【課題】信頼性の高い放射線検出装置を提供する。
【解決手段】放射線検出装置１００は、半導体検出素子１０と、冷却素子２０と、第１温度監視部３０と、第２温度監視部４０と、制御部５０と、を含み、制御部５０は、設定温度を第１温度に設定し、検出素子温度情報Ｉ_１０に基づいて半導体検出素子１０が第１温度に維持されるように冷却素子２０を制御する第１温度維持処理と、冷却素子温度情報Ｉ_２０に基づいて、冷却素子２０の温度が第１閾値よりも高いか否かを判定する第１閾値判定処理と、第１温度維持処理の実行中に、第１閾値判定処理において冷却素子２０の温度を第１閾値よりも高いと判定した場合、設定温度を第１温度から第１温度よりも高い第２温度に変更し、検出素子温度情報Ｉ_１０に基づいて半導体検出素子１０が第２温度に維持されるように冷却素子２０を制御する第２温度維持処理と、を行う。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器等の被冷却物を冷却できない原因となる異常箇所を判定できる冷却装置を提供する。
【解決手段】筐体４１内に配置された被冷却物３２を設定目標温度に冷却する冷却装置４０であって、被冷却物３２の熱を吸熱する吸熱部５１と、吸熱部５１が吸熱した熱を排熱する排熱部５２と、回転羽根４２ｂが回転することで排熱部５２に向かって冷却風を送るファン４２と、被冷却物３２の温度を測定する被冷却物温度センサ４４と、吸熱部５１の温度を測定する吸熱部温度センサ４５と、被冷却物温度センサ４４からの温度情報に基づいて、被冷却物３２の温度が設定目標温度となるように、吸熱部５１が吸熱する熱量を調整する制御部とを備え、制御部は、回転検知センサ４６、被冷却物温度センサ４４及び吸熱部温度センサ４５からの情報に基づいて、被冷却物３２を冷却することができない原因となる異常箇所を判定する。 （もっと読む）

【課題】縞走査法を用いて被検体の位相微分画像を生成する放射線撮影装置において、格子の移動精度を向上させる。
【解決手段】Ｘ線源とＸ線画像検出器との間に第１の格子２１と第２の格子２２とが対向配置されている。走査機構は、第１の格子２１に対して第２の格子２２を、格子線に直交する方向（ｘ方向）に対して角θをなす方向に相対的に並進移動させ、第１の格子２１に対する第２の格子２２の相対位置を複数の走査位置に順に設定する。Ｘ線画像検出器は、各走査位置において、第２の格子２２により生成されるＧ２像を検出して画像データを生成する。位相微分画像生成部は、Ｘ線画像検出器により生成される複数の画像データに基づいて位相微分画像を生成する。第１及び第２の格子２１，２２に代えて、線源格子を上記方向に並進移動させてもよい。 （もっと読む）

【課題】微小試料の測定室への落下による装置の不具合と故障を、未然に防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】測定部に備えられた撮像装置７によって、試料３下部の透明な落下防止板１１を通して試料３の被測定部位を、例えば０．５秒に一回撮影する。この画像を画像記憶装置１６によって記憶し、画像比較装置１５直近の２つの画像を比較する画像に差がある場合は、表示装置１７に警報を表示するとともに、制御装置１４を介して落下防止板１１の動作を停止する。 （もっと読む）

【課題】線質の異なるＸ線が検出段階で干渉することを防止することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗを搬送路上で搬送する搬送部２と、搬送路上を搬送される被検査物に複数本のＸ線を照射するＸ線発生器９と、Ｘ線発生器９から照射され被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線発生器９とＸ線検出器１０との間に配置されて回転軸周りに高速回転し、Ｘ線を遮蔽する遮蔽部７１とＸ線を透過する透過部７２とが回転方向に交互に設けられ、回転軸を中心に高速回転することでＸ線発生器９からの複数本のＸ線を時間分離し、該複数本のＸ線の何れかを順次透過する回転板７０と、Ｘ線検出器１０の出力する検出データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 トールボット干渉法において、従来よりも回折格子及び遮蔽格子の移動の調整が容易で、かつ被検体に対して入射する光の入射方向の変化による位相像のぼけを抑制して縞走査法を行うことができる撮像装置を提供すること。
【解決手段】 撮像装置１は、光源からの発散光を回折することで干渉パターンを形成する回折格子３１０と、干渉パターンの一部を遮蔽する遮蔽格子４１０と、遮蔽格子を経た光を検出する検出器５１０と、回折格子３１０及び遮蔽格子４１０を移動させる移動手段１０１０と、を備え、移動手段１０１０は、回折格子３１０及び遮蔽格子４１０が相対移動しないように回折格子３１０及び遮蔽格子４１０を移動させることで、干渉パターン及び遮蔽格子４１０を相対移動させ、検出器５１０は、干渉パターン及び４１０遮蔽格子の相対移動に対応して、光を検出する。 （もっと読む）

【課題】円筒面変換処理と時間遅延積分処理との両方を同じ演算制御過程内で行うことを可能にすることにより、極めて分解能が高く、しかも強度の高い回折Ｘ線像を得ることができるＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ１７、メモリ２０等から成るコンピュータの外部にＤＳＰ（デジタルシグナルプロセッサ）から成る信号処理部２１を設置して成るＸ線回折装置１である。測定装置２はＸ線回折測定を行う。２次元ピクセル型検出器１２は複数のピクセルから出力されるデータ量の大きな２次元回折線データを高速通信線であるカメラリンクケーブル２４を通して信号処理部２１へ伝送する。信号処理部２１は送られてきた大量の回折線データに対して円筒面変換処理２６及び時間遅延積分処理２７を行い、処理結果の画像データを１ラインの行データごとにバス２３へ伝送する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】開始位置である第1開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置が、第２〜第１０開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置と同じである場合において、第1開始ポイント、その後の観察ポイント（ここでは縦・横の送り量）および第２〜第１０開始ポイントをそれぞれ設定して登録する。このように、第２〜第１０開始ポイントの後の残りの観察ポイントを登録せずとも、登録された第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントに基づいて、当該残りの観察ポイントを演算することが可能であり、必要である第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントのみを登録すれば、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】作業効率に優れ、かつ安全に試料測定を行える蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】試料Ｓ上の照射ポイントＰ１に放射線を照射する放射線源２と、Ｘ線検出器３と、試料と放射線源及びＸ線検出器とを相対的に移動可能な移動機構８と、筐体１０と、筐体の内外に試料を出入りさせる開口１０ａを開閉する扉２０と、照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構７と、測定した照射ポイントの高さに基づいて試料と、放射線源及びＸ線検出器との距離を調整する移動機構制御部９と、照射ポイントに可視光レーザを照射するレーザ部７と、扉が開状態の時、レーザ部を作動させて可視光レーザを照射させると共に、扉が閉状態の時、レーザ部を停止させるレーザ部作動制御部９と、扉が開状態の時、高さ測定機構を作動させて照射ポイントの高さを測定させる高さ測定機構作動制御部９と、を備えた蛍光Ｘ線分析装置１００である。 （もっと読む）

【課題】 特別な構成を設けることなくＸ線曝射の開始及び停止において生じる遅延時間を簡易で安価に測定する技術を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を曝射してＸ線画像を取得するＸ線撮影装置は、Ｘ線を出力する出力手段と、出力手段に制御信号を供給してＸ線出力に係る動作を制御する制御手段と、出力されたＸ線を検出して電荷を蓄積する複数の検出素子を備えた検出手段と、複数の検出素子を一定の速度で順に走査して、各検出素子に蓄積された電荷を読み出す読出手段と、各検出素子の電荷を画素値に変換して画像を生成する生成手段と、生成した画像を解析して、制御信号の出力に対する、出力手段のＸ線出力に係る動作の遅延を測定する測定手段とを備える。出力手段は検出手段が備える各検出素子に対して一定強度のＸ線を出力し、測定手段は、画像において画素値の変化が存在する領域と存在しない領域との境界の位置と、走査の速度とに基づいて遅延を測定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を照射することによるＩＣ等の被検査物の破損を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷへのＸ線の累積照射量を測定もしくは推定して記録するＸ線累積照射量記録手段を備えた構成とすることにより、例えば累積照射量があらかじめ設定している限界量に到達した時点で自動的にＸ線の照射を停止する等によって、検査自体による不良品の発生を防止し、良品に混入することを防止する。 （もっと読む）

【課題】複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界を一致させることができるＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法を提供すること。
【解決手段】搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器９と、被検査物Ｗの搬送方向に複数配置され、被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線ラインセンサと、Ｘ線ラインセンサからの検出信号が入力され、Ｘ線ラインセンサの間隔および被検査物Ｗの搬送速度に基づいて、搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサほどＸ線ラインセンサの検出信号を遅延させて出力する遅延部４４と、遅延部４４からの検出信号を合成して被検査物Ｗに対応する画像データとして出力する合成部４６と、合成部が出力する画像データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギー弁別ができ、かつ高エネルギーＸ線がパルスで発生しても、パイルアップが生じにくい高エネルギーＸ線のエネルギー弁別検査装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 被検査物６に向けて１ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線１ａを照射するＸ線発生装置１１と、被検査物を透過して入射する入射Ｘ線１をコンプトン散乱させる散乱体１２と、コンプトン散乱された散乱Ｘ線２の入射Ｘ線に対する散乱角を所定の範囲に制限する遮蔽体１３と、遮蔽体で制限された散乱Ｘ線のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料表面のスピン状態分布を高精度に分析するための電子スピン分析器を提供する。
【解決手段】試料Ｗから放出される二次電子を入射方向に対して横方向に走査する走査偏向器５ａ、５ｂを通してパルス化された二次電子を放出するパルスゲートユニット４と、パルスゲートユニット４から出る二次電子を加速させる加速ユニット７と、加速ユニット７から出た二次電子を照射するターゲット８と、ターゲット８の周囲に配置される電子スピン検出器１５ａ〜１５ｄと、電子スピン検出器１５ａ〜１５ｄから出る二次電子を受けるコレクタ１０ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】大口径の配管を現地で非破壊検査ができる配管の断層撮影装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】配管検査装置本体１００は、放射線源１と２次元放射線検出器２を対向配置する支持装置３と、軸方向駆動機構１９と、支持装置３を介して、放射線源１と２次元放射線検出器２を、配管横方向に並進移動させる横方向駆動機構１７，１８を備えている。制御コンソール２３において、軸方向駆動機構１９による並進走査の距離を設定するとともに、横方向駆動機構１７，１８の並進移動の横方向最大移動距離を設定する。また、横方向駆動機構１７，１８による配管横方向の並進移動の間隔を、２次元放射線検出器２の配管横方向の幅と、放射線源１と２次元放射線検出器２間の距離と、放射線源１と配管１５の放射線源１側表面までの所定距離とにもとづいて決定する。 （もっと読む）

【課題】雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを利用可能な蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線管（Ｘ線照射部）５１からの一次Ｘ線とＸ線検出器（検出部）５２が検出する蛍光Ｘ線とが通過する測定室（内部空間）３１内を特定のガスの雰囲気にした上で蛍光Ｘ線分析を行う。測定室３１へガスを供給する配管１の途中に、ヘリウム用圧力調整器２１と窒素用圧力調整器２２とを並列に備え、各圧力調整器は、ガスの種類に応じた圧力に調整してあり、ガスを測定室３１へ供給する際には、ガスの経路を、ガスの種類に対応する圧力調整器を通過するように切換弁（経路切換手段）２６で切り換える。配管１の殆どの部分を共通に使用しながら、雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを使用することができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線強度分布のデータ点の間隔が波長に対して一定となる平板分光結晶型のＸ線分光器の制御方法及び該制御方法を用いた平板分光結晶型Ｘ線分光器を提供する。
【解決手段】マルチキャピラリＸ線レンズ７、平板型分光結晶８、Ｘ線検出器６から成る従来の構成の平板分光結晶型Ｘ線分光器に対し、平板型分光結晶８及びＸ線検出器６の図示しない駆動部を制御する駆動制御部２６を設ける。駆動制御部２６は平板型分光結晶８及びＸ線検出器６の回転速度を時々刻々と変化させるため、一定の計数時間で計数部２３から出力されるＸ線強度の波長間隔を一定にすることができる。 （もっと読む）

【課題】マッピング測定を行う全反射蛍光Ｘ線分析装置において、正確さを損なうことなくより短時間に測定強度の分布を求められる装置を提供する。
【解決手段】以下のように動作する制御手段２４を備える。試料台２よりも大径の円板状の試料１について、試料台２に同心に載置されてたわんだ状態での試料表面１ａを円錐台の上面と側面等で近似することにより、縦断面における試料表面１ａの傾きを半径方向の距離の関数として求め、各測定点に対応するステージ座標に基づいて、各測定点を通る試料１の半径と平面視した１次Ｘ線３とのなすずれ角度δを算出し、前記ステージ座標および前記関数ならびに前記ずれ角度δに基づいて、各測定点における１次Ｘ線方向についての試料表面１ａの傾きを算出してステージ角度の補正値とし、その補正値を用いて各測定点で１次Ｘ線３の入射角度αが適切になるようにステージ角度φを調整する。 （もっと読む）

【課題】保護対象に作用する磁場の変化を簡単な構成で確実に抑えることが可能な磁場変化抑制機能付き電子機器システムを提供する。
【解決手段】試料分析システム１００は、磁場を形成する超電導マグネット２に対してその磁場の影響を受ける位置に設置される保護対象としての分析装置１と、この分析装置１に作用する磁場の変化を抑える磁場変化抑制装置３とを備えている。磁場変化抑制装置３は、分析装置１を通過する超電導マグネット２からの漏れ磁場２１の磁束を囲むように分析装置１の近傍に配置されて、漏れ磁場２１が変化することに起因してその変化を打消す向きの補正磁場４１ａ，４１ｂを分析装置１に作用させるような誘導電流を発生させる補正コイル４ａ，４ｂを含んでいる。そして、補正コイル４ａ，４ｂは、漏れ磁場２１の磁束を囲むように巻回された超電導線材を有する超電導コイルである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線フラットパネル検出器を用いたＸ線検査装置において、クラスタ状の欠陥についても補完処理を行い、しかも、その補完処理により擬似的な像が生じても、オペレータによる良／不良判定に誤りが生じることを防止することができ、ひいては長期にわたってＸ線フラットパネル検出器を使用することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線フラットパネル検出器２の欠陥画素を抽出し、その欠陥画素の出力データを周囲の画素の出力データを用いて補完して表示器に表示する欠陥画素補完手段１３，１５を備えるとともに、その欠陥画素補完手段による補完の対象となった画素を、表示器１３の画面上で報知する補完対象画素報知手段を設けることで、欠陥画素の位置情報と、補完後の像の変化から、検査に影響を与えるか否かをユーザが判断できるようにする。 （もっと読む）