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Fターム[2G001JA14]の内容

放射線を利用した材料分析 (46,695) | 制御、動作、調整、安定化、監視、切換、設定等 (3,483) | 環境(温度、圧力等) (103)

Fターム[2G001JA14]に分類される特許

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【課題】環境制御型透過型電子顕微鏡(ETEM)において、活性雰囲気下でサンプルを評価研究する際に、発生するサンプルのドリフトが取得画像の解像度の制限因子とならないようにする。
【解決手段】ドリフトを避けるため、または抑制するため、サンプルを所望の温度で不活性ガスに暴露し、その後不活性ガスを活性ガスに置換する。光、X線、または走査型プローブ顕微鏡に適用できる。 (もっと読む)


【課題】X線検出器等の被冷却物を冷却できない原因となる異常箇所を判定できる冷却装置を提供する。
【解決手段】筐体41内に配置された被冷却物32を設定目標温度に冷却する冷却装置40であって、被冷却物32の熱を吸熱する吸熱部51と、吸熱部51が吸熱した熱を排熱する排熱部52と、回転羽根42bが回転することで排熱部52に向かって冷却風を送るファン42と、被冷却物32の温度を測定する被冷却物温度センサ44と、吸熱部51の温度を測定する吸熱部温度センサ45と、被冷却物温度センサ44からの温度情報に基づいて、被冷却物32の温度が設定目標温度となるように、吸熱部51が吸熱する熱量を調整する制御部とを備え、制御部は、回転検知センサ46、被冷却物温度センサ44及び吸熱部温度センサ45からの情報に基づいて、被冷却物32を冷却することができない原因となる異常箇所を判定する。 (もっと読む)


【課題】 非導電性の物体の微細形状を、物体の形態を変化させることなく観察可能とすること
【解決手段】 観察する物体の表面に液晶を被覆した観察試料を電子顕微鏡内に配置し、前記観察試料を加熱することにより前記液晶の膜厚を変更するとともに、前記走査型電子顕微鏡により前記観察試料を観察する。これにより最適な液晶の膜厚における観察が可能となる。 (もっと読む)


【課題】シールドボックス内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】X線検査装置は、シールドボックス200と、シールドボックス200の内部に配置されたX線源300およびX線源300を制御する制御部800と、を備えたX線検査装置である。このX線検査装置には、シールドボックス300の天面部230の内面で、かつX線源300の上方に、気体を集める凹部231が設けられている。 (もっと読む)


【課題】高温雰囲気中において、高電界を印加したときの絶縁破壊電圧が高い積層セラミックコンデンサを提供する。
【解決手段】積層セラミックコンデンサ1は、コンデンサ本体10と、第1及び第2の電極11,12とを備えている。コンデンサ本体10は、誘電体セラミックスからなる。第1及び第2の電極11,12は、コンデンサ本体10内に設けられている。第1及び第2の電極11,12は、セラミック層10eを介して互いに対向している。積層セラミックコンデンサ1では、300Kにおいて電界を印加していない状態の第1及び第2の電極11,12の格子定数をaとし、400Kにおいて30kV/mmの電界を印加したときの第1及び第2の電極11,12の格子定数をaとしたときに、(|a−a|×100)/aが0.18以下である。 (もっと読む)


【課題】検査対象の部分領域ごとに異なる分解能で検査することが可能なX線検査装置を提供する。
【解決手段】 X線検査装置100は、X線が対象物1に複数の方向から入射するようにX線を出力するX線源10と、各方向から対象物に入射して対象物を透過したX線が届く位置の受像面においてX線を撮像するX線検出器23と、対象物の位置を水平面内で移動させるための検査対象駆動機構110と、X線源10とX線検出器23との間の焦点受像器間距離を保持して、X線源10とX線検出器23とを移動させて倍率を変更し、各位置で撮像したX線の強度分布データに基づき、対象物の再構成画像データを生成する。 (もっと読む)


【課題】 蛍光X線強度が弱い場合でも、正確に磁性層厚さが測定できる層厚測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蛍光X線分析法を用いて非磁性支持体上に少なくとも磁性層を設けた磁気記録媒体の磁性層厚さを測定する層厚測定装置であって、該層厚測定装置は、X線の発生源であるX線管と、磁気記録媒体に照射されたX線により発生した蛍光X線を受ける検出器と、これらを含んで外気と遮断し、前記X線と前記蛍光X線を透過させるX線窓を有する密閉箱と、を含み、該密閉箱内は空気よりも密度の小さい気体で置換されており、前記X線窓と前記磁性層との距離が1〜50mmであることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電子ビームを放出中であっても高真空を維持可能な小型荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の電子光学系の差動排気の上流に非蒸発ゲッター
ポンプを配し,下流に必要最小限のイオンポンプ配して,両者を併用することにより達成
される。さらに,取り外し可能なコイルを電子銃部に実装することにより,別の課題を解
決する。
【効果】カラム内の真空度を10−8Pa台の高真空で維持できる小型荷電粒子線装置,例えば,小型の走査型電子顕微鏡,複数のカラムを有する荷電粒子ビーム装置を得ることができる。さらに,半導体の電気特性を直接計測するプローバ装置の探針の位置をモニタする小型SEMカラムを容易に内蔵できる。その他にも,半導体素子検査用のミラープロジェクション方式の電子線検査装置の電子線照射カラムの小型化が可能となる。 (もっと読む)


【課題】対象試料を実条件に近い状態で計測でき、且つ、単純な構成のイオンビーム分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料3に向けてイオンビーム6を照射するイオンビーム照射手段1と、該イオンビーム照射手段1に接続され、前記イオンビーム6の通路となる低圧部2と、該低圧部2の外部に配置されて、前記試料3に前記イオンビーム6が照射されるよう試料3を保持する試料保持手段と、前記イオンビーム6によって前記試料3から放射された放射エネルギーを検出する検出手段4とを備え、前記低圧部2が、イオンビーム6の出口部分となる開口部を有し、該開口部には、隔壁部材5が前記低圧部2の内部を気密保持可能に設けられ、前記隔壁部材5が、イオンビーム透過性を有し、且つ、前記低圧部2の内外の圧力差に耐えうる強度を有する材料からなるイオンビーム分析装置10。 (もっと読む)


【課題】 多量の反応ガスを流しながらX線回折で試料(亜鉛フェライト脱硫剤)の反応過程(炭素析出)をその場で観察する。
【解決手段】 試料を流通する前と流通した後の反応ガスの組成が変化しない状態に試料21を保持する微分反応評価試料保持部15を備え、検証条件を保持した状態でX線回折装置(X線発生手段25、二次元X線検出手段26)により試料21の組成の形態変化をその場で直接解析し、炭素の析出が生じる過程での形態変化を検証する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、観察対象である試料の伸縮の変化を抑えることにより、観察対象の位置ずれを解消し、大幅なスループット向上を図った荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を保持する試料保持手段と、前記試料の温度の調整が可能な温度調節手段と、各種条件に基づき前記温度調節手段の制御が可能な温度調整手段制御手段を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを利用可能な蛍光X線分析装置及び蛍光X線分析方法を提供する。
【解決手段】蛍光X線分析装置は、X線管(X線照射部)51からの一次X線とX線検出器(検出部)52が検出する蛍光X線とが通過する測定室(内部空間)31内を特定のガスの雰囲気にした上で蛍光X線分析を行う。測定室31へガスを供給する配管1の途中に、ヘリウム用圧力調整器21と窒素用圧力調整器22とを並列に備え、各圧力調整器は、ガスの種類に応じた圧力に調整してあり、ガスを測定室31へ供給する際には、ガスの経路を、ガスの種類に対応する圧力調整器を通過するように切換弁(経路切換手段)26で切り換える。配管1の殆どの部分を共通に使用しながら、雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを使用することができる。 (もっと読む)


【課題】高温測定が可能であり且つ繰り返して使用することができる試料ホルダを提供することを課題とする。
【解決手段】図(a)に示すように、ヒータ収納凹部21へヒータ15を入れ、下蓋14を被せ、第2ボルト35で固定する。これで、(b)に示す形態のヒータ付き試料ホルダ10が完成する。
【効果】X線透過部材31は金属であるため、皺が寄ったり劣化する心配が無く、繰り返し使用することができると共に高温にも耐える。したがって、本発明によれば、普通のX線回析計測装置を用いるにも拘わらず高温測定が可能であり且つ繰り返して使用することができる試料ホルダが提供される。 (もっと読む)


【課題】CL法の感度を向上させてシリコン基板を評価することで、デバイス活性領域の点欠陥を精密に非破壊検査により評価することができるシリコン基板の評価方法、及びその評価方法を用いた半導体デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】シリコン基板表面にPN接合を作製し、PN接合が作製されたシリコン基板の空乏領域に電子線を照射して、電子線が照射されたシリコン基板から得られる発光の波長及び強度からシリコン基板の評価を行うシリコン基板の評価方法。 (もっと読む)


【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源14・6と、該試料を保持する試料ステージ14・22と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器14・4と、該検出器14・4に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット14・5と、電子源14・6から試料ステージ14・22への1次電子光学系と試料ステージ14・22から検出器14・4への2次電子光学系を分離するウィーンフィルタ14・3と、を備え、電子銃14・6から放出された電子線はウィーンフィルタ14・3においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ14・3においてクロスオーバを形成し、1次電子光学系と2次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ14・3上で異なっている。 (もっと読む)


【課題】消費電力を低減する。
【解決手段】蛍光X線センサ部Dを冷却する前方ペルチェ素子(1)と、前方ペルチェ素子(1)を冷却する後方ペルチェ素子(2)と、後方ペルチェ素子(2)を冷却する水冷手段(6,7,8)と、前方ペルチェ素子(1)を駆動する前方温度制御部(3)と、後方ペルチェ素子(2)の高温側温度が外気温度よりも高温になるように後方ペルチェ素子(2)を駆動する後方温度制御部(4)とを具備する。
【効果】後方ペルチェ素子(2)の高温側を経た冷却水は外気へ放熱し、外気から熱を受けないので、水冷手段(6,7,8)での消費電力を低減できる。前方ペルチェ素子(1)を駆動する前方温度制御部(3)と、後方ペルチェ素子(2)を駆動する後方温度制御部(4)とを独立に備えているので、前方ペルチェ素子(1)と後方ペルチェ素子(2)とを1個の温度制御部で駆動するよりも効率を向上でき、消費電力を低減できる。 (もっと読む)


【課題】 X線管装置の故障を防止したり、使用不能となる前にX線管装置を交換したりするとともに、X線管装置を入手するだけで、使用方法改善のための検討が行えるX線管装置及びそれを用いたX線装置を提供する。
【解決手段】 X線装置本体101に取り付けられ、フィラメント12から放射された熱電子をターゲット11の端面に衝突させることで、一次X線を筐体14の出射窓14aから出射するX線管装置10であって、X線装置本体101の制御部50と通信可能とする記憶部18を備え、記憶部18は、制御部50と通信することにより、フィラメント12の前回の使用終了日時情報、フィラメント12への通電時間情報、フィラメント12への通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶する。 (もっと読む)


【課題】X線吸収の少ない材質で構成される試料を、高分解能で撮影可能としたX線画像検査装置を提供する。
【解決手段】X線画像検査装置100は、10keV以下のKα特性X線を発生するX線ターゲット5を有する特性X線発生器10と、ペルチエ素子22により冷却される直接入射型冷却X線CCD検出器20と、を備える。特性X線発生器10とX線CCD検出器との間に配置された試料40を回転させ、試料40を透過したX線を検出することにより撮像する。X線ターゲット5は、原子番号が20から30までの金属で形成することができる。さらにクロム、銅、ニッケル、鉄のいずれか1つを選択することができる。 (もっと読む)


【課題】 エネルギー分散型X線分光器に用いられるシリコンドリフト型検出器においてバックグランドを低減する。
【解決手段】 X線検出素子1と電気接続するための電極端子板2とペルチェ素子3との間にペルチェ素子3を構成する材料の平均原子番号よりも原子番号の小さな元素を主成分とする第1遮蔽体5と、ペルチェ素子3を構成する材料よりも原子番号の大きな元素を主成分とする第2遮蔽体6を備えることにより、X線検出素子1を透過したX線によってペルチェ素子3から発生する二次X線がX線検出素子1に入射する量を減少させる。 (もっと読む)


【課題】簡素な構造でありながら空間分解能が高いX線解析装置を提供する。
【解決手段】測定物である単位セル18を保持する測定物保持機構20は、単位セル18の位置を調整可能な位置決めステージ30によって位置決めされ、且つ180°以上回転可能な回転台座74を有する回転ステージ68と、単位セル18を挟持する第1支持部材80及び第2支持部材82と、前記回転台座74と同期して回転動作することで単位セル18を第1支持部材80ごと回転動作させる回転用支持部材78と、支持軸100を介して第2支持部材82に押圧力を付与するエアシリンダ190と、支持軸100を回転自在に支持する軸受186と、エアシリンダ190が付与する押圧力を測定するロードセル188とを有する。この中、軸受186、エアシリンダ190及びロードセル188は回転しないように構成されている。 (もっと読む)


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