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Fターム[2G001KA05]の内容

放射線を利用した材料分析 (46,695) | 分析の目的、用途、応用、志向 (3,508) | 境界;レベル;物有無 (168)

Fターム[2G001KA05]に分類される特許

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【課題】CD-SEMによる半導体パターンの寸法計測において,パターンの断面形状に依存して寸法計測値と実際のパターンの寸法との誤差が変動することにより、計測精度が悪くなる問題があった。
【解決手段】
予め形状の異なる複数パターンのAFM計測結果と,同一形状のパターンをCD-SEMで計測したときの前記AFM計測結果との寸法計測誤差とを対応付けてデータベースに保存しておき,実際の寸法計測時には,計測対象パターンの少数箇所から得たAFM計測結果を前記データベースに照合し,最も形状が類似した側壁形状に対応したCD-SEM計測の寸法計測誤差を呼び出し,次に計測対象パターンのCD-SEM計測結果を前記呼び出した寸法計測誤差に基づき補正することにより,パターンの断面形状に依存した寸法誤差を低減した補正寸法値を算出する。 (もっと読む)


【課題】被検査物の重なり等により、被検査物の透過X線データ濃度が異物の透過X線データ濃度のほぼ同一になったとしても、確実に異物を検出するX線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物Pを透過した複数の異なるネルギー帯の透過量を検出するX線検出手段10によって得られる検出信号を異なるネルギー帯毎の透過画像として記憶する透過画像記憶手段21と、透過画像記憶手段21に記憶された複数の異なるエネルギー帯の透過画像から独立成分として異物画像を含む複数の分離画像を分離抽出する独立成分分析手段24を有する画像処理手段23を備え、独立成分分析手段24によって分離抽出された異物画像に基づいて被検査物Pの中に異物が含まれているか否かを判定する。
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【課題】直接変換方式のX線センサの使用を前提として、分極の問題を解消して検出性能の低下を回避し得る、X線検査装置を得る。
【解決手段】X線検査装置1は、物品12がベルトコンベア6上に存在しているか否かを検出するフォトセンサ15と、X線ラインセンサ8へ印加するバイアス電圧を制御する制御部30とを備える。制御部30は、フォトセンサ15からの検出信号S1に基づき、物品12がベルトコンベア6上に存在していない期間内に、X線ラインセンサ8への実効的なバイアス電圧の印加を停止する。 (もっと読む)


【課題】直接変換方式のX線センサの使用を前提として、分極の問題を解消して検出性能の低下を回避し得る、X線検査装置を得る。
【解決手段】X線検査装置1は、X線照射器7と、直接変換方式のX線センサを有するX線ラインセンサ8と、物品12を搬送するベルトコンベア6と、X線ラインセンサ8へ印加するバイアス電圧を制御する制御部30と、バイアス電圧を継続して印加している継続印加時間を検出する計時手段35と、X線検査装置1の前段の処理装置25に対してベルトコンベア6への物品12の供給を停止させる停止制御部60とを備える。継続印加時間が所定の時間を超えたことを計時手段35が検出した場合、停止制御部60は、前段の処理装置25に対してベルトコンベア6への物品12の供給を一時的に停止させる。 (もっと読む)


【課題】迅速性に優れたX線透視による検査装置でありながら、簡単な動作によって検査対象物の欠陥等の特異点の深さを正確に求めて表示することのできるX線検査装置を提供する。
【解決手段】X線発生装置1とX線検出器2を結ぶX線光軸に直交する軸を中心として、X線発生装置1とX線検出器2の対に対して検査対象物Wを回転させ、その回転前後のX線透視像上の特異点の像を抽出し、その回転前後の特異点像の位置から、特異点の透視方向への深さを実寸法で算出し、その算出結果を表示器23に数値表示することにより、検査対象物WのX線透視像上に存在する欠陥等の特異点の像の深さを報せることを可能とする。 (もっと読む)


【課題】経年変化等に起因して振り分け装置への物品の到達タイミングに変動が生じた場合であっても、振り分け装置が不良品を確実に振り分けることが可能なX線検査装置を得る。
【解決手段】X線検査装置1は、検出部(フォトセンサ15又はX線検出部8)が物品12を検出してから、X線検査装置1の後段の処理装置が処理動作を開始するまでの、時間間隔の設定値が記憶されたメモリ22と、実動作時において、検出部が物品12を検出してから、物品12が後段の処理装置に到達するまでの、所要時間を測定する測定部30と、測定部30による測定の結果に基づいて、メモリ22に記憶されている設定値を補正する補正部31とを備える。 (もっと読む)


【課題】 γ線を効果的に遮蔽して円滑に検査を行うことができる爆発物検査装置を提供する。
【解決手段】 手荷物3に対して中性子を照射する中性子発生管11と、照射された中性子によって発生するγ線を検出するγ線検出器13と、γ線検出器13の検出結果から爆発物の有無を判定する爆発物判定部とを備えた爆発物検査装置である。手荷物を設置する際には開位置に位置するとともに検査時には閉位置にて密閉空間を形成する開閉蓋9と周壁部7によって、手荷物3から発生するγ線を遮蔽する。手荷物3が載置されるとともに、手荷物を設置位置から検査位置まで移動させるテーブルを備えている。 (もっと読む)


【課題】多列の物品の検査における誤検査を防止する。
【解決手段】X線検査装置10は、コンベア12と、X線照射器13と、X線ラインセンサ14と、品質検査部21cと、初期設定部21bとを備える。コンベア12は、左右方向に並ぶ3つの商品G1〜G3を所定の搬送方向に搬送する。左右方向とは、コンベア12の搬送方向を基準とする。X線照射器13は、商品G1〜G3に向けてX線を扇状に照射する。X線ラインセンサ14は、商品G1〜G3を透過したX線を受光する。品質検査部21cは、X線ラインセンサ14が受光したX線の濃度値に基づいて、各商品G1〜G3を検査する。初期設定部21bは、商品G1〜G3間の左右方向の適正な間隔を判断する。 (もっと読む)


【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるX線検査装置を提供する。
【解決手段】X線検査装置100は、X線を出力する走査型X線源10と、複数のX線検出器23が取り付けられ、複数のX線検出器23を独立に駆動可能なX線検出器駆動部22と、X線検出器駆動部22やX線検出器23からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構30を備える。走査型X線源10は、各X線検出器23について、X線が検査対象20の所定の検査エリアを透過して各X線検出器23に対して入射するように設定されたX線の放射の起点位置の各々に、X線源のX線焦点位置を移動させてX線を放射する。X線検出器23の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構30はX線検出器23が検出した画像データを取得し、演算部70はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 (もっと読む)


【課題】様々な大きさの基板を検査可能な低コストの被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査システム10において、第1ラインセンサユニット50は、第1走査ライン16aと第2走査ライン18aとが一直線上に並ぶように並設された第1X線ラインセンサ16および第2X線ラインセンサ18を有する。第2ラインセンサユニット52は、第3走査ライン20aと第4走査ライン22aとが一直線上に並ぶよう並設された第3X線ラインセンサ20および第4X線ラインセンサ22を有する。第3X線ラインセンサ20は、第1X線ラインセンサ16の第1走査ライン16aおよび第2X線ラインセンサ18の第2走査ライン18aとの間に存在する撮像不能領域2aにおける基板2の透過像を補完して撮像する。 (もっと読む)


【課題】積層板の色調を問わず、目視によらないでボイドや金属異物の有無を自動的に検査することができる積層板の検査装置を提供する。
【解決手段】積層板の検査装置に関する。積層板1にX線を照射するX線発生部2と、受光X線量に応じた濃淡値を持つ原画像を得る撮像部3と、原画像を平滑化処理して平滑化画像を得ると共に、原画像と平滑化画像との間で画素単位で差分を取る減算処理を行って差分画像を得た後、この差分画像を2値化処理して2値化画像を得る画像処理部4と、この2値化画像を基に積層板1中の欠陥6の有無を判定する判定部5と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】物品に照射するX線の強度を高めた場合でも、効率良くX線の漏洩を防止することが目的とされる。
【解決手段】X線検査装置1は、X線を用いて物品の検査を行う装置であって、照射部12と、受光部と、搬送機構とを備える。照射部12は、物品にX線を照射する。受光部は、物品を透過したX線を受光する。搬送機構は、搬送ベルト163とガイド部材165とを有し、X線の照射位置へと物品を搬送する。搬送ベルト163は、物品を載せた状態で、物品を照射位置へ導くベルトである。ガイド部材165は、搬送ベルト163のうち少なくとも物品に接する部分163aをガイドする。そして、物品の搬送方向から見たときのガイド部材165の両端部1652,1653は、中央部1651に対して起き上がっている。 (もっと読む)


【課題】有機膜からなり、パターンの形成されたフォトレジストマスクと、有機成分からなる反射防止膜と、金属化合物膜と、が上側からこの順番で積層された基板に対して、電子線を照射することによって、当該パターン上への有機成分からなる残渣の付着の有無を検査するにあたり、容易に残渣の付着を判別する技術を提供する。
【解決手段】残渣が付着した領域では、電子線の到達深さが金属化合物膜の上面よりも浅い位置となり、また残渣が付着していない領域では、電子線の到達深さが反射防止膜の下面よりも深い位置となるように、電子線の加速電圧を算出し、その加速電圧で電子線を基板に照射し、この基板から放出された2次電子像を得る。 (もっと読む)


【課題】被検査物に対してX線を斜めに照射して高い検出精度を達成できるX線異物検出装置の具体的な構造を提案する。
【解決手段】 X線異物検出装置1は、X線発生器11と搬送手段6とX線検出器12を備えており、搬送手段6の搬送方向の両側には底面S1と側面S2に接して被検査物Wの移動を案内し、X線検出位置において被検査物Wを所定の傾斜状態に設定する傾斜ガイド13及びサイドガイド14を有する。搬送手段の搬送ベルト9は底面と側面が接する稜線Rに接触して被検査物Wを搬送する。 (もっと読む)


【課題】放射線の影響によって受光素子の耐久性が低下したりノイズが発生することを回避し得る検査装置を得る。
【解決手段】X線ラインセンサ8は、X線照射器7からのX線K1,K2が照射される領域R1内に配置され、受けたX線を光K3に変換するシンチレータ31と、シンチレータ31から発せられた光K3を、X線K1,K2が照射されない領域R2内に導く光導波路33と、領域R2内に配置され、光導波路33によって導かれた光K3を受光する受光素子32とを有する。 (もっと読む)


【課題】筒状電離箱を用いて高い測定感度および分解能を共に改善できるように構成した電離箱型X線異物検出装置を提案すること。
【解決手段】電離箱型X線異物検出装置1の検査面5の真下には幅方向に一定のピッチで2列に筒状電離箱24(1)〜24(m)、25(1)〜25(n)が配列されている。各筒状電離箱は、その中心軸線がX線発生源12に向く姿勢となるように配置してある。検査面上の検査対象物Wを透過したX線は各筒状電離箱の中心軸線に沿って各筒状電離箱に封入されている電離ガスを通過するので、直径方向に通過する場合に比べて、X線が通過する電離ガスの容積が格段に多い。よって、測定感度の高い電離箱型X線異物検出装置を実現でき、測定の分解能を高めるために各筒状電離箱を細くして細かいピッチで配列した場合においても、各筒状電離箱を軸線方向に長くすることにより、所望の測定感度を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】 信頼性の高い放射線検出器を提供する。
【解決手段】 X線ラインセンサ1では、低エネルギ範囲のX線を吸収して光を発するシンチレータ層24と、高エネルギ範囲のX線を吸収して光を発するシンチレータ層26とが接触させられており、更に、後側のシンチレータ層26の厚さよりも、前側のシンチレータ層24の厚さが薄くなっている。これらにより、同じ角度で前側から入射した低エネルギ範囲のX線及び高エネルギ範囲のX線に対するシンチレータ層24での発光位置P1とシンチレータ層26での発光位置P2とのずれ量が小さくなるため、このとき、シンチレータ層24が発した光及びシンチレータ層26が発した光は、対向する光検出部16及び光検出部23によって検出されることになる。従って、同時に取得された低エネルギ範囲のX線透過像と高エネルギ範囲のX線透過像とがずれるのを防止することができる。 (もっと読む)


【課題】X線検査装置に使用されるX線遮蔽カーテンの耐久性を向上することが可能な技術を提供する。
【解決手段】X線検査装置1は、搬入口2aから搬入された物品3を搬出口2bに搬送するコンベア22と、コンベア22で搬送される物品3にX線26を照射するX線照射部24と、X線照射部24からの物品3を透過したX線26を検出するラインセンサ25と、搬入口2a及び搬出口2bに設けられたX線遮蔽カーテン23とを備えている。X線遮蔽カーテン23はタングステン含有層を有している。 (もっと読む)


【課題】X線検査技術を利用してタービンブレード内の残留セラミックコアの検出を可能にしたX線検査方法を提供する。
【解決手段】本発明は、X線検査装置1を用いて被検査対象物WにX線を照射し、16ビット以上のコントラストレンジを持つX線ディテクタ2に被検査対象物のX線透過像3を結像させ、X線ディテクタが結像した被検査対象物のX線透過像をデジタル現像装置4にて現像してX線影像5を得、そのX線影像から被検査対象物内に残留するセラミック質の異物の有無を検査するX線検査方法を特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 検出精度の高い異物検査システムを提供する。
【解決手段】 コンベヤにより搬送される商品MにX線照射手段からのX線を照射し、前記商品Mを透過したX線をX線検出器に入射させて、前記商品に付着ないし混入している異物Dを検出することで合否の判定を行う異物検査システムに関する。前記X線照射手段21,31およびX線検出器22,32を2組設けると共に、これら2組のX線照射手段21,31およびX線検出器22,32を前記コンベヤの搬送方向Yに対して交差する平面上に設け、前記2組の光学系20,30の光軸S1,S1が、搬送方向Yの上流から見て互いに交差するように前記2組のX線照射手段21,31およびX線検出器22,32を配設する。 (もっと読む)


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