【課題】設計データを制約条件として用い単調なパターンでも精度の良い連結画像を生成することを目的とする。設計データと画像データとのマッチングで大まかに基準位置を求めて、設計データとのズレ量を検索範囲として、隣接画像間でのマッチングを行い高速で精度の良い連結画像を生成する。
【解決手段】本発明の画像生成方法は、走査型電子顕微鏡を用いて電子デバイスパターンを検査する画像生成方法であって、電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データを入力して記憶した設計データファイルと、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データと、前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとを用いて前記複数枚の分割画像データを１枚の画像に連結する画像連結手段とで構成される。 （もっと読む）

【課題】放射線検査装置の放射線源と放射線検出器とのアライメントについて、その装置の再組立て時に分解前のアライメントに極力合わせて再現する。
【解決手段】放射線源１０１と検出器１０３とが、被検体の配管２１５を挟んで対向した位置に配置され、放射線源１０１からの放射線が配管２１５を透過し、その透過放射線を検出器１０３にて検出する放射線検査装置において、放射線源１０１と検出器１０３間の距離を距離計測器１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃで計測し、この計測量から放射線源１０１と検出器１０３の相対位置を導出して、これを初期値とし、放射線検査装置を検査現場で再組立て時に前記距離の計測と同じ方法にて前記距離を再計測し、再計測による前記相対位置と前記初期値との差分量を導出し、その差分量に基づいて前記放射線源と前記検出器間の相対位置関係を位置調整機構１０５で調整する。 （もっと読む）

【課題】被検体内部の線状部の３次元座標を抽出する。
【解決手段】被検体の所定の方向と交差する複数の断層画像を得るステップと、複数の断層画像のうちの第１の断層画像上において、被検体内の線状部の断面に対応する第１の構成点を特定して、第１の構成点の３次元座標を得るステップと、第１の断層画像に対して所定の方向について隣接する第２の断層画像上において、被検体内の線状部の断面に対応する第２の構成点を特定して、第２の構成点の３次元座標を得るステップと、第１の断層画像内で特定した第１の構成点から、第２の断層画像内で特定した第２の構成点を結ぶベクトルを、線状部のベクトルとして特定するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】接合材による接合部が多層にわたり形成された電子部品を検査対象として複数のスライス画像の中から接合部の検査に最適な画像を自動で抽出することができる接合部の放射線検査装置、接合部の放射線検査方法、電子部品の生産装置を提供する。
【解決手段】はんだ接合部のＸ線検査装置３０のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、パワーモジュールＭｐを変位させながらＸ線を照射して受光器３２によってはんだ接合部についての複数のＸ線画像を撮像し、複数のＸ線画像から３次元再構成データを生成し、生成した３次元再構成データからパワーモジュールＭｐの接合面に沿った各層のスライス画像を抽出する。パーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、各層のスライス画像について輝度ヒストグラムの平均値を算出して、算出した輝度ヒストグラムの平均値が最大のスライス画像をはんだ接合部の状態の検査に最適な画像として抽出する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハに形成された半導体チップのメモリマット部の最周辺部まで高感度に欠陥判定できる検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】所定パターンがＸ方向，Ｙ方向ないしＸＹ両方向に所定のピッチで繰返し形成された回路パターンの形成領域を備えるダイの画像を取得して欠陥を判定する回路パターン検査装置において、前記取得された回路パターンの画像を記憶する画像メモリと、該画像メモリに記憶された画像を、当該画像データを前記Ｘ方向，前記Ｙ方向ないし前記ＸＹ両方向のいずれかの方向に加算平均して得られる加算平均画像と比較して差分画像を生成し、該差分画像の差分値が予め定められたしきい値より大きい領域を欠陥と判定するプロセッサエレメントと、を備える。 （もっと読む）

【課題】
既製のInfiniBand（Ｒ）制御を用いる画像分配制御部は、単一ＣＰＵ上のＯＳでバッファメモリ制御と分配処理を行うため、競合が発生し分配レイテンシが変動してしまい、半導体外観検査装置には適用不可であった。
【解決手段】
検査部と、検出部と、前記検出部で検出された反射光に基づく画像を処理して該被検査対象の表面を検査する処理部とを備えた半導体検査装置であって、前記処理部は、該画像を分配する画像分配制御部と前記画像分配制御部により分配された画像を処理する画像処理部とを備え、前記画像分配制御部は、該画像の入力画像量をカウントする画像バッファカウンタと、該画像に関する情報を格納する分配制御テーブルと、入力画像量と前記分配制御テーブルからの該画像に関する情報に基づき該画像の分配開始タイミングを決定する分配タイミング制御回路と、を有することを特徴とする半導体検査装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、エッジの変形、或いはコントラストの変動等に依らず、高精度にパターンマッチングを行うパターンマッチング方法，画像処理装置、及びコンピュータプログラムの提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、以下に設計データに基づいて形成されたテンプレートを用いて、画像上でパターンマッチングを実行するパターンマッチング方法、或いは装置であって、パターンの輪郭を定義する線分によって、区分けされる内側領域、及び／又は外側領域について、画像の特徴量を求め、当該特徴量が所定の条件を満たした位置をマッチング位置，マッチング位置候補、或いは誤ったマッチング位置と決定するパターンマッチング方法、及び装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検知性を有しつつ優れた強度を有するポリウレタン成形品を提供すること。
【解決手段】熱硬化性ポリウレタンとＸ線造影剤とを含有し、前記熱硬化性ポリウレタンと前記Ｘ線造影剤との合計量に占める前記Ｘ線造影剤の割合が２質量％以上６０質量％以下であることを特徴とする熱硬化性ポリウレタン組成物などを提供する。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する。
【解決手段】層状構造を有する被検体５の断面像を撮影するＣＴ装置であって、回転・昇降機構７とＸ線検出器３を制御して、第一の角度範囲で回転をさせつつ第一の角度間隔毎に検出された複数の透過像を第一のスキャンデータとして取り込んで記憶する第一のスキャン、および、第二の角度範囲で前記回転をさせつつ第一の角度間隔より小さな第二の角度間隔毎に検出された複数の透過像を第二のスキャンデータとして取り込んで記憶する第二のスキャンを実施するスキャン制御部９ｃと、第一のスキャンデータに基づいて、層面が放射線光軸Ｌと平行となる回転位置から±６０°内にあって平行となる回転位置を包含する第二の角度範囲を設定する角度範囲設定部９ｄと、少なくとも第二のスキャンデータを用いて被検体５の断層撮影面に平行な断面像を再構成する再構成部９ｅとを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、Ｘ線検査を安定させることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される物品ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介して検出する第１の領域ＡＲ１と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介さずに検出する第２の領域ＡＲ２とを有するラインセンサ４００と、検査テーブル７１１と同じ透過特性を有し、第２の領域ＡＲ２で検出されるＸ線の減衰を調整するＸ線減衰調整部４１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏出を防止しつつ、装置構成をコンパクト化して、非接触で電極シートの不純物や欠陥を検出することが可能となる、検査装置、検査方法、及び、電池の製造方法を提供する。
【解決手段】検査装置１０は、検査装置本体１１と、検査装置本体１１が載置された基台部１２と、検査装置本体１１の内部に収納されたＸ線発生器１５及び検出器１７と、検査装置本体１１に形成される開口部１１ａにおける検出器１７の側である上側と、Ｘ線発生器１５の側である下側と、のそれぞれに配設される遮蔽部材である、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１と、を備え、連続して搬送され、検査装置本体１１に挿通される電極シートＳに対して、Ｘ線発生器１５がＸ線ｒ１を照射し、電極シートＳを透過したＸ線ｒ１を検出器１７が検出することにより、電極シートＳの品質検査を行う。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンのサイズエラーの検出を可能とするパターン検査装置を提供する。
【解決手段】設計データに基づきパターンが形成された試料を撮像する画像取得部１０と、設計データから展開画像を生成する展開画像生成部２２と、展開画像を参照画像生成モデルに入力して参照画像を生成する参照画像生成部２４であって、モデルパラメータを被検査画像と参照画像との間で画素の階調値の差が最小化されるよう最適化する参照画像生成部と、参照画像の基準パターンの測定値と、被検査画像の基準パターンの測定値から求められた基準パターンの変換差を用いて、参照画像と被検査画像のいずれか一方の被検査パターンの測定値を補正し、補正された参照画像の被検査パターンの測定値と、被検査画像の被検査パターンの測定値とを比較し欠陥の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作により、所要の領域のパノラマ透視像を確実に得ることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】複数の部分画像を合成してパノラマ透視像を得る機能を備えるとともに、ステージ３上の被検査物Ｗを撮影する光学カメラ５を設け、その光学カメラ５による被検査物Ｗの外観像を表示器１５に表示し、その外観像上に、得るべきパノラマ透視像の領域を枠で指定することにより、ステージ３とＸ線発生装置１およびＸ線検出器２の相対位置を移動させる移動機構４を自動的に駆動し、所定の透視倍率にしたうえで指定された枠内の領域を順次撮影して複数の部分画像を取得し、これらを合成して指定された領域のパノラマ透視像を構築することで、パノラマ透視像の撮影のための設定操作を容易化する。 （もっと読む）

【課題】金属材料の高精度な損傷評価、ひいては余寿命評価を可能にする。
【解決手段】本発明に係る金属材料の損傷評価方法は、金属材料の試料における複数の測定点の結晶方位をＥＢＳＰ法により測定する測定ステップ（Ｓ２）と、複数の測定点のうちの基準の測定点に対する各測定点の結晶方位差で定義される方位差関数値を解析して試料の損傷パラメータを得る解析ステップ（Ｓ３）と、上記試料と同種の金属材料から形成され損傷率が既知の他の試料を用いて予め取得しておいた損傷率および損傷パラメータの相関関係を参照することによって、上記解析ステップにおける解析の結果得られた試料の損傷パラメータから、当該試料の損傷率を評価する評価ステップ（Ｓ４、Ｓ５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥を高精度に検出すること。
【解決手段】半導体基板から第１の仰角で放出される第１の二次電子の量と前記第１の仰角と異なる第２の仰角で放出される第２の二次電子の量とを個別に検出する。そして、前記検出した第１および第２の二次電子の量から夫々電位コントラスト画像を作成する。そして、前記作成した夫々の電位コントラスト画像の合成比率を決定し、前記第１および第２の二次電子の量から夫々作成した電位コントラスト画像を前記決定した合成比率で合成する。そして、前記合成された電位コントラスト画像を参照画像と比較することによって欠陥を抽出する。合成比率を決定する際、配線間の底部の輝度を求め前記求めた輝度が所定の基準値を越えるか否かを判定する。前記求めた輝度が所定の基準値を越えなかった場合、合成比率を変更する。 （もっと読む）

【課題】物品のＸ線検査を安定実施することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、コンベア９００から物品を受け取る受取部と、受取部から受け取った物品Ｂを上面の外周端近傍に載置して搬送するテーブル７１１と、テーブル７１１上の物品Ｂにテーブル７１１の回転軸方向からＸ線を照射するＸ線源２００と、テーブル７１１の外周側に配置され、Ｘ線源２００からのＸ線を検知するラインセンサ４００と、ラインセンサ４００からの検知信号に基づきＸ線透過画像を作成して物品Ｂの検査を行う制御部５００と、を有するＸ線検査装置１００である。このＸ線検査装置１００は、テーブル７１１の外周端近傍かつラインセンサ４００の上流側に設けられた支持部７２０および７３０を有すると共に、テーブル７１１の外周端近傍かつラインセンサ４００の下流側に設けられた支持部７４０及び７５０を有する。 （もっと読む）

【課題】周期性のある領域を簡易に且つ精密に設定することが困難であり、検査時に領域に対する位置ずれで誤検出が発生する場合がある。
【解決手段】ストライプ状に電子線画像を連続して取得し、画像の明るさ変化より領域情報を設定あるいは補正することで精密に帯電等の影響も含めた領域情報を設定することができるようになる。
【効果】簡易，短時間に精密に領域を設定でき、領域情報と画像との位置ずれによる誤検出を低減でき、検査結果の信頼性，安定性が向上するため、高感度検査が実現できる。 （もっと読む）

【課題】外管と内管とからなる二重管の溶接部の検査を、精度良く行うことのできる二重管の溶接部の検査方法を提供する。
【解決手段】内管同士の溶接位置と、外管同士の溶接位置を前記所定長さ軸方向にずらすとともに、溶接部にＸ線源からＸ線を照射し、二重管を挟んで前記Ｘ線源とは反対側に設けられたフィルムによって撮像する。二重管の内径をＤ、内管の厚さをｄ_１、内管と外管との間隔をｄ_２、外管の厚さをｄ_３、外管とＸ線源との距離をＬ、外管の溶接ビードの最大幅をｍ_１、軸方向におけるＸ線源と外管の溶接ビードのＸ線源側端部との距離をｍ_２、軸方向における外管の溶接ビードと内管の溶接ビードとの最小間隔をｍ_３とした時に、
ｍ_３＞（ｍ_１＋ｍ_２）（Ｄ＋２ｄ_１＋ｄ_２＋ｄ_３）／Ｌ
を満たすようにした。 （もっと読む）

【課題】 積層電極体の内部における金属異物の有無を好適に検査することのできる異物検査方法およびその検査に好適な積層電極体型電池とその製造方法を提供すること。
【解決手段】 電池セル１０は，正極芯材ＰＢが突出している正極端部１０１の側と負極芯材ＰＢが突出している負極端部１０２の側とでその厚みが異なっているセパレータＳ，Ｔを，正極板Ｐと負極板Ｎとの間に挟んで積層した積層電極体１００を有するものである。その積層電極体１００では，正極端部１０１の側の厚みが負極端部１０２の側の厚みよりも薄い。異物検査方法においては，厚みの薄い側からＸ線を照射する。照射されるＸ線の少なくとも一部は，正極板Ｐもしくは負極板Ｎと，セパレータＳ，Ｔとの境界面を透過する。 （もっと読む）

【課題】容器内の液体の正確な液面高さを検出できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線検査装置１００は、Ｘ線源から照射されるＸ線ＸＳを用いて、容器内の物品の検査を行うＸ線検査装置であって、Ｘ線源から照射され容器を透過したＸ線ＸＳに基づいてＸ線画像を生成する画像生成部２４２と、生成されたＸ線画像における、物品の最上端面画像ＳＺＧと最下端面画像ＳＫＧとから、当該最上端面画像ＳＺＧの中心位置Ｐ１および当該最下端面画像ＳＫＧの中心位置Ｐ２を検出する中心検出部２４３と、検出された中心位置Ｐ１と中心位置Ｐ２との距離に基づいて、液面高さＴを検出する高さ検出部２４４と、を備える。 （もっと読む）