【課題】検査結果データの目視による再確認を容易かつ有効的に行うことができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】物品検査装置１は、被検査物Ｗを検査して検出信号を出力する検査部３と、検査部３からの検出信号に基づいて被検査物Ｗの良否を判定する判定部５と、被検査物Ｗ毎の検査部３の検出信号、判定部５の良否判定結果および検査時刻を含む検査結果データと、装置の動作来歴データと、から構成される検査記録情報を蓄積する検査記録蓄積部９と、検査記録蓄積部９に蓄積された検査記録情報から目視再確認用の検査結果データを抽出するための抽出条件を複数記憶する記憶部７と、記憶部７に複数記憶された抽出条件から所望の抽出条件の選択操作を行う表示操作部４と、表示操作部４により選択された抽出条件を満たす検査結果データを検査記録蓄積部９から抽出する制御部８と、制御部８が抽出した検査結果データを表示する表示操作部４と、を備えた （もっと読む）

【課題】 Ｘ線回折測定装置を容易に搬送可能に構成するとともに、測定対象物のＸ線による回折環を簡単に形成できるようにする。
【解決手段】 Ｘ線回折測定装置は、ケース６０を備えて、ケース６０内に、測定対象物ＯＢに向けてＸ線を出射するＸ線出射器１０と、イメージングプレート２１が取り付けられるテーブル２０と、イメージングプレート２１にレーザ光を照射して、出射した光を受光して受光強度に応じた受光信号を出力するレーザ検出装置４０と、テーブル２０を中心軸回りに回転させるスピンドルモータ３７と、テーブル２０をイメージングプレート２１の受光面に平行な方向に移動するフィードモータ３２とを収容する。ケース６０は、測定対象物ＯＢ上に載置される傾斜面壁６７を有し、傾斜面壁６７には出射されたＸ線を通過させる貫通孔６７ａが設けられている。傾斜面壁６７は、出射されたＸ線の光軸方向と所定の角度をなす。 （もっと読む）

【課題】複数種類の測定データ及び解析データを取得できるＸ線分析装置において、データの内容とその内容をもたらした解析ソフトウエアとを簡単且つ正確に把握できるようにする。
【解決手段】複数の測定手法を実現できる機能を持ったＸ線分析装置１であり、この装置は、個々の測定手法を実現して測定データを取得する測定ソフトウエア３６と、その測定データに対して所定の解析を行って解析データを取得する解析ソフトウエア３７と、測定データ及び解析データの個々に基づいて縮小画像４２を作成する縮小画像作成手段２、３８と、解析ソフトウエアを指し示すアイコン４３を作成する解析アイコン作成手段２、３９と、縮小画像４２とアイコン４３とを互いが対応関係にあることを示しつつ同じ画面９ａ内に表示する画像表示手段２，９とを有する。 （もっと読む）

【課題】省スペースを実現するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線照射部と、Ｘ線検出部と、画像生成部と、本体１１と、表示部３０とを備える。Ｘ線照射部は、検査対象物にＸ線を照射する。Ｘ線検出部は、検査対象物を透過したＸ線を検出する。画像生成部は、Ｘ線検出部によって検出されたＸ線の強度に応じて、検査対象物のＸ線画像を生成する。本体は、Ｘ線照射部、Ｘ線検出部、および画像生成部を収容する。表示部は、本体に移動可能に取り付けられる。また、表示部は、画像生成部によって生成された検査対象物のＸ線画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線ラインセンサ５１を、Ｘ線ラインセンサ５２に対して平行となる姿勢を保って支持するとともに、被検査物搬送方向に位置調整可能に構成された第１支持部材７１と、第１支持部材７１の被検査物搬送方向に対する位置の調整操作を行う位置調整部材７４と、第１のＸ線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第１の波形と第２のＸ線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第２の波形とを取得するとともに、第１の波形の先端部に対する第２の波形の先端部の位相差に基づいて第１支持部材７１の位置調整方向および位置調整量を判定する位置調整判定部と、位置調整判定部による判定結果を表示する表示器と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】検査精度および検査速度の低下が防止できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置がアーチファクトを認識するために実行する処理は、撮像条件１の再構成画像から断層画像Ｓ１を取得するステップ（Ｓ５１０）と、撮像条件２の再構成画像から断層画像Ｓ２を取得するステップ（Ｓ５２０）と、断層画像の差分（Ｓ１−Ｓ２）を計算するステップ（Ｓ５３０）と、差分の絶対値が閾値以上であればアーチファクトと判断するステップ（Ｓ５４０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置における撮像時間を短くする。
【解決手段】Ｘ線検査装置が実行する処理は、検査対象物中の着目点がＸ線検出器の受光中心に常に投影された状態で、Ｘ線検出器および撮像視野を、それぞれの移動のために予め設定された軌道上で連続的に移動させるステップ（Ｓ７１０）と、その移動中に、各目標位置において、連続的にＸ線を照射するようにＸ線発生器を駆動し、またはＸ線検出器が露光状態にある期間、Ｘ線を照射するステップ（Ｓ７２０）と、Ｘ線を露光し、プロジェクション画像（投影画像）を出力するステップ（Ｓ７３０）と、予め設定されたｎ回の露光が行なわれると（ステップＳ７５０にてＹＥＳ）、ｎ枚のプロジェクション画像から３次元画像を再構成するステップ（Ｓ７６０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】高感度検査や高精度計測を行うことが必要な部分領域を、効率的に決定する。
【解決手段】領域決定装置は、試料を検査して得た試料上の欠陥位置あるいは試料上において欠陥が発生する可能性があると予測された欠陥位置を撮像した画像を含む欠陥データの、少なくとも複数種の欠陥属性情報に基づき欠陥の発生度合いを算出する算出部と、発生度合いが所定以上となる欠陥データを抽出し、該抽出された欠陥データから観察または検査を行う試料上の領域を決定する領域決定部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】スペクトルを有効に表示することができるスペクトル表示装置を提供する。
【解決手段】スペクトル表示装置１００は、第１軸を所定の物理量とし、第２軸を前記所定の物理量に対する強度として表したスペクトルの一部を拡大して表示するスペクトル表示装置であって、前記スペクトルの前記第１軸の拡大範囲を指定するための操作部１０と、操作部１０によって指定された前記拡大範囲の情報を取得する範囲情報取得部２２と、前記拡大範囲の情報に基づいて、前記拡大範囲が所定の拡大率で前記第１軸に沿って拡大され、かつ前記拡大範囲とは異なる前記第１軸の範囲が所定の縮小率で前記第１軸に沿って縮小された拡大スペクトルを生成するスペクトル生成部２４と、スペクトル生成部２４が生成した前記拡大スペクトルを表示する表示部３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】樹脂中の塩素濃度を蛍光Ｘ線分析で正確に測定することが可能な塩素濃度測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の塩素濃度測定方法は、真空中での蛍光Ｘ線分析により樹脂中の塩素濃度を測定する方法であって、対陰極としてロジウムを用いて発生させたＸ線を、クロム測定用フィルタ２３を通して測定試料Ｓに照射し、測定試料Ｓとの比重差が０.１５以内の標準試料を用いて作成した検量線に基づき、照射により測定試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線の強度から塩素濃度を算出する。 （もっと読む）

【課題】ＦＥＭウェーハを自動測長する場合、測長対象の大きさは登録時と異なっていることが多いだけでなく、測長対象のパターンも崩れていることが多い。このため、測長の可否を自動的に判断することが困難である。
【解決手段】半導体検査システムにおいて、(1) 参照画像から算出される距離画像を利用し、検査画像の輪郭線の位置を特定する処理、(2) 特定された距離画像に対する輪郭線の位置に基づいて欠陥大きさ画像を算出し、当該欠陥大きさ画像から欠陥候補を検出する処理、(3-1) 欠陥候補が検出された場合、検出された欠陥候補の大きさを算出する処理、又は(3-2) 第１及び第２の輪郭線の相違部分を欠陥候補として検出する処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線回折測定装置において、誤ったイメージングプレートの使用を避ける。
【解決手段】 コントローラＣＴは、測定対象物にて回折したＸ線による回折環をイメージングプレート２８に記録して、回折環を記録したイメージングプレート２８にレーザ光を照射して回折環を測定する。新たなイメージングプレート２８には、製造日を含む識別データがＸ線により記録されており、新たなイメージングプレート２８への交換後には、識別データが読取られ、その後、識別データがイメージングプレート２８から消去される。これにより、新たなイメージングプレート２８への交換後に識別コードが読取れなかった場合には、コントローラＣＴは、使い古しのイメージングプレート２８がセットされたと判定する。また、コントローラＣＴは、製造日を用いて使用期限の切れたイメージングプレート２８のセットも判定する。 （もっと読む）

【課題】鮮明な高倍率断層画像を取得することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、テーブル２の載置位置のファントムを撮影するプレ撮影を行ったあと、テーブル２および検出器３をプレ撮影と同じ様式で移動させて試料を撮影する実撮影を行って断層画像を再構成する構成となっている。再構成部１０は、実撮影Ｘ線画像Ｑの撮影時におけるテーブル２の移動の様式を考慮することができる。しかし、テーブル２がプレ撮影と実撮影で全く同じように移動するとは限らない。そこで、本発明によれば、テーブル２のウラ面のマーカを撮影し、実撮影マーカ画像Ｎとプレマーカ画像Ｍとによってプレ撮影と実撮影との間で生じたテーブル２の位置ズレを認識する。結果として高解像度の断層画像を取得可能なＸ線ＣＴ装置が提供できる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折測定装置において、高精度で回折環を検出できるようにする。
【解決手段】コントローラＣＴは、測定対象物にて回折したＸ線による回折環を記録した回折光受光器２８にレーザ光を照射して回折環を測定する。コントローラＣＴは、レーザ光が照射されている位置の半径値が増加するに従って大きくなる回折Ｘ線の減衰量の変化を補正するように、半径値を用いてレーザ光強度を計算して、計算したレーザ光強度のレーザ光を回折光受光器２８に照射する。また、コントローラＣＴは、前記半径値が増加するに従って大きくなる測定対象物にＸ線を照射した際の回折Ｘ線が受光される面積の変化を補正するように、前記半径値を用いてフォーカス制御値を計算して、前記計算したフォーカス制御値に応じて対物レンズによるフォーカス位置を制御して、回折光受光器２８に形成されるレーザ光のスポット径を制御する。 （もっと読む）

【課題】対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物あるいは対象物中のどの部分かがわかることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】テーブルに過去に記憶された複数の外観像からなる外観像群Iの中から対象となる外観像Ｉ_１を選択する。選択された外観像Ｉ_１に関連付けられ、かつテーブルに過去に記憶されたＸ線透視像F_１００を読み出してモニタ１０Ｍに表示すると、選択された外観像Ｉ_１の対象物（サンプル）から、それに関連付けられたＸ線透視像F_１００を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線のエネルギーに依らず、微小領域における高効率・高感度分析が可能な荷電粒子線分析装置を提供する。
【解決手段】 真空容器（５、６）内で荷電粒子線１７を試料１４に照射し、試料１４から発生するＸ線３をＸ線検出器２８で検出して試料１４を分析する荷電粒子線分析装置４において、構成の異なるＸ線レンズ１（１ａ、１ｂ）を真空容器（５、６）内に２個以上備える。Ｘ線レンズ交換に伴う真空容器の大気開放や真空引きが不要になり、高効率・高感度分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 正確で明るい偏光像を取得できる電子線分析装置の提供。
【解決手段】 電子線源２０と、落射光用光源部６０と、透過光用光源部８０と、可視光又は偏光光が検出面に入射して、試料表面上の分析位置を含む領域の光学像又は偏光像を取得する画像取得部５１ｂ、７１と、落射光用光源部６０からの可視光を所定方向に反射するとともに、所定方向と逆方向からの光を透過して画像取得部７１の検出面に導くハーフミラー９２とを備える電子線分析装置１であって、ハーフミラー９２は、落射光用光源部６０から可視光が出射された際には、落射光用光源部６０からの可視光を所定方向に反射するとともに、所定方向と逆方向からの光を透過して画像取得部７１の検出面に導く第一位置に配置され、一方、透過光用光源部８０から偏光光が出射された際には、所定方向と逆方向からの光が通過しない第二位置に配置されるように移動可能とする。 （もっと読む）

【課題】異物検出の閾値を高感度な状態に保ち、異物の誤検出を防ぎつつ高精度に検出することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査物ＷにＸ線を照射して検出したＸ線透過量を表すＸ線画像に対して、複数の画像処理フィルタを組み合わせてなる複数の異物強調処理を用いてそれぞれ並列に画像処理を行う画像処理部５０と、複数の異物強調処理を施した結果の濃淡画像から、それぞれ所定の閾値を用いて異物候補を検出する複数の異物候補検出部６１〜６４と、Ｘ線画像上の同じ箇所で複数の異物候補検出部６１〜６４によって異物候補が検出され、かつ、それらの異物候補が予め設定された異物の有無を判定するための複数の異物強調処理に対する異物候補の組合せであるときに、被検査物Ｗ中に異物が有ると判定する異物判定部４４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、観測上の精度の限界と消滅則の影響を考慮し、かつ、高速な指数付けを可能とする技術を提供することである。
【解決手段】本発明の情報処理装置は、ｑ値の集合を取得する手段と、ｑ値の集合から、組合せに含まれない他のｑ値を算出可能な第１のｑ値の組合せを取得する手段と、第１のｑ値の組合せと他のｑ値から、結晶格子の逆格子の２次元部分格子の基底に係る第２のｑ値の組合せを取得する手段と、２次元部分格子の基底がそれぞれ共通する第２のｑ値の組合せ同士を関連付ける手段と、互いに関連付けられた第２のｑ値の組合せに含まれる異なるｑ値の数による比較を行う手段と、比較の結果が所定の条件を満たす関連付けに係る第２のｑ値の組合せから、結晶格子の逆格子に係る第３のｑ値の組合せを特定し、該特定した第３のｑ値の組合せから結晶格子の格子定数の候補を取得する手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２つのＸ線画像上の被検査物の大きさの違いを、異物検出性能の低下が無視できる程度に低減することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線管３２をその鉛直軸上の位置を調整可能に支持する支持機構７１と、第１のＸ線画像データにおける被検査物Ｗの幅方向の波形である第１の波形と第２のＸ線画像データにおける被検査物Ｗの幅方向の波形である第２の波形とを取得して比較し、第２の波形の幅が第１の波形の幅より大きいときは、Ｘ線管３２の調整方向が鉛直軸上方であると判定するとともに、第２の波形の幅が第１の波形の幅より小さいときは、Ｘ線管３２の調整方向が鉛直軸下方であると判定する調整判定部８１と、調整判定部８１により判定された調整方向を表示する表示器５と、を備えた。 （もっと読む）