説明

Fターム[2G001KA05]の内容

放射線を利用した材料分析 (46,695) | 分析の目的、用途、応用、志向 (3,508) | 境界;レベル;物有無 (168)

Fターム[2G001KA05]に分類される特許

41 - 60 / 168


【課題】欠陥レビュー装置などで取得された欠陥画像と設計データに基づくレイアウト画像とのマッチング処理の効率向上を図る。
【解決手段】欠陥画像処理装置は、設計データから得られるレイアウト画像52と、欠陥画像53から欠陥領域部分を除去した画像と、を正規化相互相関により画像マッチングし、そのマッチング結果として、レイアウト画像&欠陥画像54を表示装置に表示する。このとき、レイアウト画像&欠陥画像54には、欠陥画像53と同じレイヤのレイアウト画像だけでなく、他のレイヤのレイアウト画像が欠陥画像53に重ね合わせて表示される。従って、他のレイヤとの位置関係で発生するシステマティック欠陥の要因解析が容易になる。 (もっと読む)


【課題】初心者であっても、試行錯誤することなく、様々な評価対象パターンに対して、最適な評価指標を容易に選択可能な表面観察装置を実現する技術の提供。
【解決手段】画像処理部から評価画像入力部に複数の評価画像が入力される(ステップ901)。入力された評価画像はディスプレイ115に表示され、ユーザはディスプレイを参照しながらユーザの評価基準で画像を並べ替えて評価基準を定義する(ステップ902)。入力された評価画像に対して複数の評価指標で評価値を算出する(ステップ903)。各評価指標における評価値と、ユーザが定義した評価基準とを比較して、相関係数を算出して(ステップ904)、ユーザが定義した評価基準に対して、相関係数の絶対値が最大の評価指標を、最も近い評価基準として自動選択する(ステップ905)。相関係数順に、画像が並びけられ、ディスプレイに評価値順に一覧表示される(ステップ906)。 (もっと読む)


【課題】試料の表面に傷などの影響を与えずに帯電を緩和させ、その表面分析を行えるようにする。
【解決手段】表面分析方法は、非導電性マトリクスに導電性フィラーを含有させた未固化の導電性試料固定材12を層状に設け、その上に試料13を、その少なくとも一部分が埋没し且つ表面の一部分が露出するようにセットした後、導電性試料固定材12を固化させて試料13を固定し、導電性試料固定材12に固定した試料13の露出した表面に分析ビームを照射して表面分析するものである。 (もっと読む)


【課題】密閉容器においても、非破壊で、被検体の内容物と内容物表示物に記載の内容物との整合性の評価が可能な密閉容器の非破壊検査方法及び非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象物が密閉容器に収容された被検体に放射線を側面から照射して前記被検体を透過した放射線をイメージセンサにより検出することにより放射線の強度に応じた強度信号を得る第1の信号取得工程と、前記第1の信号取得工程により得られた前記強度信号を処理して前記被検体の検査対象物の画像情報を生成する第1の画像情報生成工程と、前記第1の画像情報生成工程により得られた前記画像情報に基づいて、前記被検体の検査対象物と前記被検体の検査対象表示物に表示された検査対象物との整合性を判断する判断工程と、を有することを特徴とする密閉容器の非破壊検査方法を使用する。 (もっと読む)


【課題】検査対象物の端部付近に小さな異物が混入している場合においても、該異物を検出可能なX線検査装置を得る。
【解決手段】搬送コンベア10によってY軸方向へ搬送されている検査対象物1に対してX線を照射するX線源11、12と、X線源11、12のそれぞれに対応し、X線源11、12から検査対象物1に照射され透過したX線を検出するX線検出器13、14とを備えている。X線源11は、図1のZ軸方向であって検査対象物1の上方から、検査対象物1の幅方向の一端部を中心として扇状にX線を照射できるように配設されている。X線源12は、図1のZ軸方向であって検査対象物1の上方から、検査対象物1の幅方向の他端部を中心として扇状にX線を照射できるように配設されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、小型の装置で簡便にガラス中の金属粒子の状態を検出する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のガラス中の金属粒子の状態検出方法は、X線を対象物に照射する照射部と、前記対象物を透過したX線を受光する受光部とを有するX線検査装置を備え、前記照射部と受光部との間に前記対象物として金属粒子を含んだガラスを配置し、前記照射部から前記ガラスにX線を照射し、同ガラスを透過したX線を前記受光部により受光し、同受光部におけるX線の透過量の分布から前記ガラス中の金属粒子の状態を検出する。 (もっと読む)


【課題】水分の存在の判定に用いる情報のデータベースを予め作成する必要がない水分検出方法を提供する。
【解決手段】単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子17が、中性子発生管2から、配管12を取り囲む保温材13に照射される。高速中性子17が保温材13内の水15及び配管12内の液体16で減速されて熱中性子18になる。高速中性子17の照射方向と逆方向に進む熱中性子18をHe比例計数管3で検出する。スケーラー10は、熱中性子の検出信号を用いて設定された時間毎の計数値を算出する。データ処理装置11は、これらの計数値を用いて、各時間幅での熱中性子の強度を求める。この強度がピークになる時間を基に熱中性子の飛行距離を求め、この飛行距離、及びHe比例計数管3と配管12の外面との距離に基づいて、保温材13内の水分の有無を判定する。 (もっと読む)


【課題】簡易な構造で、微小異物の検出を確実に行うことができるX線検査装置を提供することである。
【解決手段】X線検査装置100は、物品にX線S1を照射し、シンチレータ300による光変換をフォトダイオードアレイ(PDAと略記する)400で検出することにより物品600内の微小異物610を検出することができ、シンチレータ300のX線照射側にスリット部材500を積層したものである。特に、本発明の実施の形態に関するX線検査装置100では、シンチレータ300のX線照射側にスリット部材500が積層され、X線検査装置100aでは、さらに防水部材700が積層される。 (もっと読む)


【課題】着磁した永久磁石の磁区構造等を示す観察像が得られる磁性試料の観察方法を提供する。
【解決手段】本発明の磁性試料の観察方法は、磁化された磁性試料に放射光等の入射ビームを照射し、磁性試料から放出された放出電子を検出して、磁性試料の微細状況を示す観察像を形成する磁性試料の観察方法であって、磁性試料の磁化方向の両端が磁性試料の配置される雰囲気の透磁率よりも高い透磁率を有する連結具により磁気的に連結された状態で磁性試料が観察されることを特徴とする。この連結具により、磁性試料の両端には磁気閉回路が形成され、磁性試料からの漏洩磁場が抑制される。その結果、放出電子の軌跡が歪められることが少なくなり、磁性試料の磁区構造等を示す鮮明な観察像を得ることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】自動的に対象物の検査に適した面を抽出できるX線検査装置、X線検査方法およびX線検査プログラムを提供する。
【解決手段】X線検査装置100は、検査対象1にX線を照射するX線源10と、検査対象1を透過したX線を検出するX線検出器23と、X線検出器23を移動するX線検出器駆動部22と、検査対象1を移動する検査対象駆動機構110と、演算部70とを備える。演算部70は、X線源10、X線検出器23などを制御し、検査対象1を複数の方向から撮像し、撮像結果に基づいて、検査対象1の複数の断層画像を生成する。演算部70は、断層画像のうち、高輝度領域の割合が高い断層画像を特定し、特定された断層画像から、検査対象1の形状特性に応じた所定の距離だけ離れた断層画像を用いて、検査対象1を検査する。 (もっと読む)


【課題】X線透過量に基づいて生成する透過画像から仕切り部材の位置を正確に検知するとともに、検査性能の低下を防止する。
【解決手段】被検査物Wを搬送方向Yに搬送するベルトコンベア5と、ベルトコンベア5の搬送面5aに近接して設けられ、搬送面5aを搬送方向Yと直交する方向Zに分割して複数の検査レーン14を形成する仕切り部材11と、検査レーン14に搬送されている被検査物WにX線を照射するX線発生器21と、被検査物Wを透過してくるX線を検出するX線検出器22とを備え、X線透過量に基づいて透過画像を生成し、この透過画像から被検査物Wの品質を検査するX線検査装置1において、仕切り部材11を、搬送手段5の搬送方向Yに延在する略板状のX線易透過部12と、X線易透過部12の搬送手段5の搬送面5aに近接する底部に設けられているX線難透過部13とから構成した。 (もっと読む)


【課題】X線検出器を移動する機構を簡素化し、X線検査を高速化する。
【解決手段】一実施の形態に従うX線検査装置は、X線を用いて撮像するためのX線検出器23.1と、X線検出器を移動するためのX線検出器駆動部22と、検査対象領域を透過したX線が、X線検出器に入射するようにX線を出力するX線源10と、X線検査装置の動作を制御する演算部70と、X線検出器23.1による複数の撮像のための各位置が同一平面に存在し、かつ、各位置におけるX線検出器の向きが一定となるように、X線検出器駆動部22を制御するセンサ駆動制御部とを含む。 (もっと読む)


【課題】絶縁性樹脂中に存在する最大長が50μm以上の金属粉異物を検知・判別することができ、且つインライン化が可能な金属粉異物の検知方法を提供する。
【解決手段】絶縁性樹脂組成物中に異物として存在する金属粉を、少なくとも1台のX線管2,3を有するX線透視装置を用いて、X線照射角度を変化させることにより検知した後、画像処理装置8を用いて自動的に該金属粉を画像認識することを特徴とする絶縁性樹脂組成物中の金属粉異物の自動検知方法である。 (もっと読む)


【課題】ウェハの評価の良い部分の領域や悪い部分の領域が分かる半導体検査装置のデータ処理方法とデータ表示方法と半導体検査装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを用いた吸収電流測定方法を用いて、ウェハ23のコンタクトホール界面状況を評価する半導体検査装置において、電子銃10によって所定の電子ビームサイズでコンタクトホールを照射し、その際に測定される吸収電流値をコンタクトホールサイズで正規化した値をグラフ化し、そのグラフから任意の領域を指定して、表示装置150に表示されるウェハ上のマップにその測定点を表示する。 (もっと読む)


【課題】対象物に含まれる異物の検出精度を向上させることができるX線画像取得システムを提供する。
【解決手段】X線画像取得システム1は、所定の厚みWを有する対象物SにX線源からX線を照射し、対象物Sを透過したX線を複数のエネルギ範囲で検出する。X線画像取得システム1は、対象物S内において厚み方向に延在する領域R1を透過したX線を低エネルギ範囲で検出する低エネルギ検出器32と、対象物S内において厚み方向に延在する領域R2を透過したX線を高エネルギ範囲で検出する高エネルギ検出器42と、対象物S内の所定箇所に位置する被検査領域Eが領域R1及び領域R2に含まれるように低エネルギ検出器32及び高エネルギ検出器42でのX線の検出タイミングを制御するタイミング制御部50と、を備える。 (もっと読む)


【課題】物品サイズ等に関してオペレータによる設定値の入力作業が不要であり、しかも、どのような向きで物品がX線検査装置に供給された場合であっても、封止部分への内容物の噛み込みを正確に判定することが可能な、X線検査装置を得る。
【解決手段】2値化画像作成部94は、シール部分31の輝度レベルよりも低い輝度値を第1のしきい値TH1としてX線透過画像を2値化することにより、第1の2値化画像(画像データS13A)を作成し、第1のしきい値TH1よりも低く、チーズ30の部分の輝度レベルよりも高い輝度値を第2のしきい値TH2としてX線透過画像を2値化することにより、第2の2値化画像(画像データS13B)を作成し、噛み込み判定部95は、第1の2値化画像と第2の2値化画像とに基づいて、シール部分31へのチーズ30の噛み込みを判定する。 (もっと読む)


【課題】簡易迅速な潤滑油中の潤滑油中の異物診断装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る潤滑油中の異物診断装置は、潤滑油11を充填し、内部を保温又は加温する加温部12を有する外筒13と、保温又は加温された潤滑油11を所定圧で押圧する内筒14とからなる注射筒15と、注射筒15の先端部にフィルタ16aを備えた濾過部16を有してなり、該内筒14を所定圧力で押圧して濾過部16で潤滑油11中の異物17を捕集するものである。 (もっと読む)


【課題】非水電解質二次電池内部の電極間に存在する気泡およびX線吸収率の低い異物を検出することができる非水電解質二次電池検査装置を提供する。
【解決手段】非水電解質二次電池100に平行X線310を照射するX線照射手段300を設け、X線照射手段によって照射された平行X線が非水電解質二次電池を透過したときに生ずる透過X線311を、屈折像によりX線検知手段320で検知する。 (もっと読む)


【課題】高感度で安定した異物検出が容易に行えるよう被測定物のデュアルエネルギーX線画像に合わせて最適な差分処理用の重みパラメータを自動設定する。
【解決手段】画像処理手段(6)は、デュアルエネルギーX線画像からローエネルギーとハイエネルギーの等価厚画像ペアを生成する等価厚画像生成手段(61)と、前記等価厚画像ペアに対し混入異物の成分と被測定物の成分とに分離するように独立成分分析を適用して分離行列を求める分離行列算出手段(63)と、前記分離行列の要素である2つの分離ベクトルに基いて前記差分処理の重みパラメータを求めるパラメータ算出手段(64)と、前記重みパラメータを用いた前記差分処理によって前記等価厚画像ペアから前記混入異物の成分画像を分離する異成分画像分離手段(67)と、前記混入異物の成分画像を閾値処理して異物検出する異物検出手段(68)と、を具備している。
(もっと読む)


【課題】遮蔽手段の異常状態を安価な構成で且つ確実に検知することができるX線検査装置を提供すること。
【解決手段】検査空間22内の被検査物WにX線を照射するX線発生器9と、被検査物Wを透過するX線を検出して透過量に応じた濃度データを出力するX線検出器10と、X線発生器9が発生するX線が検査空間22の外部に漏えいすることを防止する遮蔽カーテン16と、を備え、X線検出器10から出力される濃度データに基づいて被検査物Wの検査を行うX線検査装置1において、遮蔽カーテン16を通して検査空間22内に侵入した光の照度を測定する照度センサ13と、照度センサ13が、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定したとき、遮蔽カーテン16が異常状態であると判定する判定部17とを備えた。 (もっと読む)


41 - 60 / 168