Fターム[2G001HA03]の内容
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Fターム[2G001HA03]に分類される特許
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Sn系めっき材及びその製造方法
【課題】低接触抵抗、高はんだ濡れ性及び低挿入力を有するSn系めっき材を提供する。
【解決手段】Sn系めっき材10は、金属基材11、金属基材11上に形成された下地めっき12、下地めっき12上に形成されたAgを含むSn系めっき13を備える。Sn系めっき材10は、XPS(X線光電子分光装置)でDepth分析を行ったとき、Snの原子濃度(at%)の最高値を示す位置(DSn)及びAgの原子濃度(at%)の最高値を示す位置(DAg)がSn系めっき13表面からDSn、DAgの順で存在し、Sn系めっき13に含まれるAgが1〜200μg/cm2であり、Sn系めっき13に含まれるSnが2〜220μg/cm2である。
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セキュリティ媒体の真贋判定方法、およびセキュリティ媒体の製造方法
【課題】真贋判定を短時間で容易に可能な真贋判定方法、及び偽造が困難なセキュリティ媒体を製造することができるセキュリティ媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】第1のサンプル及び第2のサンプルに含有される元素のピーク強度を蛍光X線分析装置を用いてそれぞれ測定し、測定されたピーク強度と該ピーク強度に対応する元素の含有量とから検量線を作成する工程と、真贋判定に供するセキュリティ媒体のピーク強度を測定して、該ピークを有する波長を検出することにより該真贋判定に供するセキュリティ媒体に含有された元素の種別を識別するとともに、測定されたピーク強度と前記検量線とから該識別された元素の含有量を算出し、これを真であるセキュリティ媒体と比較することで真贋判定を行う工程とを備える。
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Fe基材料表面のFe化合物の定量方法
【課題】Fe化合物が形成されたFe基材料において、Fe化合物中の元素比率が不明な場合でも非破壊で材料上のFe化合物を確実に定量する。
【解決手段】Fe基材料1のMn及びFe元素の蛍光X線強度を測定する第1ステップと、Fe化合物2が表面に形成されたFe基材料1のMn及びFe元素の蛍光X線強度を測定する第2ステップと、第1ステップで測定したMn元素の蛍光X線強度と第2ステップで測定したMn元素の蛍光X線強度からFe化合物2によるMn元素の減衰比を算出する第3ステップと、前記第3ステップで算出されたMn元素の減衰比からFe化合物2によるFe元素の減衰比を算出する第4ステップと、前記第4ステップで算出されたFe元素の減衰比から前記Fe化合物2から放出されたFe元素の蛍光X線強度を求める第5ステップと、前記第5ステップで求められたFe元素の蛍光X線強度から前記Fe化合物を定量する第6ステップを有する。
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X線分析用表示処理装置
【課題】従来の三元散布図では表現できなかった3元素の強度の絶対値情報を併せて表示することにより、相解析の効率化や精度向上を図る。
【解決手段】
3元素の強度を強度和で規格化した相対値を表す軸(A軸、B軸、C軸)を正三角形の三辺に割り当て、その三角形が載る平面に直交する方向に3元素の強度の和を表す軸(D軸)を追加した、三角柱状の3次元空間を、マッピング分析において1箇所の微小領域で得られたデータ点をプロットする空間として設定する。そして、この3次元的なグラフを平面化して表示部の画面上に描画する。3次元的なグラフを見る方向を任意に変化可能とすることにより、従来の三元散布図上でのデータ点の位置も把握可能であるとともに、三元素の強度の絶対値も容易に知ることができる。
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エネルギー分散型X線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置
【課題】本発明はエネルギー分散型X線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置に関し、スペクトル同士の相関関係を求める必要がなく、高速に処理が可能なエネルギー分散型X線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料に荷電粒子ビームを照射して試料から発生したX線を所定の区画毎に検出し、検出されたX線から、横軸にエネルギー、縦軸に発生したX線の数を表わすX線スペクトルを求めるスペクトル取得手段と、該スペクトル取得手段から得られたスペクトルを横軸をM分割、縦軸をN分割して、横軸のM分割区域毎に縦軸の数値を求め、求めた数値列を各区画毎に得る数値列算出手段と、同じ数値列の区画をまとめて、同一の数値列により同一の組成と判定された区画を同じ色で着色する着色手段と、各組成と判定された個別の分布を合成して分布図を得る分布図取得手段とにより構成される。
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EPMAにおける元素定性分析スペクトルの表示方法及びX線マイクロアナライザ
【課題】本発明はX線マイクロアナライザに関し、スペクトル同士の比較が容易に行なえるX線マイクロアナライザを提供することを目的としている。
【解決手段】細かく絞った電子線を試料19に照射し、該試料19から放射される特性X線を分光結晶9に入射し、その分光された特性X線を検出器11で検出し、試料中に含まれる元素を横軸波長と縦軸X線強度のスペクトルとして定性又は定量するX線マイクロアナライザにおいて、電子線の照射電流と特性X線の計数時間とスペクトルを表示するスケールを予め条件として決めておく設定手段29と、前記照射電流と計数時間が変化した場合には、前記予め決めてある条件に正規化して表示するようにした演算表示手段29と、を具備して構成される。
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X線分析の測定条件設定方法及びX線分析装置
【課題】データ処理アプリケーション等の他のアプリケーションを用いることなく分析条件を決定すること。
【解決手段】分析対象元素が指定される分析対象元素指定手段18と、分析対象元素が指定されることにより、予めデータベース16に記憶されている当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置を検索する検索手段15と、スペクトル収集が指示されると、前記検索された当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置情報に基づいて実際の試料を用いた時の所定の波長範囲のスペクトルを測定してディスプレイに表示する表示手段15と、表示されたスペクトル上でピーク位置とバックグラウンド測定位置を指定して、指定されたピーク位置とバックグラウンド測定位置におけるX線強度を測定するための、ピーク位置とバックグラウンド測定位置を設定するピーク位置とバックグラウンド測定位置設定手段15と、を有して構成される。
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相乗的エネルギー分散および波長分散型X線分光
X線分光器は解析中の試料からエネルギー分散スペクトルを収集し、試料中に存在し得る候補元素のリストを生成する。その後、波長分散スペクトル収集手段は、候補元素のいくつかまたはすべてのエネルギー/波長においてX線強度測定値を取得するように調整され、これによりこれらの候補元素が試料中に実際に存在するかどうかを検証する。さらに、候補元素から選択された1つ(好ましくは、試料中にその存在が検証されたもの、または試料中に存在する可能性が高いもの)のエネルギー/波長に波長分散スペクトル収集手段を調節し、次に、波長分散スペクトル収集手段が選択された候補元素の最大強度測定値を戻すまで波長分散スペクトル収集手段と試料との位置合わせを変更することにより、波長分散スペクトル収集手段と試料との位置合わせを最適化することができる。次に、他の候補元素の強度測定値はこの最適化された位置合わせにおいて収集される。
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蛍光X線分析装置及びそれを用いた半導体装置の評価システム
【課題】基板中および基板上に存在する、基板とは元素組成が異なる領域の評価を、非破壊、高精度、短時間で行うことにより、半導体製造ラインの高性能化を計る。
【解決手段】評価対象試料(基板等)4上に、例えばMoターゲットのX線源1からモノクロメータ2を介してX線3が低い角度で照射される。照射領域は、符号3aで示される領域である。さらに、この装置には、基板4の中心から延びる基板面の法線を回転軸とする面内回転機構(θz)と、y軸に関して入射X線の入射角度(α1)を変更することができる傾斜角度変更機構と、基板面における測定位置を変更できる移動機構とを有している。特に重要なことは、基板4のうちのある面積だけにX線を照射することができ、この領域3aを変更することができるように構成されている点である。評価は、試料から放出された蛍光X線の強度を測定することにより行われる。
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蛍光X線分析装置および蛍光X線分析方法
【課題】 ウェーハ表面のうち、特にウェーハの表面外周付近においても、高感度な測定を行うことができる蛍光X線分析装置および蛍光X線分析方法を提供する。
【解決手段】 蛍光X線分析装置1は、被測定物であるウェーハ6にX線ビームをほぼ水平方向から照射するX線ビーム照射手段2と、照射によって発生した蛍光X線を検出する検出手段3と、検出結果を処理する信号処理部(不図示)と、ウェーハ6を保持して位置決めする位置決め手段4とを含む。位置決め手段4は、被測定物であるウェーハ6が載置され、検出手段3による検出領域8が、ウェーハ6の外周面にX線ビーム7を入射させて散乱光が発生する散乱光発生領域10を避ける位置に、ウェーハ6を移動させて位置決めする。
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微量金属の分析方法
【課題】複数の金属酸化物からなる不均一なマトリックスに対して微量の対象金属が担持されてなる対象試料中の、対象金属の濃度分布をEPMAによって精度高く検出する。
【解決手段】マトリックス中の金属の組成割合とバックグラウンド強度との関係式を予め求めておき、測定点のマトリックス組成を関係式に代入して演算されたバックグラウンドを対象金属の特定X線強度から減算する。
測定点毎にバックグラウンドが演算できるので、測定精度が格段に向上する。
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微量元素測定方法、微量元素測定装置及び毛髪試料作成治具
【課題】多数の試料の微量元素測定を可能にし、かつ時間短縮して精度よく測定できるようにしたPIXEによる微量元素測定方法及び微量元素測定装置を提供するものである。
【解決手段】ヘリウムガスが導入された気密容器32内に、被測定試料と標準試料を含む複数の試料を2次元に配列した試料群33を2次元面内で可動可能に配置し、試料を順次測定位置に移動させて荷電粒子照射部39から同一条件の荷電粒子34を照射し、試料から放射される特性X線を検出器35により検知し、標準試料の元素濃度と比較して被測定試料に含まれる微量元素の濃度を測定する。
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X線管及びX線分析装置
【課題】 X線管及びX線分析装置において、さらなる小型化及び軽量化を図ることができると共に、より効率的に蛍光X線等を検出して感度を高めること。
【解決手段】 内部が真空状態とされX線が透過可能なX線透過膜で形成された窓部1を有した真空筐体2と、真空筐体2内に設置され電子線eを出射する電子線源3と、電子線eが照射されて一次X線X1を発生すると共に該一次X線X1を窓部1を介して外部の試料Sに出射可能に真空筐体2内に設置されたターゲットTと、試料Sから放出されて窓部1から入射する蛍光X線及び散乱X線X2を検出可能に真空筐体2内に配置され該蛍光X線及び散乱X線X2のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出素子4とを備えている。
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別個の入射エネルギ・スペクトルによる検出
【課題】エネルギ識別型診断イメージング・システムでのフォトン計数の制限の影響の低減を促進する。
【解決手段】高周波電磁エネルギ源(14)は、撮像対象(22)に向けて1又は複数の高周波電磁エネルギ・ビーム(16)を放出する。検出アセンブリ(18)は、同じ投影経路にあり複数の別個の入射エネルギ・スペクトルに対応する複数の投影データを測定する。検出アセンブリ(18)は、1又は複数の高周波電磁エネルギ源(14)によって放出される高周波電磁エネルギを受光する1若しくは複数のエネルギ識別型(ED)検出器(302)及び/又は1若しくは複数のエネルギ積算型(EI)検出器(304)を含んでいる。データ取得システム(DAS)(32)は、1若しくは複数のED検出器(302)及び/又は1若しくは複数のEI検出器(304)に接続されて動作する。コンピュータ(36)は、DAS(32)に接続されて動作する。
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分析走査電子顕微鏡
【課題】 走査電子顕微鏡本体側と外部分析装置側に同等の回路を備えることなく、簡単な構成により、試料の特定領域の元素分析や元素マッピングを正しい分析位置(電子ビーム一致)で正確に行うことができる分析機能を有した分析走査電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 図8は電子ビームが試料の分析位置に移動中の非直線応答期間には走査ウェイト信号に基づき電子ビームの試料への照射を停止する際の各信号波形を示している。(j)は走査ウェイト信号を示している。この図8から明らかなように、電子ビームが移動する際に生じる非直線応答の時間を適切に設定することで、電子ビームの正しい位置における分析データを得ることができる。
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