【解決手段】試料または入射エネルギー線をφ回転させて測定した強度Iφ(xr)のxr−φ分布から、2Iφ(x)・cos(φ)及び2Iφ(x)・sin(φ)を用いてサイノグラムを再構成し、ベクトル場の成分分離を行い、再構成することでベクトルの断層像を得る。 (もっと読む)


【課題】簡単な手段によって被検出物内への異物の混入の有無の判断を容易にするX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】X線異物検出装置は、異物Yが混入したおそれのある被検出物にX線を照射するX線照射部1と、前記被検出物を透過したX線を受けて発光する発光部3と、前記発光した光を受光する受光部4とを備えるX線異物検出装置であって、前記受光部3が受光した光から、被検出物の白黒画像を生成し、前記白黒画像中の一定の濃度値の範囲に対して、その濃度値に応じた色彩を付したカラー画像を生成する画像生成部9を有する。 (もっと読む)


【課題】電子ビーム又はイオンビーム撮像機器による極端紫外線リソグラフィ(EUVL)マスク検査の技術を提供する。
【解決手段】結合モジュールは、開口を定める上側部分と、マスク接触要素と、チャック接触要素と、マスク接触要素と上側部分の間に接続された中間要素とを含むことができる。開口の形状及びサイズは、極端紫外線(EUVL)マスクのパターン転写区域の形状及びサイズに対応することができる。結合モジュールは、マスク接触要素がEUVLマスクの上側部分に接触した状態でチャック接触要素がEUVLマスクを支持するチャックに接触するような形状及びサイズとすることができる。結合モジュールは、EUVLマスクがチャック上に位置決めされた時にEUVLマスクの上側部分とチャックの間に少なくとも1つの導電経路を更に提供することができる。 (もっと読む)


【課題】大規模な機構部を用いることなく負荷が掛かったタイヤを検査するタイヤ検査装置を提供する。
【解決手段】ホイール3に装着保持され内部の空気が加圧されたタイヤ2に対し、接地面に加圧板4cを押し付けて負荷を掛ける負荷機構4bと、負荷を掛けられたタイヤ2を撮影して複数の互いに平行な断面像7(7a,7b,7c)を撮影するCT部5と、複数の互いに平行な断面像7から断面変換してホイール3の回転軸HAを通る複数の互いに傾斜した断面像を作る画像処理部6を有することを特徴とするタイヤ検査装置。 (もっと読む)


【課題】適量の物品と粉粒物が充填された製品か否かの判定が行えるX線検査装置を提供する。
【解決手段】X線照射器21は、物品および粉粒物を含む被検査物にX線を照射する。X線ラインセンサ22は、被検査物を透過したX線を検出する。画像生成部82aは、X線ラインセンサ22によって検出された透過X線の透過量に応じてX線画像を生成する。暗部特定部82bは、第1の閾値に基づいてX線画像のうち所定の濃淡値を有する暗部を特定する。第1判定部82cは、X線画像に含まれる暗部の総面積と第2の閾値に基づいて、正量品を判定する。 (もっと読む)


【課題】貨物の移動方向に対して直交する平面内にX線が透過し難いものが複数重なった状態であっても、個々の被検体の形状による識別が可能である貨物多視角検査装置と方法を提供する。
【解決手段】被検体を収容した貨物1の移動方向9に対し交差し、かつ互いに交差する複数の平面A,B,C内において、貨物に対してX線21(線状X線22)を照射する1又は複数のX線発生装置12と、各平面内において、貨物を透過した透過X線23(線状透過X線24)の強度をそれぞれ検出する複数のX線検出器15と、検出した透過X線の強度から、貨物の各平面に直交する複数の透過X線画像25を作成する画像処理装置16と、複数の透過X線画像25を表示する画像表示装置18とを備える。 (もっと読む)


【課題】液体の蒸発に無関係な微量液滴の体積の測定を、精度良くかつ正確に実現する。
【解決手段】基板上に複数の空間を形成し、空間の一部に標識物質を含む測定用液体を分注するとともに、他の一部の空間に標識物質のみの液体を入れ、分注した測定用液体中の標識物質の物性を検出するとともに、標識物質のみの液体の物性を検出し、両検出値により分注後の測定用液体の体積を測定する。前記空間は前記基板とは別体に形成した隔壁の上下に貫通する複数の通孔とし、開口上下端の周囲に形成した溝にはOリングを設ける。また、前記空間の一部を液体を入れない空間とし、前記標識物質の液体の物性検出時の参照用空間として用いる。また、隔壁の空間を密封する蓋を備え、標識物質のみを入れる空間には標識物質を全て充填して蓋により密封して光路長を規定しても良い。 (もっと読む)


【課題】金属を含む被測定物のX線CT再構成画像では、X線吸係数の不連続的変化及びビームハードニング現象に起因するアーチファクトと呼ばれる虚像が出現し画像の評価活用を困難にしている。高価なX線検出装置を必要とせずに、一度のX線の照射で必要な投影データを得ることができ、複雑で困難な処理を伴わずに、アーチファクトを低減させることが可能なX線CT画像再構成方法を提供することにある。
【解決手段】CT装置の有するX線検出器からの検出値データ又はその投影データを欠落データ補間処理することにより、金属部分のみを除去した投影データと金属部分のみに対応した投影データを取得し、金属部分のみに対応した投影データについてはさらにX線吸収係数を一定かつ縮小したものに変換し、両者の投影データを逆投影及び合成することによりアーチファクトを低減した再構成画像を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】X線を放出する曝射タイミングと撮影したデータを読み出す読み出しタイミングとを厳密に管理する必要があるX線透視システムでは、曝射ユニットとセンサユニットを物理的に分離して、ワイヤレスでタイミング管理する装置を提供する。
【解決手段】無線通信手段のビーコン信号を撮影フレームレートに関連づけた周期で発生すると共に、同ビーコン信号からのオフセット時間を設定可能なカウンタタイマを設け、そのカウンタタイマへの設定値によって、曝射や読み出しなどの各種トリガ信号を生成する。両ユニット間の同期は、フレーム周期ごとに発生するビーコン信号によって担保される。 (もっと読む)


【課題】
虚報を多発させることなく、システマティック欠陥を検出する半導体パターン検査装置を提供する。
【解決手段】
検査対象パターンを撮像して得た画像から抽出した特徴量と設計データから生成した設計データ画像から抽出した検査対象パターンを撮像して得た画像に対応する箇所の特徴量と検査対象パターンを撮像して得た画像と設計データ画像とを用いて作成した教示データの情報を用いて虚報と欠陥とを識別するための識別境界を算出し、検査対象パターンの検査領域を撮像して得た画像から検査対象パターンの検査領域の画像特徴量を算出し、検査対象パターンの検査領域に対応する設計データから設計データ画像を作成してこの作成した設計データ画像の特徴量を算出し、算出した検査対象パターンの検査領域の画像特徴量と設計データ画像の特徴量と識別境界とに基づいて検査対象パターンの検査領域内の欠陥を検出するようにした。 (もっと読む)


【課題】樹脂片における、臭素の含有有無の評価をより容易に行なえる選別装置および製造方法を提供する。
【解決手段】当該選別装置は、加速電圧が40kV以上60kV以下の電子ビームにより連続X線6を照射するX線源1と、厚みが50nm以上100nm以下であるモリブデンで形成されたフィルター14と、フィルター14および樹脂片2を透過したX線を検出するX線検出器と、X線検出器の検出データに基づいて樹脂片2を選別する制御部とを備える。制御部は、フィルター14を透過したX線について、臭素を含まない、樹脂片2と同一の樹脂にて形成された試験片にX線を照射したときのX線の透過強度のデータがあらかじめ記憶される記憶部と、フィルター14および樹脂片2を透過したX線の透過強度を上記データと比較することにより、樹脂片2を選別する演算部とを含む。 (もっと読む)


【課題】任意の撮影条件を容易に設定変更し、各々の撮影条件での補正用のパラメータをそれぞれ算出することができる放射線撮影装置および断層画像補正方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ステージ2に校正用ファントムPhを埋め込むことで、当該校正用ファントムPhを搭載可能にステージ2を構成する。撮影条件を変更したとしても、放射線撮影時に対象物および校正用ファントムPhを同時にステージ2に載置することができる。したがって、撮影条件を変更する毎に校正用ファントムPhを設置し直すという従来のような煩わしさを解消することができ、任意の撮影条件を容易に設定変更し、各々の撮影条件での補正用のパラメータをそれぞれ算出することができる。 (もっと読む)


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