【課題】透過電子顕微鏡像の観察時に試料が受ける磁場の影響を低減することができる透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡１００は、電子線源２と、照射レンズ４と、対物レンズ６と、第２対物レンズ８と、制限視野絞り１６と、投影レンズ１０と、検出器１２と、少なくとも照射レンズ４、第２対物レンズ８、および投影レンズ１０を制御する制御部と、を含み、第１面１７は、第２対物レンズ８と投影レンズ１０との間に位置し、制御部２２は、試料Ｓに電子線Ｌが照射されるように照射レンズ４を制御し、試料Ｓの回折パターンが第１面１７に結像されるように第２対物レンズ８を制御し、第２対物レンズ８で結像された試料Ｓの透過電子顕微鏡像が第２面（受光部１３）に結像されるように投影レンズ１０を制御する第１処理を行う。 （もっと読む）

【課題】処理時間の短縮を図りつつ、断層画像又は立体画像における虚像の発生を防止することができるＣＴ装置を提供する。
【解決手段】被検体１に対し放射線源２及び検出器３を相対的に回転させて複数回走査する回転機構４と、検出器３からの出力信号を処理して複数の透過画像を生成する信号処理回路５と、走査位置が同じで走査回数が異なる透過画像の重ね合せ処理を行い、重ね合せ処理後の透過画像に基づいて被検体１の断層画像又は立体画像を再構成する制御装置６とを備える。制御装置６は、各走査回数の透過画像データの画素値総和量を演算し、この画素値総和量が予め設定された基準範囲内にあるかどうかを判断することにより、各走査回数の透過画像データが正常であるかどうかを判定し、正常と判定された透過画像データに対し重ね合せ処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ゴム材料中の充填剤の分散状態を、鮮明に観察しうる観察方法を提供する。
【解決手段】充填剤を含有するゴム材料の観察方法であって、走査型透過電子顕微鏡を用いてゴム材料の電子線透過画像を取得する撮像工程と、この撮像工程で得られた画像又はこの画像を加工した二次情報を観察する観察工程とを有し、前記撮像工程は、前記走査型透過電子顕微鏡の焦点を前記ゴム材料の厚さの中央領域に合わせることを特徴とするゴム材料の観察方法である。 （もっと読む）

【課題】モアレのビジビリティ低下を抑制することができ、高画質な位相像や微分位相像を取得することが可能となるトモシンセシス撮像装置及びトモシンセシス画像の撮像方法を提供する。
【解決手段】被検査物内部の奥行き情報を取得するトモシンセシス撮像装置であって、
遮蔽格子は、透過部と遮蔽部とが周期的に配列され、これらの周期が互いに異なる周期を有する、少なくとも２つの部分遮蔽格子の積層によって構成され、
２つの部分遮蔽格子を周期の方向に移動させ、積層による部分遮蔽格子間の各遮蔽部の重なり状態を制御する制御手段を備え、
電磁波源の回転による電磁波源の入射方向に応じて、制御手段により各遮蔽部の重なり状態を制御し、
電磁波源から出射され遮蔽格子の透過部を透過する電磁波が、各遮蔽部による遮蔽を抑制する。 （もっと読む）

【課題】透過Ｘ線装置で検出した異物の位置の元素分析を蛍光Ｘ線で正確かつ迅速に行えるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】第１のＸ線源１２と、第１のＸ線源から試料１００を透過した透過Ｘ線１２ｘを検出する透過Ｘ線検出器１４とを有する透過Ｘ線検査部１０と、第２のＸ線源２２と、第２のＸ線源からのＸ線を試料に照射したときに該試料から放出されるＸ線２２ｙを検出する蛍光Ｘ線検出器２４とを有する蛍光Ｘ線検査部２０と、試料を保持する試料ステージ５０と、試料ステージを、第１のＸ線源の照射位置と第２のＸ線源の照射位置との間で相対的に移動させる移動機構３０と、透過Ｘ線検出器にて試料中に検出された異物１０１の位置を演算する異物位置演算手段６０と、異物位置演算手段によって演算された異物の位置が第２のＸ線源の光軸２２ｃに一致するように移動機構を制御する移動機構制御手段６１と、を備えたＸ線分析装置１である。 （もっと読む）

【課題】不均一放射照度環境下において検出器ゲイン特性をステッチングおよび線形化する方法を提供する。
【解決手段】不均一放射（平面的なＸ線（光）領域を有する放射源の使用が必要とされない）状況におけるマルチセンサ検出器ゲイン特性のステッチングおよび線形化の手法で、検出器センサの出力信号強度の変換のためのＬＵＴ関数の計算に基づいている。規定されたＬＵＴ関数の適用し、測定精度の範囲内で、同じでかつ線形であるセンサゲイン特性が受信される。ステッチングＬＵＴ関数の計算は、検出器の領域に沿ってゆっくりと変化する不均一Ｘ線（光）を照射し、同じゲイン特性を有する任意の２つの隣接したセンサの応答が、これらのセンサの連結部付近において類似の値を有することを利用する。 （もっと読む）

【課題】鮮明な高倍率断層画像を取得することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、テーブル２の載置位置のファントムを撮影するプレ撮影を行ったあと、テーブル２および検出器３をプレ撮影と同じ様式で移動させて試料を撮影する実撮影を行って断層画像を再構成する構成となっている。再構成部１０は、実撮影Ｘ線画像Ｑの撮影時におけるテーブル２の移動の様式を考慮することができる。しかし、テーブル２がプレ撮影と実撮影で全く同じように移動するとは限らない。そこで、本発明によれば、テーブル２のウラ面のマーカを撮影し、実撮影マーカ画像Ｎとプレマーカ画像Ｍとによってプレ撮影と実撮影との間で生じたテーブル２の位置ズレを認識する。結果として高解像度の断層画像を取得可能なＸ線ＣＴ装置が提供できる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工，観察，追加工を行う装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の真空室内にイオン液体を充填した液体浴と超音波振動手段を配置し、イオン液体と試料の加工対象領域が接触した状態において、イオン液体中に超音波振動を伝搬させて試料を加工する。
【効果】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工，観察，追加工ができるため、スループットを向上させるとともに、大気の影響を防止する。 （もっと読む）

【課題】小型でリップルが少なく、効率的にＸ線を発生できるようにする。
【解決手段】Ｘ線発生器２０の電源部２２は、商用交流電源を、整流・平滑し、その平滑出力をスイッチングして交流化し、これを昇圧トランスで昇圧して、位相が異なる複数相の交流を出力する多相型インバータ２３と、コンデンサとダイオードの多段接続により構成され、多相型インバータ２３から出力される各交流をその段数に応じた高電圧までそれぞれ昇圧・整流する複数のコッククロフト回路３１_１、３１_２と、それらの複数のコッククロフト回路３１_１、３１_２の出力を並列に重畳してＸ線管２１に与える並列重畳回路３５とを有している。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物あるいは対象物中のどの部分かがわかることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】テーブルに過去に記憶された複数の外観像からなる外観像群Iの中から対象となる外観像Ｉ_１を選択する。選択された外観像Ｉ_１に関連付けられ、かつテーブルに過去に記憶されたＸ線透視像F_１００を読み出してモニタ１０Ｍに表示すると、選択された外観像Ｉ_１の対象物（サンプル）から、それに関連付けられたＸ線透視像F_１００を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。 （もっと読む）

【課題】ｎＡレベルのきわめて小さい電流値の電子線を利用して反射電子像回析パターンを生成することができる反射高速電子回析装置を提供する。
【解決手段】反射高速電子回析装置１０は、真空チャンバーの内部に着脱可能に設置された蒸着源１４ａ〜１４ｃと、試料１１に形成された薄膜に向かって電子線２８を発射する電子銃１５と、薄膜の表面において反射した反射電子から生成される反射電子像回析パターンを映し出す蛍光スクリーン１８と、反射電子を電流増幅するマイクロチャンネルプレート１７ａ，１７ｂとを有する。反射高速電子回析装置１０では、ｎＡのレベルのエミッション電流値の電子線２８を電子銃１５から薄膜に向かって発射する。 （もっと読む）

【課題】自由に動かすことのできない被検体に対し、観察部分の拡大率と透視方向を自由に操作性よく設定して透視する。
【解決手段】Ｘ線管２を位置決めするロボット７と、ロボット７を制御する制御部９と、Ｘ線検出器５を位置決めするロボット８と、ロボット８を制御する制御部１０と、被検体１の着目点を基準とした被検体座標に基づいたＸ線焦点Ｆの位置と透過像の拡大率とに関する透視条件データを受け付けて、透視条件データを実現するためのロボット７の所定の姿勢、およびロボット８の所定の姿勢を計算し、それぞれ制御部９と制御部１０に送信するデータ処理部１１とより成り、被検体座標に基づいて透視方向と拡大率を変更する放射線透視検査装置。 （もっと読む）

【課題】被写体を、眼の疲労が少ない立体像で表示しつつ、同一の視線上に被写体の断層画像を表示することが可能な撮影画像合成表示装置を提供する。
【解決手段】撮影画像合成表示装置３は、インテグラル方式の立体画像撮影装置１で撮影された要素画像群である被写体要素画像群と断層画像記憶装置２に予め記憶されている被写体の断層画像とを入力する画像入力手段３０と、被写体要素画像群をインテグラル方式の立体像として表示する立体像表示手段３３０と、断層画像を表示する断層画像表示手段３３１と、立体像表示手段３３０が表示する映像光と断層画像表示手段３３１が表示する映像光とを光路上で合成する合成手段３３２と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 衝突危険領域を過大に設定することを防止し、スムースにＸ線透検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 衝突危険領域設定部３３は、Ｘ線測定光学系１３が被測定物に接触する可能性のある衝突危険領域を設定するものであり、背景モデル作成部３４と、外観形状抽出部３５と、衝突危険領域算出部３９とを備える。外観形状抽出部３５は、背景モデル作成部３４において作成された背景モデルと、回転ステージ１４ａ上に被測定物Ｓを載置している状態で、回転ステージ１４ａを回転させながら光学カメラ１６により撮影して得た複数の試料画像と、を比較することで被測定物Ｓの外観形状を抽出するものであり、外観形状候補作成部３６と、影除去部３７と、最適化部３８とを有する。 （もっと読む）

【課題】 非導電性の物体の微細形状を、物体の形態を変化させることなく観察可能とすること
【解決手段】 観察する物体の表面に液晶を被覆した観察試料を電子顕微鏡内に配置し、前記観察試料を加熱することにより前記液晶の膜厚を変更するとともに、前記走査型電子顕微鏡により前記観察試料を観察する。これにより最適な液晶の膜厚における観察が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 観察対象部位が試料内部にある場合でも、集束イオンビーム加工装置を用いた断面加工を行って走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて精度の高い観察ができる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 透明性を有する試料の内部に存在する観察対象部位とその試料の表面に存在する所定の目標物とが同一画像上に現れるように光学顕微鏡で試料を撮像し、撮像された顕微鏡像に基づいて、観察対象部位の位置情報を算出し、算出された観察対象部位の位置情報に基づいて、集束イオンビーム加工装置を用いて試料から観察対象部位を包含する微小片試料を摘出し、摘出した微小片試料を、集束イオンビームを照射することによって断面加工し、微小片試料の表面に観察対象部位を位置させる。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射を受けて遮蔽板が高温度となって遮蔽板の支持部材に熱膨張が発生して遮蔽板が移動しても、良好な断面試料を作製する試料作製装置を提供する。
【解決手段】遮蔽板を試料の一部が露出しその他が遮蔽されるように配置し、遮蔽板と試料６の露出部分に跨るようにイオンビームを試料６に照射することにより、試料６の露出部分をエッチングして試料断面を作製する試料作製装置であって、遮蔽板ステージ９と、前記遮蔽板ステージ９により基端部を支持され、先端側が自由端となされた支持部材と、前記支持部材の先端側に支持された遮蔽板とを備え、前記支持部材は、前記遮蔽板の前記支持部材の基端側に向かう一側縁が前記イオンビームの照射位置となるように該遮蔽板を保持し、この遮蔽板により前記イオンビームが遮蔽される位置に設置された前記試料の該遮蔽板の一側縁から露出した箇所への前記イオンビームによる加工を行わせるようにした。 （もっと読む）

【課題】開口部の側壁で反射されて放射線検出手段に向かう放射線の発生を抑える。
【解決手段】開口部Ａpの側壁は、遮蔽板７５を平面視した場合において開口部Ａpが四角形状を有するように当該四角形の各辺に対応する４つの面を有している。しかも、開口部Ａpの側壁が有する面のうち少なくとも一つの面Ｓal、Ｓbl、Ｓbr、Ｓcr等は、遮蔽板７５の一方主面７５aに対して斜めに傾いている。その結果、開口部Ａpの側壁で反射されて、遮蔽板７５の他方主面７５b側に設けられた放射線検出手段に向かう放射線の発生を抑えることが可能となる。 （もっと読む）