【課題】等価膜校正時に測定セルの上下ブロック間に校正用具を手作業で配置するときに、校正用具が濾紙に接触することがなく、濾紙の位置が変化して等価膜校正の再現性が悪くなることを防止することができるダスト計を提供する。
【解決手段】開閉可能な上ブロック１０２、下ブロック１０４を有するとともに、内部にガス流路１０６及びβ線照射路が形成され、ガス流路を流れる気相中のダストを上下ブロックで挟持した濾紙１０８上に吸引捕集する測定セル１００を備えたダスト計において、上記測定セル１００の下ブロックの上面の濾紙が配置される部分を含む領域に、深さが濾紙の厚さより大きい凹部１１８を形成し、濾紙が上記凹部１１８の底面に接触するようにする。 （もっと読む）

【課題】車両を持ち上げた際に枠体構造物が浮き上がることを防止し、かつ、安定的な走行を行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】車両１００が内部を通過できる金属製の枠体構造物２と、枠体構造物２に軸支されて地面に敷設される２本の軌条上を走行するための車輪１００ａと、車輪１００ａに回転駆動力を付与する走行モータ２２と、枠体構造物２において、互いに対向して装着された一対の昇降部材７と、昇降部材７にそれぞれ設置されており、互いに対向する側に張り出す車両把持部材５とを備え、車両把持部材５で車両１００の車輪３を保持しつつ昇降部材７を上昇させて車両１００の車輪１００ａを持ち上げた状態で車両１００を搬送する搬送装置１であって、枠体構造物２に軸支されて車輪１００ａに従動する補助輪６と、枠体構造物２における補助輪６を軸支する部分の上部において、昇降部材７の上下動を行う昇降用アクチュエータ８とを備える。 （もっと読む）

【課題】連続的に流れてくるシート等の被検査物の内部検査を行うことができ、しかも、搬送中にシートが上下しても、あるいはＸ線透過方向への厚みが大きな被検査物でも、解像度が低下することがなく、高い感度でのＸ線検出が可能で、更には装置の取扱いが容易で安定した運用を実現できるＸ線ラインセンサを提供する。
【解決手段】Ｘ線の入射により蛍光を発生する材料からなる光変換部材２と、各一端部がそれぞれ光変換部材２に臨むように直線状に配列され、他端部は２次元状に束ねられた光ファイバ束３と、その光ファイバ束の他端部からの出射光を増強する光増強手段４と、その光増強手段４からの出射光を撮像する撮像手段６を備えた構成とすることで、単純に１ライン状に光ファイバを並べても光増強手段４の作用によって十分な光量を得ることを可能とし、撮像感度を高いものとする。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ 線分析装置において高精度な分析結果を得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板を酸蒸気に暴露する工程と、酸蒸気に暴露された前記半導体基板の表面の不純物を酸溶液で走査回収する工程と、前記走査回収した酸溶液を前記半導体基板上で濃縮乾燥させ濃縮乾燥物に変える工程と、前記濃縮乾燥物を全反射蛍光Ｘ線分析で測定し第一の測定値を得る工程と、前記半導体基板を酸蒸気に暴露する工程の後に、前記半導体基板上で前記濃縮乾燥物の位置とは異なる位置を全反射蛍光Ｘ線分析で測定し第二の測定値を得る工程と、前記第二の測定値を用いて前記第一の測定値の精度の確認を行う工程とにより半導体基板の分析を行う方法。 （もっと読む）

【課題】試料表面に一次イオンビームを照射して試料表面を除去しつつ、試料の深さ方向の分析を行うイオンビーム分析方法において、試料表面の汚染が少ない帯電防止方法を提供する。
【手段】試料１０表面に収束イオンビーム２４ａを照射して、試料１０表面に形成された絶縁層１２を貫通し、底面に試料１０の導電性基板１１を表出する凹部１０ａを形成する工程と、凹部１０ａの内部に金属イオンビーム２３ａを照射しつつ、同時に試料１０表面に一次イオンビーム２２ａを照射することを特徴とするイオンビーム分析方法。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に試料の薄片部を形成することができる加工方法を提供する。
【解決手段】本実施形態の加工方法は、平坦化工程（ステップＳ１）および薄片部形成工程（ステップＳ２）を順に行うことで、試料１Ｂの薄片部１３を形成することができる。薄片部形成工程（ステップＳ２）では、試料の平坦面１１の下部に対して、集束イオンビーム装置から出力された集束イオンビームが平坦面１１に平行な方向に照射される。集束イオンビームの照射により試料がスパッタエッチングされて、平坦面１１に対向する対向面１２が形成される。これにより、平坦面１１と対向面１２とに挟まれた薄片部１３を有する試料１Ｂが作成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１回のＸ線の照射で測定試料ＳＭのより広い面積を分析し得るＸ線分析装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、電子ビームＥＢを生成する電子ビーム生成部１と、電子ビーム生成部１によって生成された電子ビームＥＢの進行方向に沿って配置された複数の４重極レンズ２と、複数の４重極レンズ２を通過して射出された電子ビームＥＢと衝突することによってＸ線を生成するＸ線ターゲット３と、Ｘ線ターゲット３によって生成されたＸ線から所定のエネルギーを持つＸ線を抽出して測定試料ＳＭに照射するＸ線分光結晶４と、Ｘ線分光結晶４によって抽出され測定試料ＳＭを透過した透過Ｘ線を検出するＸ線検出部５とを備え、複数の４重極レンズ２は、電子ビームＥＢを互いに同じ第１方向に発散するとともに互いに同じ第２方向に収束する。 （もっと読む）

【課題】分析チャンバ内の雰囲気をヘリウムガスで置換する際のヘリウムガス消費量を低減可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】
蛍光Ｘ線分析装置において、試料Ｓに一次Ｘ線を照射するＸ線源１２と、前記一次Ｘ線の照射により試料Ｓから放出される蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器１３と、前記一次Ｘ線と蛍光Ｘ線の光路を内包する分析チャンバ１０と、分析チャンバ１０内にヘリウムガスを導入するヘリウムガス導入手段１７と、分析チャンバ１０内のヘリウムガス濃度を測定するヘリウムガス濃度測定手段１８と、ヘリウムガス濃度測定手段１８によるヘリウムガス濃度の測定結果に基づき、分析チャンバ１０内のヘリウムガス濃度が予め定められた目標値となるようにヘリウムガス導入手段１７を制御する制御手段３１とを設ける。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出領域を挟んで搬送方向の上流側と下流側に搬送コンベア分割されている場合でも、上流側コンベアと下流側コンベアとの隙間から落下する被検査物からの落下物がＸ線検出領域内に侵入しないＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｗを所定の搬送方向Ｙに搬送する搬送コンベア８と、搬送コンベア８により搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部２１と、被検査物Ｗを透過したＸ線を検出するＸ線検出部２２とを備え、搬送コンベア８がＸ線検出領域Ａを挟んで搬送方向Ｙの上流側（上流側コンベア８ａ）と下流側（下流側コンベア８ｂ）とに分割されたＸ線異物検出装置１において、Ｘ線発生部２１によるＸ線照射中はＸ線検出領域Ａ内に被検査物Ｗからの落下物Ｄが侵入しないように、Ｘ線検出領域Ａに向けて常にエアーを吹き付けるエアー吹付け手段３１を備えた。 （もっと読む）

【課題】容易に精度良く鋼種判定を行うことができる断面略円形の鋼材の鋼種判定方法を提供する。
【解決手段】鋼種判定方法は、Ｘ線を照射する照射部２１及び蛍光Ｘ線を検出する検出部２２を具備した測定部２を、予め定めた分析必要時間だけ鋼管４の外周面に沿って鋼管４に対して相対移動させながら照射部２１からＸ線を鋼管４に照射すると共に鋼管４から放射される蛍光Ｘ線を検出部２２によって検出する検出ステップと、検出ステップによって検出された蛍光Ｘ線に基づいて鋼管４の組成を算出する算出ステップと、算出ステップによって算出された組成によって鋼管４の鋼種を判定する判定ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】屋外に配置されている構造物の表面に付着している物質の正確な量がより簡便に分析できるようにする。
【解決手段】ステップＳ１０１で、屋外に配置された測定対象となる構造物の表面に直接Ｘ線を照射する。次に、ステップＳ１０２で、元素の蛍光Ｘ線測定を行い元素の第１蛍光Ｘ線強度を得る。次に、ステップＳ１０３、Ｘ線の吸収量が既知の基材に対象となる元素が既知の含有量で含まれている内標準試料を構造物に重ねた状態で、内標準試料を通して構造物の表面にＸ線を照射する。次に、ステップＳ１０４で、元素の蛍光Ｘ線測定を行い上記元素の第２蛍光Ｘ線強度を得る。 （もっと読む）

【課題】被検査物に突き刺さることを確実に防いでＸ線が漏洩する危険性を更に低減し、簡素な構成とすることで低コストとなるＸ線遮蔽カーテンを備えること。
【解決手段】筐体３と、筐体３内の搬送路に被検査物を搬送するベルトコンベア８と、ベルトコンベア８により搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生部１１と、被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出部１２と、搬送路にベルトコンベア８の搬送方向Ｙと直交して設けられた水平軸２２と、水平軸２２にその基端側が取り付けられることでこの水平軸２２に揺動可能に吊り下げられたカーテン片２３が、水平軸２２に複数の短冊状に設けられたＸ線遮蔽カーテン２０とを備えたＸ線異物検出装置１において、Ｘ線遮蔽カーテン２０を、カーテン片２３が鉛直よりも搬送方向Ｙの下流側に揺動可能に設けるとともに、搬送方向Ｙの上流側への揺動を規制する構成とした。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単であり、グローブを着けての作業も行い易く、電極と外部電位との電気的な接続を安定的にとることができる電池構造体を提供する。
【解決手段】電界物質を含んでいるセパレータ７の両面に配置された正極材８及び負極材９と、正極材８に接触している正極側シール部材３ｂと、負極材９に接触している負極側シール部材３ａと、正極側シール部材３ｂに接触している正極側弾性部材４ｂと、負極側シール部材３ａに接触している負極側弾性部材４ａと、正極側弾性部材４ｂと負極側弾性部材４ａとを互いに近づく方向へ押し付ける弾性部材押圧機構５ａ、５ｂ，１８、２２とを有するＸ線測定用電池構造体１である。シール部材３ｂ，３ａは耐食性を有しており、シール部材３ｂ，３ａ及び弾性部材４ｂ，４ａはＸ線を通過させる部分を有しており、弾性部材押圧機構５ｂ、５ａ、１８、２２はＸ線経路を妨げない。 （もっと読む）

【課題】アッテネータのみを移動させるだけの簡単な構造でコストダウンを図り、試料の測定領域の面積を可変して精度のよい分析ができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線源１と、１次Ｘ線２が照射された試料Ｓから発生する２次Ｘ線４を検出する検出手段９と、試料を回転させる試料回転手段１０とを備え、試料を回転させながら試料から発生する２次Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線分析装置であって、試料と検出手段９との間に配置され、所定の半径の仮想円３０内に２次Ｘ線を通過させる複数の絞り孔３２を有し、仮想円３０を通して検出手段９が見込む試料領域から発生する２次Ｘ線４を複数の絞り孔３２によって通過させるアッテネータ３と、アッテネータ３を移動させるアッテネータ移動手段１１とを備え、アッテネータ３の移動距離Ｘに応じて、２次Ｘ線４が検出される試料の測定領域の面積が可変である。 （もっと読む）

【課題】二次イオン質量分析法によるシリコン母材上のシリコン酸化膜中の窒素の深さ方向濃度分布測定においては、既知の濃度の標準試料によってその信号強度との比較から、測定試料における窒素濃度の定量を行っている。窒素イオンに係わる分子イオンの検出信号は、試料測定時に試料室内真空度や試料最表面に汚染状態によって変化するため、測定試料が変わるたびに、毎回その状態における標準試料を測定して、それとの比較で定量を行う必要があり、時間と手間が非常にかかっていた。
【解決手段】予め、例えば二次イオン質量分析におけるＳｉＯ^＋の検出信号強度の一次イオン照射時間依存性において、信号強度極小値を示す照射時間と測定試料のピーク濃度との関係から、真空度や汚染に依存しない検量線を導出し、それから測定試料のピーク濃度を定量する。これにより短時間で従来法と同等の定量化された深さ方向濃度分布を得ることが可能となった。 （もっと読む）

【課題】広いエネルギー帯にわたってぼけの少ない放射線検出画像を取得すること。
【解決手段】この放射線検出器３は、対象物Ａを透過した放射線の入射に応じてシンチレーション光を発生させる平板状の波長変換板６と、波長変換板６を透過した放射線を検出する直接変換型検出器５と、波長変換板６と直接変換型検出器５との間に配置され、シンチレーション光の直接変換型検出器５への入射を防止する遮光板７とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象試料中に含まれる分析対象元素が極めて微量であっても、その分析対象元素の構造解析を従来よりも正確に行うことができる構造解析方法を提供する。
【解決手段】分析対象元素に関するＸ線吸収スペクトルを得るための標準試料と、測定対象試料に含まれる分析対象元素の０．１〜１０倍の分析対象元素をマトリックス中に含む２次試料とを用意する。次いで、標準試料のＸ線吸収スペクトル（標準スペクトル）と、２次試料のＸ線吸収スペクトル（２次スペクトル）とを比較することで、測定対象試料における分析対象元素に関連する蛍光Ｘ線のエネルギー範囲である関心領域を決定する。そして、その決定した関心領域に基づいて測定対象試料のＸ線吸収スペクトルである目的スペクトルを求める。 （もっと読む）

【課題】広いエネルギー帯にわたってノイズの低減された放射線検出画像を取得すること。
【解決手段】この放射線画像取得装置１は、放射線を出射する放射線源２と、放射線源２から出射され、対象物Ａを透過した放射線の入射に応じて、シンチレーション光Ｌ_１，Ｌ_２を発生させる平板状の波長変換板３と、波長変換板３の放射線の入射側の面３ａから放射されるシンチレーション光Ｌ_１を導光するミラー６ａ，６ｂと、波長変換板３の入射側の面３ａとは反対側の面３ｂから放射されるシンチレーション光Ｌ_２を導光するミラー７ａ，７ｂと、ミラー６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂによって導光されたそれぞれのシンチレーション光Ｌ_１，Ｌ_２を撮像する光検出器４と、ミラー６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂによって導光されたそれぞれのシンチレーション光Ｌ_１，Ｌ_２を光検出器４に向けて導光するミラー８とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｆｅ化合物が形成されたＦｅ基材料において、Ｆｅ化合物中の元素比率が不明な場合でも非破壊で材料上のＦｅ化合物を確実に定量する。
【解決手段】Ｆｅ基材料１のＭｎ及びＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を測定する第１ステップと、Ｆｅ化合物２が表面に形成されたＦｅ基材料１のＭｎ及びＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を測定する第２ステップと、第１ステップで測定したＭｎ元素の蛍光Ｘ線強度と第２ステップで測定したＭｎ元素の蛍光Ｘ線強度からＦｅ化合物２によるＭｎ元素の減衰比を算出する第３ステップと、前記第３ステップで算出されたＭｎ元素の減衰比からＦｅ化合物２によるＦｅ元素の減衰比を算出する第４ステップと、前記第４ステップで算出されたＦｅ元素の減衰比から前記Ｆｅ化合物２から放出されたＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を求める第５ステップと、前記第５ステップで求められたＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度から前記Ｆｅ化合物を定量する第６ステップを有する。 （もっと読む）

【課題】放射光装置（高エネルギー電子蓄積リング）等の大がかりな装置を用いることなく、比較的簡易な連続Ｘ線光源を用い、被測定物に含有される各元素の平均密度、全量等を非破壊で測定することのできる定量分析方法、及び、そのような定量分析方法を実施することのできる元素別定量分析装置を提供する。
【解決手段】炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性の軽元素からなり、冷陰極電子源から放出された電子が入射面に入射され、入射方向に対して前方にＸ線を放出するターゲット、及び、該ターゲットで発生したＸ線以外のＸ線を遮蔽する遮蔽部材を具備する連続Ｘ線光源と、エネルギー弁別型検出器とを用いて、被測定物のＸ線吸収スペクトルにおける含有各元素の吸収端ジャンプ量を求め、あらかじめ標準試料等で決定した元素別の質量吸収端ジャンプ係数と前記含有各元素の吸収端ジャンプ量に基づき、被測定物に含有される各元素について同時にＸ線透過経路上の面密度を測定することを特徴とする。 （もっと読む）