【課題】Ｘ線検査部と計量部とが単一のユニットとして構成された計量装置において、Ｘ線漏洩防止部材が計量に与える影響を低減し得る、計量装置を得る。
【解決手段】計量装置１は、物品通過用の搬出口３Ｂが形成されたシールドボックス２と、シールドボックス２の内部に配置され、物品５０の重量を計量する計量部４と、シールドボックス２の内部において計量部４に連続して配置され、物品５０にＸ線を照射し、物品５０を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査部５とを備え、計量部４は、物品５０を搬送する搬送コンベア１０と、搬送コンベア１０上を搬送されている物品５０の重量を計量する計量器１１と、搬送コンベア１０に取り付けられ、Ｘ線が搬出口３Ｂからシールドボックス２の外部に漏洩することを防止するためのシールド板１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】空間内の脅威物質の存在を迅速かつ正確に決定するために、あらゆる利用可能な検出器デバイスから放射線のサインデータを分析する手法を提供すること。
【解決手段】関心のある１つ以上の物質の存在に関して、実質的に囲まれた空間を調べる検出器によって生成されるスペクトルデータを分析する方法であって、検出器の検出経路内にあると予想される物質を複数の物質群のうちの１つに分類することと、各物質群に対する、代表的なエネルギー対断面積の曲線を記述するデータを選択することと、関心のある物質に対するスペクトルデータを生成するために、物質群のうちの１つ以上と各関心のある物質の相互作用を計算することと、スペクトルデータのライブラリを生成することと、空間内の脅威物質の存在を決定するために、検出器によって生成されたスペクトルデータをスペクトルデータのライブラリと比較して分析することとを包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る、水滴や塵等の環境を、生産ラインを長時間停止させることなく除去することが可能な、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、Ｘ線照射部４と、ラインセンサ６を有するＸ線検出部５と、ラインセンサ６に近接して配置され、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着している又は付着し得る環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去するスクレパー１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの複雑な構造のばらつきを直感的かつ定量的に評価することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物の像を検出する画像検出部６、検出した画像を処理する画像処理部９１、被検査物をスキャンするビーム制御系９２およびステージ制御系９３を有するスキャン制御部を備えた画像検出部１０と、検出した画像から外観を検査する外観検査処理部２０とを備えた外観検査装置において、外観検査処理部１０が、取得した複数の像を重ね合わせ、像の各点（ｘ，ｙ）における代表的な値（代表値データμ(ｘ，ｙ)）を求める代表値データ作成処理機能２１２と、複数の像の各点（ｘ、ｙ）における許容範囲の値（ばらつきデータσ(ｘ，ｙ)）とを求めるばらつきデータ作成処理機能２１３と、代表的値データとばらつきデータとを元に、検査対象物の良否を判定する判定処理機能２１４を有する。 （もっと読む）

【課題】 物品の搬送方向における間隔を確保できない等の事情で、被検査物品に対応する画素がＸ線画像情報の区切り部分にかかる場合でも、洩れなく異物を検出できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 物品を搬送する搬送手段と、搬送中の物品に対してＸ線を照射するＸ線源と、物品を透過した透過Ｘ線を受けるＸ線検出器と、前記Ｘ線検出器からの出力に基づくＸ線画像情報を、物品搬送方向における所定幅ごとに画像処理する画像処理手段と、を備えるＸ線検査装置であって、各画像処理の対象とする前記所定幅のＸ線画像情報を、物品搬送方向においてオーバーラップさせることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、物品に必要であるが、その位置を特定できない必要部品を、異物として誤検出することなく、異物混入検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源からのＸ線を物品に照射し、該物品を透過する透過Ｘ線をＸ線検出器で受け、前記透過Ｘ線を画像処理手段により画像処理し、物品を検査するＸ線検査装置であって、
前記透過Ｘ線に基づき前記物品に備えるべき必要部品の存在有無を判定し、
前記必要部品が存在すると判定される場合には、その存在領域を自動設定し、
前記存在領域とそれ以外の領域の検査条件を異ならせて、前記物品内における異物検出を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】使用時に冷却空気が筐体内に供給されるＸ線異物検出装置において、筐体内の圧力が上昇せず、内部の熱を効率的に排出でき、清掃時に筐体内へ水分が浸入しないようにする。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置１では、温度センサ１４で検出した筐体３内の温度が所定温度以上である時、制御手段１０が制御弁１３を開として筐体３内にボルテックスチューブ１１で冷却空気を供給し、Ｘ線発生手段７を冷却する。同時にアクチュエータ２０が作動されて扉１６が駆動され、筐体３の排気口１５が開放される。筐体内の圧力上昇が抑えられ、排気によって冷却効率が向上する。不使用時にはアクチュエータは作動せず扉が排気口を閉止するので清掃時に内部に水が入ることはない。 （もっと読む）

【課題】
電子線を応用した検査装置では、電子像を取得して欠陥の有無を判定していたため、画像の取得時間や画像データの転送速度、画像処理の速さなどで検査速度の向上に限界が生じていた。
【解決手段】
電子レンズ１１１の後焦点面に形成される回折スポットのうち、試料１０４から垂直に反射される電子が形成する部分を遮蔽物１１７で遮蔽し、その他の反射電子線を検出器１１２で検出し、その積分強度を入出力装置１１５でモニタすることにより異物や欠陥の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の外部漏洩を効果的に抑制することが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、シールドボックス２，３と、シールドボックス２，３内に配置されたＸ線照射部及びＸ線検出部と、物品１００がＸ線照射部とＸ線検出部との間のＸ線照射経路６０を通過するように、物品１００を搬送するベルトコンベアユニット８と、Ｘ線照射部の下方においてベルトコンベアユニット８に取り付けられ、Ｘ線照射方向に関するＸ線照射経路６０の一部を取り囲む、Ｘ線遮蔽部材１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】平面視における被検査物の搬送方向長さが一定ではない場合でも、簡易な構成のままで被検査物の検査を効率よく実施することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０では、コンベア１２によって搬送される商品Ｇに対して、Ｘ線照射器１３からＸ線を照射し、Ｘ線ラインセンサ１４において検出されたＸ線量に基づいてＸ線画像を作成して異物混入の検査を行う装置であって、制御コンピュータ２０が、ユーザによって選択可能な第１モードと第２モードとを有している。第１モードでは、商品Ｇ１がＸ線ラインセンサ１４上を通過している間、Ｘ線ラインセンサ１４において検出されるＸ線透過量に基づいてＸ線画像を作成する。第２モードでは、商品Ｇ１の先頭を検知してから所定の距離ｄの分だけＸ線透過量に基づいてＸ線画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】恐れのある物を特定するために、再構成されていないスキャンデータの解析を行うＣＴスキャンシステム及びＣＴスキャン方法を提供すること。
【解決手段】手荷物のＣＴスキャンの恐れのある物の判断方法は、バッグの完全な再構成の必要性をなくす。スキャン中にＣＴスキャンデータが解析され、考えられる恐れのある位置を特定する。この解析は、バッグ中の対象物を表現する線図に基づいて解析される。対象物の質量、大きさ、位置、及び原子番号は、この線図データに基づいて決定される。何らかの考えられる恐れは、データを変更し再構成して、恐れの表示を向上させる。２つのエネルギーのスキャンを使用して、考えられる恐れの解像度の密度の決定にも使用できる。 （もっと読む）

【課題】薄膜包材内に物品を内包する商品であっても、薄膜包材内を漏れなく検査領域として設定し、高精度な検査を実施することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、コンベア１２によって搬送される商品Ｇに対して、Ｘ線照射器１３からＸ線を照射し、Ｘ線ラインセンサ１４において検出されたＸ線量に基づいてＸ線画像を作成して異物混入の検査を行う装置であって、Ｘ線ラインセンサ１４において商品Ｇの袋Ｂ内のパンＧ１を検出すると、制御コンピュータ２０が、パンＧ１の上流側および下流側に隣接する領域を、検査領域Ａ１，Ａ２として加える。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査時にＸ線強度調整体を容易に用いることができるようにする。
【解決手段】Ｘ線強度調整体１は、上面に円形の開口部１ａを、下面に円形の穴部１ｂを有している。Ｘ線強度調整体１の内部では、開口部１ａから穴部１ｂにかけて、円錐面を成すテーパ部１ｃが形成されている。Ｘ線強度調整体１を球状の被検査物１１のＸ線画像の撮像時に用いることにより、被検査物１１とＸ線強度調整体１とを透過したＸ線画像の強度を被検査物１１の全体について略一様にすることができ、精度良く非破壊検査を行うことができる。Ｘ線強度調整体１をＸ線エリアカメラ３とＸ線源２との間に配置した状態で、開口部１ａを介してテーパ部１ｃに被検査物１１を載置することにより、容易に、被検査物１１を検査可能にすることができる。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その大きさと導電性との２つの観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した金属元素含有異物の有無を検査する方法であって、前記基板に付着した異物の大きさと位置とを検出する第１検査ステップと、第１検査ステップで検出された位置に位置合わせして、その異物が金属元素を含有するか否かについて検査する第２検査ステップとを備えることを特徴とする検査方法。 （もっと読む）

【課題】樹脂片における、臭素の含有有無の評価を行なうにあたり、評価結果が樹脂片の厚みに影響される。
【解決手段】臭素を含有する第１のフィルター３と、臭素のＸ線吸収端よりも高エネルギー側にＸ線吸収端を有する元素を含有する第２のフィルター４とを用いて、両フィルターを介して樹脂片２に連続Ｘ線６を照射し、Ｘ線の透過強度を検出する。その透過強度の結果を、予め測定しておいた、フィルターを介して臭素を含まない、樹脂片２と同一の樹脂にて形成された試験片に連続Ｘ線を透過したときに検出される透過強度と比較することにより、樹脂片２における臭素の有無を精度よく判定する。 （もっと読む）

【課題】遮蔽カーテンとして用いられる遮蔽部材の捩じれやカールの発生、及び機械的強度及び耐久性の低下を防止しつつも、Ｘ線の漏洩を防止することが目的とされる。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品Ｐの検査を行う装置であって、筐体１１と、第１及び第２の遮蔽部材１５１，１６１とを備える。筐体１１には、Ｘ線が照射される内部空間Ｓ１と、外部から内部空間Ｓ１への物品Ｐの搬入が行われる通路Ｗ１が設けられている。第１及び第２の遮蔽部材１５１，１６１は、通路Ｗ１内に吊り下げられており、Ｘ線の遮蔽が可能である。第１及び第２の遮蔽部材の位置は、物品Ｐの搬送方向９０において異なる。第１及び第２の遮蔽部材１５１，１６１はいずれも、互いに独立に捲ることが可能な長さの異なる第１及び第２の垂れ下がり部を有する。そして、第１の遮蔽部材１５１と第２の遮蔽部材１６１とで、第１及び第２の垂れ下がり部の配置が異なる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線異物検査装置において、幅方向の寸法が大きい被検査物の両側部について漏れなくＸ線画像の撮像をすることができるようにする。
【解決手段】Ｘ線異物検査装置１は、Ｘ線を出射する１つのＸ線源２と、そのＸ線が入射する２つ一組のＸ線エリアカメラ３１，３２と、被検査物５０を搬送するコンベア４０を有している。Ｘ線エリアカメラ３１，３２は、コンベア４の搬送方向から見てＸ線源２を向くように、平面視でＸ線源２について他方のＸ線エリアカメラ３２，３１に対して略点対称となり、コンベア４の中央部付近の一部が互いに重なるように配置されている。被検査物５０は、コンベア４０に搬送されつつ、Ｘ線エリアカメラ３１，３２により、それぞれ左側部を含む部分についてのＸ線画像と右側部を含む部分についてのＸ線画像とを撮像され、非破壊検査される。両Ｘ線画像は互いに重複部分を有し、被検査物５０の全体を撮像可能である。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線異物検査装置において、検査対象物及びＸ線エリアカメラに対してＸ線を均一に照射することにより照射強度のむらをなくす。
【解決手段】複数個のＸ線エリアカメラ３１、３２、３３、３４を、Ｘ線源２から等距離の円周上に、かつ、Ｘ線源２に対向するように配置する。また、複数列のコンベア４１、４２、４３、４４を、Ｘ線源２とＸ線エリアカメラ３１、３２、３３、３４の間において、Ｘ線源２から等距離の円周上に、かつ載置面４１ａ、４２ａ、４３ａ、４４ａがＸ線源２に対向するように配置する。これにより、検査対象物及びＸ線エリアカメラに対してＸ線が均一に照射され、照射強度のむらがなくなる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、異物の分析を分析に際しての新たな異物の混入なく分析し異物の正確な情報を提供することにある。
【解決手段】本発明は、導電性膜を全体にコートしてなる異物分析用試料であり、また異物を含有する試料全体に導電性膜をコートすることを特徴とする異物の分析方法である。 （もっと読む）

【課題】被検査物における所望の範囲を視覚的に特定することが可能なＸ線検査技術を提供する。
【解決手段】Ｘ検査装置は、被検査物ＴＧに対してＸ線を使用して検査を行う検査部１と、検査部１において検査された被検査物ＴＧに対してマーキングを行うマーキング部１０とを備えている。検査部１は、被検査物ＴＧにＸ線１００を照射するＸ線照射部３と、Ｘ線照射部１から照射されて被検査物ＴＧを透過したＸ線１００を検出するラインセンサ４と、被検査物ＴＧにおいて透過Ｘ線量に関する所定の条件を満足する範囲、例えば異物や空洞部分あるいは脂肪分の範囲を、ラインセンサ４での検出結果に基づいて特定する検査制御部６とを有している。マーキング１０部は、検査制御部６で特定された、異物、空洞部分、脂肪分などの範囲を被検査物ＴＧにマーキングする。 （もっと読む）