【課題】被写体を、眼の疲労が少ない立体像で表示しつつ、同一の視線上に被写体の断層画像を表示することが可能な撮影画像合成表示装置を提供する。
【解決手段】撮影画像合成表示装置３は、インテグラル方式の立体画像撮影装置１で撮影された要素画像群である被写体要素画像群と断層画像記憶装置２に予め記憶されている被写体の断層画像とを入力する画像入力手段３０と、被写体要素画像群をインテグラル方式の立体像として表示する立体像表示手段３３０と、断層画像を表示する断層画像表示手段３３１と、立体像表示手段３３０が表示する映像光と断層画像表示手段３３１が表示する映像光とを光路上で合成する合成手段３３２と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を照射することによるＩＣ等の被検査物の破損を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷへのＸ線の累積照射量を測定もしくは推定して記録するＸ線累積照射量記録手段を備えた構成とすることにより、例えば累積照射量があらかじめ設定している限界量に到達した時点で自動的にＸ線の照射を停止する等によって、検査自体による不良品の発生を防止し、良品に混入することを防止する。 （もっと読む）

【課題】試料３の幅方向位置の測定精度を向上させ、試料測定範囲（厚さの範囲や材質など）の広範囲化を図った放射線測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物（試料）を搬送させながら放射線を用いて前記試料の物理量の測定を行う放射線測定装置において、前記試料の搬送方向に略直角に配置されたラインセンサと、前記試料の上方に配置され前記試料を介して前記放射線を前記ラインセンサに照射する複数の放射線源からなり、前記複数の放射線源からの放射線は前記試料の搬送方向に略直角方向に扇状に出射されると共に前記ラインセンサの同一線上を照射するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、物品に必要であるが、その位置を特定できない必要部品を、異物として誤検出することなく、異物混入検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源からのＸ線を物品に照射し、該物品を透過する透過Ｘ線をＸ線検出器で受け、前記透過Ｘ線を画像処理手段により画像処理し、物品を検査するＸ線検査装置であって、
前記透過Ｘ線に基づき前記物品に備えるべき必要部品の存在有無を判定し、
前記必要部品が存在すると判定される場合には、その存在領域を自動設定し、
前記存在領域とそれ以外の領域の検査条件を異ならせて、前記物品内における異物検出を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
設計データを制約条件として用い単調なパターンでも精度の良い連結画像を生成することを目的とする。設計データと画像データとのマッチングで大まかに基準位置を求めて、設計データとのズレ量を検索範囲として、隣接画像間でのマッチングを行い高速で精度の良い連結画像を生成する。
【解決手段】
本発明の画像生成方法は、走査型電子顕微鏡を用いて電子デバイスパターンを検査する画像生成方法であって、電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データを入力して記憶した設計データファイルと、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データと、前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとを用いて前記複数枚の分割画像データを１枚の画像に連結する画像連結手段とで構成される。 （もっと読む）

【課題】真空容器内の残留ガスの種類を、高価あるいは大型な装置を必要とせずに、簡易な手法で判別できる残留ガス判別方法を提供する。
【解決手段】真空容器１内に配置された陰極３の温度を複数種類の温度のそれぞに順次保持した状態で、陰極３から冷陰極電界放出方式により電子を放出させ、この時に陰極３から放出される電子の電流量である電子放出電流を少なくとも所定時間の期間分、逐次計測する。各種類の温度に対応して計測された所定時間の期間分の電子放出電流の値の時系列データから電子放出電流の値の度数分布を求め、前記複数種類の温度の値とその各種類の温度に対応して求められた電子放出電流の度数分布とに基づいて真空容器１内の残留ガスの種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、良品から不良品への経時変化を同一試料、同一視野で追跡し、不良発生のメカニズムを観察することのできる内部構造観察用又は電子顕微鏡用の試料ホルダーを提供することにある。
【解決手段】本発明は、内部構造観察用の試料ホルダーであって、試料ホルダー本体と、複数本の探針と、試料を保持する試料保持台を有し、前記探針及び試料の少なくとも一方を移動可能とする圧電素子と、前記探針に接続され、前記試料に電圧を印加する配線を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物の合否判定に使用する基準値を適切に検査者に設定させることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって被検査物を搬送している間に被検査物にＸ線を曝射し透過したＸ線の透過画像データに基づいた判定対象値を生成する判定対象値生成手段と、前記判定対象値と基準値とを比較して前記被検査物の合否を判定する合否判定手段とを有するＸ線検査装置において、前記判定対象値に基づいた表示対象値を記憶する表示対象値記憶手段を備え、前記表示対象値記憶手段によって記憶された複数の前記表示対象値に関するヒストグラムを表示するヒストグラム表示手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】食品等の種類および特性に対応する基準値と、センサーが食品等に混入した異物に反応して出力する反応信号に関する反応値に基づいて更新する精度の高い基準値とを用いて、異物の有無を、高精度で検出できる異物検出装置を提供する。
【解決手段】搬送路上を搬送される被検査物に混入している異物に反応して反応信号を出力するセンサーと、該反応信号に基づく反応値と第一基準値Ｋ_１とを比較して異物の有無を判定する第一判定手段とを有する異物検出装置において、良品の反応値に基づいて第二基準値Ｋ_２を設定する第二基準値設定手段と、第二基準値Ｋ_２設定後、反応値と第二基準値Ｋ_２とを比較して異物含有の可能性の有無を判定する第二判定手段と、第二判定手段において異物含有の可能性有りと判定されたとき、その旨を警告する警告手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡装置Ｐが電子線を照射した際に試料Ｓから放射され且つ前記電子顕微鏡装置Ｐでの解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部１と、電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部２と、前記試料Ｓの分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部２を参照し前記電子線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部１に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記試料Ｓの分析に用いるエネルギー線分析部３と、を具備して成ることを特徴とする電子顕微鏡装置Ｐと共に用いる分析装置。 （もっと読む）

【課題】試料の種類及び濃度を検出しながら、外観では判断できない装置自体の性能上の
異常を、自動的かつ即座に検出することにより、より正確な試料の検査を行うことができ
る検査装置、該検査装置を用いた検査方法を提供する。
【解決手段】試料３を構成する第１の元素の種類及び濃度を検出するＸＲＦ装置１００に
おいて、試料３と、第１の元素とは異なる、種類及び濃度が既知な第２の元素から構成さ
れた基準部材４とに、１次Ｘ線２０を照射するＸ線管１と、１次Ｘ線２０の照射により、
試料３から発生する第１の元素特有の第１の２次Ｘ線２１を検出するとともに、基準部材
４から発生する第２の元素特有の第２の２次Ｘ線２２を検出する検出器５とを具備し、基
準部材４は、１次Ｘ線２０の光路上に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 金属帯の表面に形成されるＰなどの軽元素を含む表面処理皮膜について、該皮膜中に含まれる軽元素の付着量を、蛍光Ｘ線分析装置を用いてオンライン分析できる付着量測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】 表面に皮膜が形成された走行中の金属帯の皮膜付着量測定装置であって、走行中の金属帯に近接して配置され、該金属帯表面にＸ線を照射し、励起・放射される蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線測定ヘッドと、前記蛍光Ｘ線測定ヘッドを該金属帯幅方向に往復動可能に支持する支持装置と、前記蛍光Ｘ線測定ヘッドの該金属帯走行方向上流に配置され、該金属帯の形状を検出する形状センサと、前記形状センサで検出した金属帯の形状が閾値を超えたときに前記蛍光Ｘ線測定ヘッドを該金属帯幅方向端部外方または板面から離れる方向に退避させる退避装置と、を備える。 （もっと読む）