【課題】ゴム材料中の充填剤の分散状態を、鮮明に観察しうる観察方法を提供する。
【解決手段】充填剤を含有するゴム材料の観察方法であって、走査型透過電子顕微鏡を用いてゴム材料の電子線透過画像を取得する撮像工程と、この撮像工程で得られた画像又はこの画像を加工した二次情報を観察する観察工程とを有し、前記撮像工程は、前記走査型透過電子顕微鏡の焦点を前記ゴム材料の厚さの中央領域に合わせることを特徴とするゴム材料の観察方法である。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に用いる信号強度を算出するデータ点数をサンプリング点の点数よりも増やす。
【解決手段】ＴＦＴ基板のピクセルに対して所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、ピクセル上に荷電ビームを照射して走査して検出される検出信号に基づいて行うＴＦＴ基板のアレイの検査において、一ピクセルから取得した複数のサンプリング点の信号強度を用いて当該ピクセルを代表する代表信号強度を求め、この代表信号強度に基づいて当該ピクセルに対応するアレイの欠陥検出を行うものであり、各ピクセルのサンプリング点の分布において、分布の偏りと反対方向の解像度が低いサンプリング点側の領域に補間データ点を定め、補間データ点を設定し信号強度を算出することによって、欠陥検出に用いる信号強度を算出するデータ点数をサンプリング点の点数よりも増やし、解像度の低下および欠陥検出の検出精度の低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料の中央が凸状になる場合や、凹状になる場合であっても、試料を短時間で簡単に精度よく測定することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、試料ＳにＸ線源１から１次Ｘ線２を照射して発生する２次Ｘ線４の強度をＸ線検出器７で測定し、１次Ｘ線２および２次Ｘ線４の光路上の光学素子について、第１の光学素子３１または第２の光学素子３２を選択する光学素子選択手段３と、第１の光学素子での２次Ｘ線の強度対第２の光学素子での２次Ｘ線の強度の強度比と試料高さとの、あらかじめ求められた相関を記憶する強度比／試料高さ記憶手段８と、未知試料Ｓについて、第１の光学素子での２次Ｘ線の強度対第２の光学素子での２次Ｘ線の強度の強度比を記憶手段８が記憶した相関に適用して、試料高さを算出して第１の光学素子３１での２次Ｘ線の強度を補正する強度補正手段９とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器等の被冷却物を冷却できない原因となる異常箇所を判定できる冷却装置を提供する。
【解決手段】筐体４１内に配置された被冷却物３２を設定目標温度に冷却する冷却装置４０であって、被冷却物３２の熱を吸熱する吸熱部５１と、吸熱部５１が吸熱した熱を排熱する排熱部５２と、回転羽根４２ｂが回転することで排熱部５２に向かって冷却風を送るファン４２と、被冷却物３２の温度を測定する被冷却物温度センサ４４と、吸熱部５１の温度を測定する吸熱部温度センサ４５と、被冷却物温度センサ４４からの温度情報に基づいて、被冷却物３２の温度が設定目標温度となるように、吸熱部５１が吸熱する熱量を調整する制御部とを備え、制御部は、回転検知センサ４６、被冷却物温度センサ４４及び吸熱部温度センサ４５からの情報に基づいて、被冷却物３２を冷却することができない原因となる異常箇所を判定する。 （もっと読む）

【課題】微小試料の測定室への落下による装置の不具合と故障を、未然に防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】測定部に備えられた撮像装置７によって、試料３下部の透明な落下防止板１１を通して試料３の被測定部位を、例えば０．５秒に一回撮影する。この画像を画像記憶装置１６によって記憶し、画像比較装置１５直近の２つの画像を比較する画像に差がある場合は、表示装置１７に警報を表示するとともに、制御装置１４を介して落下防止板１１の動作を停止する。 （もっと読む）

【課題】介在物を起点とする金属の破壊現象を解明するための介在物及び亀裂の３次元構造観察方法において、効率的で高精度な観察方法を提供する。
【解決手段】転動疲労を受けた部材の転動軌道直下において、転動体転がり方向Ｆに略平行な角度をなし、かつ転動面Ｐに略直角な角度をなす１次観察断面Ｐ１を切断・研磨して形成した後、この１次観察断面Ｐ１を観察して介在物３と亀裂４の位置を特定する１次観察工程と、更に収束イオンビームを用いて、前記転動体転がり方向Ｆに対して略直角な角度をなす２次観察断面Ｐ２を所定間隔で連続的に形成して、連続的な断層写真６を取得する２次観察工程と、前記断層写真６を３次元に再構築して３次元的な内部の介在物と亀裂の構造を評価する画像処理工程とを含む、介在物３及び亀裂４の３次元構造観察方法であって、前記２次観察断面Ｐ２を連続的に形成する所定間隔が０．０５〜０．５μｍ、前記収束イオンビームの加速電圧が２０〜３５ｋＶ、ビーム電流が０．５〜１０ｎＡの範囲であること。 （もっと読む）

【課題】被検査物を効率的に連続搬送可能な極めて実用性に秀れたＸ線検査装置の提供。
【解決手段】Ｘ線照射部２とＸ線検知部３とこれらを覆う本体カバー部４とを備え、本体カバー部４の開口部８から内部に搬入される被検査物１を検査するＸ線検査装置であって、本体カバー部４内の中央搬送機構５の搬送上流側に供給側搬送機構６を設け、搬送下流側に排出側搬送機構７を設け、供給側搬送機構６及び排出側搬送機構７に開口部８を有する供給側カバー部10及び排出側カバー部11を夫々設け、各カバー部の各開口部８に開閉自在にＸ線遮蔽体９を設け、Ｘ線検知部３で検知したＸ線に基づいて作成される画像を表示する画像表示手段を備え、Ｘ線照射後の被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際、排出側搬送機構７により当該被検査物１を搬送排出すると共に、当該被検査物１の画像を画像表示手段に表示する連動制御機構を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体装置や液晶などの回路パターンが形成された基板上の欠陥を検出する目的で検査を行う走査電子顕微鏡を搭載した検査装置において、困難となっている微細欠陥と擬似の識別を容易に実施できる検査装置及びその検査方法を提供する。
【解決手段】同一箇所を複数回スキャンして得られる画像あるいは画像信号を加算し、加算回数の異なる画像あるいは画像信号を比較することにより、擬似欠陥あるいは真の欠陥の欠陥位置を検出する。擬似欠陥あるいは真の欠陥のいずれを検出するかは、加算回数の異なる複数の画像の比較演算の組み合わせによって定める。 （もっと読む）

【課題】検査データと組み合わせて設計データを使用するためのさまざまな方法及びシステムが実現される。
【解決手段】設計データ空間における検査データの位置を決定するための一コンピュータ実施方法は、ウェハ上のアライメント部位に対する検査システムにより取り込まれたデータを所定のアライメント部位に対するデータにアラインさせることを含む。この方法は、さらに、設計データ空間における所定のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置を決定することを含む。それに加えて、この方法は、設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間における検査システムによりそのウェハについて取り込まれた検査データの位置を決定することを含む。一実施形態では、検査データの位置は、サブピクセル精度で決定される。 （もっと読む）

【課題】測定対象試料中に含まれる分析対象元素が極めて微量であっても、その分析対象元素の構造解析を従来よりも正確に行うことができる構造解析方法を提供する。
【解決手段】分析対象元素に関するＸ線吸収スペクトルを得るための標準試料と、測定対象試料に含まれる分析対象元素の０．１〜１０倍の分析対象元素をマトリックス中に含む２次試料とを用意する。次いで、標準試料のＸ線吸収スペクトル（標準スペクトル）と、２次試料のＸ線吸収スペクトル（２次スペクトル）とを比較することで、測定対象試料における分析対象元素に関連する蛍光Ｘ線のエネルギー範囲である関心領域を決定する。そして、その決定した関心領域に基づいて測定対象試料のＸ線吸収スペクトルである目的スペクトルを求める。 （もっと読む）

【課題】Ｆｅ化合物が形成されたＦｅ基材料において、Ｆｅ化合物中の元素比率が不明な場合でも非破壊で材料上のＦｅ化合物を確実に定量する。
【解決手段】Ｆｅ基材料１のＭｎ及びＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を測定する第１ステップと、Ｆｅ化合物２が表面に形成されたＦｅ基材料１のＭｎ及びＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を測定する第２ステップと、第１ステップで測定したＭｎ元素の蛍光Ｘ線強度と第２ステップで測定したＭｎ元素の蛍光Ｘ線強度からＦｅ化合物２によるＭｎ元素の減衰比を算出する第３ステップと、前記第３ステップで算出されたＭｎ元素の減衰比からＦｅ化合物２によるＦｅ元素の減衰比を算出する第４ステップと、前記第４ステップで算出されたＦｅ元素の減衰比から前記Ｆｅ化合物２から放出されたＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を求める第５ステップと、前記第５ステップで求められたＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度から前記Ｆｅ化合物を定量する第６ステップを有する。 （もっと読む）

【課題】開口部の側壁で反射されて放射線検出手段に向かう放射線の発生を抑える。
【解決手段】開口部Ａpの側壁は、遮蔽板７５を平面視した場合において開口部Ａpが四角形状を有するように当該四角形の各辺に対応する４つの面を有している。しかも、開口部Ａpの側壁が有する面のうち少なくとも一つの面Ｓal、Ｓbl、Ｓbr、Ｓcr等は、遮蔽板７５の一方主面７５aに対して斜めに傾いている。その結果、開口部Ａpの側壁で反射されて、遮蔽板７５の他方主面７５b側に設けられた放射線検出手段に向かう放射線の発生を抑えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】鉛含有量を簡易かつ正確に測定することのできる蛍光Ｘ線分析法および装置を提供する。
【解決手段】鉛含有量が既知の標準試料により得られる鉛含有量と鉛特性Ｘ線強度との関係と、鉛特性Ｘ線強度とに基づいて鉛含有量を求める蛍光Ｘ線分析法において、Ｘ線管球電圧を変えながらＸ線透視像を観察し、Ｘ線透視像に投影された鉛含有粒子の影の有無を調べることにより、所定のＸ線管球電圧でのＸ線が貫通していない鉛含有粒子を有しているか否かを判定基準として、貫通していない鉛含有粒子を有しないグループ１と、貫通していない鉛含有粒子を有するグループ２とに分類し、グループ１の蛍光Ｘ線分析については、所定のＸ線管球電圧でのＸ線が貫通していない鉛含有粒子を有しないものを標準試料として選定し、グループ２の蛍光Ｘ線分析については、所定のＸ線管球電圧でのＸ線が貫通していない鉛含有粒子を有するものを標準試料として選定する。 （もっと読む）

【課題】２次元検出器を用いた場合であっても極点図測定を正確に行うことが可能なＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線回折装置は、Ｘ線源と、試料を保持し、移動可能な保持台と、試料から回折により出射されるＸ線を検出する２次元検出器と、Ｘ線源と保持台と２次元検出器とを制御する制御処理部とを備える。制御処理部は、記憶手段と演算手段（工程（Ｓ５０））と極点図作成手段（工程（Ｓ７０））とを含む。記憶部は、２次元検出器により複数の条件下で検出されたＸ線の複数の強度データを記憶する。演算手段（工程（Ｓ５０））は、複数の強度データについて、それぞれの強度データに対応するＸ線の試料における吸収量の差を補正するように、強度データに対する補正演算を行う。極点図作成手段（工程（Ｓ７０））は、補正演算された補正後の複数の強度データを用いて試料の極点図データを作成する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】対象物に欠陥を意図的に発生させたり、全ての検査位置（観察ポイント）に欠陥を持つ対象物を準備しなくとも、従来では固定であった基準画像に替えて、当該基準画像よりも後に得られるＸ線画像を新たに基準画像としてステップＳ１０で置き換えることで、必要最小限の構成により、基準画像としてより適切なＸ線画像が得られた段階で基準画像のデータを改善して、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。さらに、好ましくは、評価値として欠陥度合い（気泡の面積比率等）を採用し、ステップＳ４，Ｓ７で画像を当該評価値として数値化することによりＸ線画像を評価し、評価値に最も近い画像を基準画像として置き換えることで、基準画像を自動的に置き換えることができる。 （もっと読む）

【課題】
性質が異なる画像を取得する複数種類の観察装置を用いた欠陥分類システムにおいて、分類性能及びシステムの操作性を向上させる。
【解決手段】
被検査対象を撮像する複数の画像撮像手段と、上記画像撮像手段から得られた画像を分類する欠陥分類装置と、上記複数の画像撮像手段と、上記欠陥分類との間のデータ伝送を行う為の伝送手段からなる欠陥分類システムにおいて、上記欠陥分類装置に、画像撮像手段から得られた画像データを記憶する画像記憶手段と入力画像データに関する付随情報を記憶する情報記憶手段と、上記、付随情報に応じて画像の処理方式あるいは表示方式を変更する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】作業効率に優れ、かつ安全に試料測定を行える蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】試料Ｓ上の照射ポイントＰ１に放射線を照射する放射線源２と、Ｘ線検出器３と、試料と放射線源及びＸ線検出器とを相対的に移動可能な移動機構８と、筐体１０と、筐体の内外に試料を出入りさせる開口１０ａを開閉する扉２０と、照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構７と、測定した照射ポイントの高さに基づいて試料と、放射線源及びＸ線検出器との距離を調整する移動機構制御部９と、照射ポイントに可視光レーザを照射するレーザ部７と、扉が開状態の時、レーザ部を作動させて可視光レーザを照射させると共に、扉が閉状態の時、レーザ部を停止させるレーザ部作動制御部９と、扉が開状態の時、高さ測定機構を作動させて照射ポイントの高さを測定させる高さ測定機構作動制御部９と、を備えた蛍光Ｘ線分析装置１００である。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で高精度のＮＲＦ分析を行う。
【解決手段】電子加速装置１１１によって、高エネルギーまで加速された電子線１１２が図中右方向に放射される。一方、レーザー光源１２によって発せられたレーザー光１３は、回転式波長板１４を透過し、反射鏡１１３で反射され、電子線１１２中の高エネルギー電子と正面衝突するように設定される。レーザー光１３はＬＣＳガンマ線１５となり、図中右側に発せられる。試料１００における原子核は、このＬＣＳガンマ線１５を吸収し、核共鳴散乱によって、ＮＲＦガンマ線２１を発する。このＮＲＦガンマ線２１は、ＮＲＦガンマ線検出器（ガンマ線検出部）２２で検出される。回転式波長板（偏光方向切替部）１４は、垂直偏光されたレーザー光１３の偏光方向を制御する。特に、レーザー光１３の光軸を変えずに、その偏光方向を垂直な２方向に制御する。 （もっと読む）

【課題】測定結果が迅速に得られるようにしながらも、信頼性の高い測定精度が得られるようにした固形燃料中の塩素含有量測定方法を提供する。
【解決手段】固形燃料を酸素ボンブ燃焼容器内で燃焼させ、燃焼により発生する塩化水素及び塩素を燃焼容器内に収容したアルカリ水溶液に吸収させ、その吸収液中の塩素量を蛍光Ｘ線で測定する。固形燃料は、廃プラスチック類、廃繊維類、及び古紙のうち、少なくともいずれか１つの物質から製造された燃料である。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する。
【解決手段】層状構造を有する被検体５の断面像を撮影するＣＴ装置であって、回転・昇降機構７とＸ線検出器３を制御して、第一の角度範囲で回転をさせつつ第一の角度間隔毎に検出された複数の透過像を第一のスキャンデータとして取り込んで記憶する第一のスキャン、および、第二の角度範囲で前記回転をさせつつ第一の角度間隔より小さな第二の角度間隔毎に検出された複数の透過像を第二のスキャンデータとして取り込んで記憶する第二のスキャンを実施するスキャン制御部９ｃと、第一のスキャンデータに基づいて、層面が放射線光軸Ｌと平行となる回転位置から±６０°内にあって平行となる回転位置を包含する第二の角度範囲を設定する角度範囲設定部９ｄと、少なくとも第二のスキャンデータを用いて被検体５の断層撮影面に平行な断面像を再構成する再構成部９ｅとを有するＣＴ装置。 （もっと読む）