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Fターム[2G001KA03]の内容

放射線を利用した材料分析 (46,695) | 分析の目的、用途、応用、志向 (3,508) | 欠陥;損傷 (1,042)

Fターム[2G001KA03]に分類される特許

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【課題】小型でリップルが少なく、効率的にX線を発生できるようにする。
【解決手段】X線発生器20の電源部22は、商用交流電源を、整流・平滑し、その平滑出力をスイッチングして交流化し、これを昇圧トランスで昇圧して、位相が異なる複数相の交流を出力する多相型インバータ23と、コンデンサとダイオードの多段接続により構成され、多相型インバータ23から出力される各交流をその段数に応じた高電圧までそれぞれ昇圧・整流する複数のコッククロフト回路31、31と、それらの複数のコッククロフト回路31、31の出力を並列に重畳してX線管21に与える並列重畳回路35とを有している。 (もっと読む)


【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 (もっと読む)


【課題】X線検査装置において、検査対象領域を広くしつつ、対象物を確実に保持できるようにする。
【解決手段】X線検査装置において、クランプ50は上方から基板10を支持する。クランプ50の上記端面は傾斜を有する。これにより、クランプ50に確実に基板10を支持させつつ、X線源2から放射されるX線(符号XRで示されている)の基板10による透過光がクランプ50によって遮蔽されることを極力回避できる。 (もっと読む)


【課題】X線画像を用いて被検査対象を検査する場合に、被検査対象における検査領域を精度よく設定することが可能なX線検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物の検査を実行するX線検査装置において、被検査物における検査領域を設定する検査領域設定方法は、被検査物の検査対象を含む第1の領域の可視画像を撮像するステップ(S104)と、被検査物の検査対象を含む第2の領域に対して、X線画像を撮像するステップ(S112)と、第1の領域についての可視画像と第2の領域についてのX線画像を、位置および倍率をそろえて、検査対象の位置を示すマークとともに同時に表示するステップ(S118)と、表示した検査対象のマークの位置およびX線画像における検査対象の位置について確認の入力を受け付け、検査領域を確定するステップ(S120)とを備える。 (もっと読む)


【課題】抗張体の周囲をも含めて劣化を判断することが可能な乗客コンベアハンドレールの検査装置を提供する。
【解決手段】乗客コンベアのハンドレールを透写することによって生成された透写画像に基づいてハンドレールを検査する乗客コンベアハンドレールの検査装置であって、輝度を示す情報を各画素として生成された透写画像を取得する画像データ入力部21と、輝度と色とが対応付けられた色変換テーブルに基づき、透写画像を構成する各画素を色の情報に変換して色付け画像を生成する色付け処理部25と、色付け画像を構成する各画素の色に基づいてハンドレールの劣化を判断する劣化判定部28とを含む。 (もっと読む)


【課題】表示パターンのフレームサンプリングから得られた撮像画像(シグナルイメージ)の収縮、膨張等のフレーム間の幅に不均等な部分が生じた場合であっても、各ラインの座標位置を正確に算出し、液晶パネルのピクセル位置を正確に算出する。
【解決手段】表示パターンを撮像して得られる撮像画像(シグナルイメージ)において、実検出ラインの座標位置を検出した後、次に座標位置を検出する実検出ラインを求める際に、前の実検出ラインの信号強度パターンと比較することによってラインの良・不良の検出、および、不良ラインの収縮又は膨張の判定を行い、次の実検出ラインを求める。ラインの良・不良を検出し、不良ラインの収縮・膨張の判定することによって、ライン幅にばらつきが生じた場合であっても、各ラインの座標位置を正確に算出する。 (もっと読む)


【課題】自動欠陥分類機能では、装置毎に適切な処理パラメータが異なるが同一の工程において複数の装置が運用される場合でも、それぞれの分類レシピにおける分類クラスに差が発生しないようにする。
【解決手段】同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像から同種の欠陥画像を特定する対応欠陥特定部209、同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像を変換し、比較可能な類似した画像に変換する画像変換部212、同一の工程の分類レシピについて、同一の分類クラスを定義し、特定された同種の欠陥画像をそれぞれの対応する分類レシピ内の分類クラスに登録するレシピ更新部211を備えた。 (もっと読む)


【課題】安全性の向上や装置の小型化等を図ることのできる錠剤検査装置及びPTP包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置17は、その外郭をなす外防壁37を備えると共に、当該外防壁37の内部において、PTPフィルム6のポケット部2をポケット受け孔部57に嵌め込みつつ当該PTPフィルム6の搬送に伴い回転する回転ローラ38と、当該回転ローラ38の外側に配置されかつ回転ローラ38の最上部にくるポケット受け孔部57の方に向けX線を照射するX線源41と、当該X線源41に対向して回転ローラ38の内側に配置されかつ前記ポケット受け孔部57に嵌め込まれたポケット部2を透過してくるX線を撮像するX線カメラ42とを備え、X線カメラ42により撮像された画像データを基に錠剤5の検査を行う。 (もっと読む)


【課題】断層撮影の精度(分解能)を低下させることなく、1回の断層撮影に要する時間を大幅に短縮(1秒程度以下に)することができ、電子部品の実装状態の検査を高速かつ高精度に行うことができ、しかも安価に構成できるX線検査装置を提供すること。
【解決手段】X線発生器12を、X線放射面12aを試料の載置面と平行に維持したまま、かつX線放射面12a上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸L1を中心に長さrを径として円形移動させる円形移動機構25と、X線検出器11を、X線受光面Iを載置面と平行に維持したまま、かつX線受光面I上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸L1を中心にして円形移動させる円形移動機構24とが、モータM11からの動力を伝達する動力伝達機構26を介して機械的に連結され、動力伝達機構26の駆動により、X線検出器11とX線発生器12との円形移動を同期させる。 (もっと読む)


【課題】
ディスクブレーキやドラムブレーキに使用される摩擦材において、摩擦材内部の気孔の状態や亀裂による空隙の有無を迅速、正確、且つ容易に観察することができる摩擦材の分析方法を提供すること。
【解決手段】
摩擦材の成分に含まれず、且つX線に対する感度の高い元素である塩素を含む物質を含浸させ、X線分析装置を用いて摩擦材内部に侵入した塩素を検出し、検出した塩素の分布状態を分析する。
前記塩素を含む物質は、4,4’-メチレンビス(2-クロロアニリン)が好ましい。
摩擦材の内部構造を分析することにより、要求される摩擦特性や振動特性を得るための好適な製造条件を求めることができ、所望の特性の摩擦材を容易に製造することができる。 (もっと読む)


【課題】探傷開始位置の特定が容易であって且つ探傷不能領域が低減された乗客コンベアハンドレールの検査方法を提供すること。
【解決手段】ハンドレール2の内部に設けられたスチールコード20の損傷をX線撮影により検査する検査方法であって、X線撮影において透過不能な材料で構成された帯状のスタートマーカー9を、帯の長手方向がハンドレール2の搬送方向に対して傾いた状態でハンドレール2に取り付け、X線撮影によって生成された画像においてスタートマーカー9によって遮蔽された範囲を検知することにより基準位置を認識し、スチールコード20の損傷を検査する。 (もっと読む)


【課題】移送機構用長尺部材のスチールコード、例えば、乗客コンベアのハンドレールに内蔵されるスチールコードの状態からハンドレールの品質を自動的に評価する。
【解決手段】乗客コンベアのハンドレールをX線で撮影するX線撮影部と、前記X線撮影部で撮影された画像を処理して、前記ハンドレールに内蔵されたスチールコードの撚りが素線化したスチールコードを検出し、前記ハンドレールの長手方向における前記スチールコードの素線発生箇所が所定の長さ以上継続する場合には、前記ハンドレールの品質を劣化と判定する画像処理部とを有する。 (もっと読む)


【課題】正確な検査を短時間で行うことができる欠陥検出装置、欠陥検出方法、及び欠陥検出プログラムを提供する。
【解決手段】配線を有する試料30に対して電荷を与えることで、与えられた電荷に応じて輝度が変化する画像を、試料30の配線の方向における異なる箇所で取得する画像取得装置10と、試料の画像から、欠陥箇所に対応する輝度の不連続点の位置を求める不連続点特定部23と、複数枚の試料の画像中における輝度の不連続点の位置を比較して、複数枚の画像を取得した箇所の間に、欠陥が存在するか否かを判定する判定部24と、を備える。 (もっと読む)


【課題】異物検出の閾値を高感度な状態に保ち、異物の誤検出を防ぎつつ高精度に検出することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査物WにX線を照射して検出したX線透過量を表すX線画像に対して、複数の画像処理フィルタを組み合わせてなる複数の異物強調処理を用いてそれぞれ並列に画像処理を行う画像処理部50と、複数の異物強調処理を施した結果の濃淡画像から、それぞれ所定の閾値を用いて異物候補を検出する複数の異物候補検出部61〜64と、X線画像上の同じ箇所で複数の異物候補検出部61〜64によって異物候補が検出され、かつ、それらの異物候補が予め設定された異物の有無を判定するための複数の異物強調処理に対する異物候補の組合せであるときに、被検査物W中に異物が有ると判定する異物判定部44と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】微細パターンのマスクを高感度で検査できるマスク検査装置及びマスク検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、減圧容器10と、保持部15と、光照射部20と、検出部50と、電極30と、制御部60と、を備えマスク検査装置110が提供される。前記保持部15は、前記減圧容器10の中に設けられ、マスク70を保持する。前記光照射部20は、前記保持部15に保持された前記マスク70の主面に光を照射する。前記検出部50は、前記減圧容器10の中に設けられ、前記マスク70の前記主面に前記光が照射されて発生した電子を検出する。前記電極30は、前記保持部15と前記検出部50との間に設けられ、前記保持部15から前記検出部50に向かう方向に前記電子を導く。前記制御部60は、前記検出部50で検出された前記電子の検出結果を基準となる値と比較する。 (もっと読む)


【課題】サンプリング不良により生じる欠陥の誤検出を解消する。
【解決手段】ピクセルに対して異なる電圧の検査信号を二次元で互いに交互に印加する際に得られるピクセルの信号強度パターンの特徴を利用し、検査対象のピクセルに対してy方向で隣接するピクセルの信号強度と比較対照することによって、サンプリング不良によるx方向のサンプリング点の行が欠如した場合であっても、サンプリング行に含まれるピクセルについて欠陥検出を行う。検査対象のピクセルに対してy方向に隣接するピクセルの信号強度との比較対照において、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がy方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と異なる信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定し、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がy方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と同じ信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定する。 (もっと読む)


【課題】テストピースを被検査物が流れるパイプの中に投入しなくても、簡単にX線の検
出感度を調整することができるX線異物検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】パイプ内を流れる被検査物にX線を照射し、透過したX線を被検査物の流れ
方向と直交する方向に配置されたラインセンサでもって検出するその検出領域のパイプの
外側に、被検査物の流れ方向に沿って延びるテスト用の線材を設け、その線材を被検査物
の流れ方向と直行する方向に前記ラインセンサと平行を保って移動させるようにする。 (もっと読む)


【課題】2つのX線画像上の被検査物の大きさの違いを、異物検出性能の低下が無視できる程度に低減することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】X線管32をその鉛直軸上の位置を調整可能に支持する支持機構71と、第1のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第1の波形と第2のX線画像データにおける被検査物Wの幅方向の波形である第2の波形とを取得して比較し、第2の波形の幅が第1の波形の幅より大きいときは、X線管32の調整方向が鉛直軸上方であると判定するとともに、第2の波形の幅が第1の波形の幅より小さいときは、X線管32の調整方向が鉛直軸下方であると判定する調整判定部81と、調整判定部81により判定された調整方向を表示する表示器5と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】簡単に製造することができ、X線CT装置から得られる投影イメージにおいて、測定対象物の内部形状を含む形状寸法を精度良く校正することができ、かつ、該X線CT装置における内部形状を含む形状測定性能を効果的に評価することができるX線CT装置の校正及び評価用の標準ゲージ、並びに該X線CT用の標準ゲージを用いたX線CT装置の校正方法及び評価方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のX線CT装置の校正及び評価用の標準ゲージ10は、ベリリウム成型体11と、該ベリリウム成型体11を内包し、X線CT装置から得られる投影イメージにおいてベリリウム成型体11と異なるコントラストで示される外装体12とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】比較的簡便に検査作業が行え、しかも、対象物を運んでいるベルトコンベアであっても、ベルトの良否を判定できるベルトコンベアのベルトの検査装置を提供する。
【解決手段】ベルトコンベアに使用されているリターン側のベルト12の上側及び下側のいずれか一方側に配置されたX線発生器13と、ベルト12の他方側に配置され、X線発生器13からの透過X線を受けるX線ラインセンサー14と、X線ラインセンサー14の出力によって、ベルト12を通過したX線の透過量とその位置からベルト12のX線透過画像を作る制御手段16とを有する。 (もっと読む)


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