【課題】 複数種類の検査結果を同時に見易く表示することのできる物品検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷに対応する所定の物理量を特定してその物理量を表わす測定信号を出力する物理量測定部１３と、ワークＷについての所定の品質検査を実行してその品質検査の結果を表わす検査結果信号を出力する品質検査部１５とを備えた物品検査システムであり、更に、測定信号および検査結果信号に基づいて、測定信号で表わされる物理量および検査結果信号で表わされる品質検査結果を含む検査結果情報を、表示画面上の時間軸方向に各ワークＷの測定順に並べて表示する表示部２１を備える。 （もっと読む）

【課題】 ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像に基づいてワークの体積を測定するＸ線検査装置であって、その処理ユニット６が、各透過領域のＸ線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部６２と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部６３と、Ｘ線透過量相当のデータを処理して、ワークにＸ線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようＸ線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部６１とを含み、ゼロ点補正部６１が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】 ワーク厚さに対する直線性の良好な等価厚画像濃度データが得られる濃度データ変換方法および装置を実現し、体積や質量等の測定精度が高いＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷのＸ線透過量に対応するＸ線画像濃度データＰからワークＷの厚さに対応する等価厚画像濃度データＱ（Ｐ）への変換処理を施す方法であって、Ｘ線画像における背景の濃度値Ｐ_０と、Ｘ線画像における前景の代表濃度Ｐ_１と、等価厚画像の最大濃度Ｑmaxとをそれぞれ設定し、変換処理を、次式〔１〕により実行し、
Ｑ（Ｐ）＝［｛ｌｎ（Ｐ_０）−ｌｎ（Ｐ）｝／｛ｌｎ（Ｐ_０）−ｌｎ（Ｐ_１）｝］^γ・Ｑmax ・・・〔１〕
等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）の直線性を確保するよう式〔１〕中の補正指数値γを調整する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線の吸収が少ない被検査体の透視画像の画質を向上させる。
【解決手段】 Ｘ線管１で発生したＸ線４をベルトコンベア５で運ばれてくる被検査体７に照射してラインセンサ３により透過Ｘ線を検出し透過像を得る。この透過像から被検査体７内部に存在する異物を検出する。Ｘ線管１とラインセンサ３の間に内部を真空としたケース２を配置すると、Ｘ線４はこのケース２内を通過するから、このケース２を通過する間ではＸ線４が空気によって吸収されることがない。これによりＸ線管１で発生したＸ線のうち、とくに波長の長い低エネルギーのＸ線が減衰することなく被検査体７に到達することになる。したがって、高エネルギーＸ線では透視画像にコントラストが付かず、低エネルギーＸ線で検査することが適当な種類の被検査体に対しても効果的に異物検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線吸収スペクトルのノイズを小さくでき、データ解析を容易とし、分析精度を向上できる、Ｘ線吸収微細構造分析方法およびその分析装置を提供すること。
【解決課題】 ポリクロメータでＸ線を分光して、分光したＸ線をサンプル１３に照射することにより、サンプル１３のＸ線吸収微細構造を分析するＸ線吸収微細構造分析方法において、測定時間内に、超音波発生装置７によりサンプル１３に振動を与える。これによって、サンプル１３の厚さや密度が不均一となりやすい場合であっても、測定時間内に、サンプル１３に振動を与えることによって、得られるサンプル１３のＸ線吸収スペクトルのノイズを平均化することができる。そのため、Ｘ線吸収スペクトルのノイズを小さくでき、その結果、データ解析を容易とし、Ｘ線吸収微細構造分析方法の精度を向上できる。 （もっと読む）

【課題】 表面分析方法及び表面分析装置に関し、補正用の荷電粒子に起因する熱的ダメージを緩和させて本来の試料の素性を反映する分析結果を得る。
【解決手段】 絶縁性或いは半導電性の試料１に一次エネルギー粒子２を照射するとともに、一次エネルギー粒子２の照射或いは二次荷電粒子３の発生に伴う試料１の帯電を、帯電の極性と反対の極性の荷電粒子を照射して補正する際に、試料１が所定温度以下になるように補正用の荷電粒子４の量、エネルギー、或いは、収束度の少なくとも一つを制御する。 （もっと読む）

【課題】 蓄積した検査データを識別子情報の判読の難易に関わらず確実に抽出することができるＸ線検査方法、システムおよび装置を提供する。
【解決手段】 被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいてその被検査物の状態を判定するとともにＸ線画像を作成するＸ線検査方法であって、外観識別可能でＸ線画像上に識別可能に写し出される識別子情報を各被検査物Ｗに付加する識別情報付加工程と、識別子情報が付加された各被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物の各部Ｘ線透過量を検出する検出工程と、被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいて被検査物Ｗ中における異物の有無を判定する状態判定工程と、被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいて識別子情報の表示内容を含むＸ線画像を生成するＸ線画像生成工程とを含んでいる。 （もっと読む）

荷物検査等の従来の物質識別では、荷物の減衰係数は、荷物内の物質を確認するよう使用される。しかしながら結果が不明瞭なのは、危険物質と非危険物質が同一の減衰係数を有することが頻繁にあるためである。本発明によれば、方法及び装置が与えられ、荷物内に危険物質があるか否かをよりよく判断するよう、ＣＴ及び干渉性散乱コンピュータ・トモグラフィ（ＣＳＣＴ）から得られた情報を組み合わせる。故に、本発明によれば、荷物の減衰係数及び回析パターンは、荷物が不審であるか否かを判断するよう使用される。
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【課題】 蓄積した検査データを固有識別情報の判読の難易に関わらず確実に抽出することができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物の各部Ｘ線透過量に基づいて被検査物中における異物の有無を判定する検査を実行するとともに、Ｘ線透過量に対応する濃度のＸ線画像を作成するＸ線異物検出装置であって、被検査物の検査毎に、各被検査物の目視可能な固有識別情報を含む検査時の外観可視画像と被検査物の検査に伴い作成されるＸ線画像とを単一画像ファイルに結合した合成検査画像を作成する合成検査画像作成手段３０と、合成検査画像作成手段３０で合成された各被検査物の合成検査画像を、被検査物の固有識別情報に対応するファイル名で識別および読出し可能に蓄積記録する蓄積記録手段３３とを設ける。 （もっと読む）

【課題】血液検体の各分離位置と分離範囲としての空気封入高さ、血清収容高さ、シリコン分離剤収容高さ等を高精度に検出できる試験管の検知方法を提供することにある。
【解決手段】血清Ａと血餅Ｃとがシリコン分離剤Ｂによって分離され、血清Ａと栓２との間に空気Ｄが封入された状態の血液検体が収容された試験管１の検知方法において、前記試験管１を挟んでＸ線を照射するＸ線管１１と該Ｘ線管１１から前記試験管１を透過したＸ線透視像を撮像する撮像装置として固体撮像素子１２とを対向して設け、前記試験管１を透過したＸ線透視像を撮像することにより、前記試験管１の情報を検知することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 電池に短絡を起こさせ得る金属不純物粒子の電極基板や正極電極板への存否を製造過程で検査できる電池の製造方法、及び、電極基板の製造方法を提供すること。
【構成】 アルカリ蓄電池１００は、長尺状の電極基板１５０から形成された所定形状の正極電極板１２１を有する。その製造方法は、電極基板１５０にＸ線を照射して透過像を取得し、その透過像に基づいて、正極電位で溶解し負極電位で析出する金属からなる金属不純物粒子が、電極基板１５０に存在しているか否かを検知する不純物検知工程を備える。また、金属不純物粒子の存在が確認された場合に、粒子存在部分を示すマーキングを電極基板１５０に施すマーキング工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線による異物検出精度を要求レベルに維持しつつ処理能力を高めることができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物を搬送する搬送手段１０と、搬送手段１０により搬送される被検査物に所定の検査領域内でＸ線を照射して被検査物に含まれる異物を検出する異物検出手段２０とを備えたＸ線異物検出装置において、搬送手段１０が、検査領域内で並列する複数の管路状の搬送路ｐ１、ｐ２を有し、異物検出手段２０が、複数の搬送路ｐ１、ｐ２の中の被検査物に向かってＸ線を照射するＸ線発生部２１と、複数の搬送路中の被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出部２２とを含んで構成されている。 （もっと読む）

二つの層、特にマイクロエレクトロニクス装置の薄い二つの層の間の接着性は重要なデータである。界面の密閉率を用いて、非破壊的な方法で結合エネルギーの測定できることがわかった。
強度特性、特に小さな入射角で入射するＸ線の反射と界面における電子密度を用いた方法と装置が開示される。 （もっと読む）

【課題】
測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】
真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。
この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う
。 （もっと読む）

【課題】 異物混入により搬送系から外部に排出される被検査物の排出量を極力最少量に抑えることのできるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 管状搬送路１１中を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線照射手段１２と、被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段１３と、検出された透過Ｘ線量に基づいて被検査物が異物を含むか否かを判定する判定手段３１と、被検査物を搬送路外に排出可能な排出手段１４と、判定手段の判定結果に基づいて排出指令信号を出力する排出制御手段３２とを備えたＸ線異物検出装置において、搬送路中を搬送される被検査物の流速を計測する流速計測部２１を設けて、排出制御手段３２が、流速計測手段２１の計測情報に基づいて、異物を含む被検査物を排出手段１４により搬送路外に排出する排出タイミングを、制御する。 （もっと読む）

【課題】 検査振分中に何らかのトラブルで装置の運転が停止された場合において、搬送部上に残された物品の再検査を実施しても検査結果等の集計用データの履歴を正確に管理することが可能な検査振分装置を提供する。
【解決手段】 検査振分装置１は、重量判定ユニット２、搬送ユニット３、振分ユニット４を備えている。検査振分装置１は、重量判定ユニット２における検査が終了した物品について、振分ユニット４における振り分けが完了した後で、その物品についての集計用データを記憶部２１ｂに記憶させる。 （もっと読む）

本発明は、放射線撮影装置に関するものである。この装置は、重水素−重水素間のまたは重水素−三重水素間の核融合反応によって生成された実質的に単一エネルギーの高速中性子を生成するための中性子線源であるとともに、シールされたチューブ状のまたは同様の態様の中性子線源を具備している。装置は、さらに、撮影対象をなす対象物を実質的に透過し得る程度に十分なエネルギーを有したＸ線源またはガンマ線源と、中性子線源とＸ線源とガンマ線源とを包囲するコリメート用ブロックであるとともに、実質的に扇型形状でもって放射させるための１つまたは複数のスロットが形成されているような、ブロックと、を具備している。さらに、線源から放射された放射エネルギーを受領しさらにその受領したエネルギーを光パルスへと変換する複数のシンチレータ画素を備えた検出器アレイを具備している。
（もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像における背景の部分を正確に特定して補正を行うことで高精度な異物検出を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１０では、制御コンピュータ２０が、Ｘ線ラインセンサ１４における検出結果に基づいてＸ線画像を形成し、このＸ線画像に基づいて異物混入の検査を行う装置において、全体のＸ線画像における各部の明るさを抽出して背景部分と思われる部分を特定する。制御コンピュータ２０は、背景部分として特定された部分と、Ｘ線ラインセンサ１４の１ライン分に相当するＸ線画像の部分の最大明るさとを比較して、その１ライン分に相当するＸ線画像の部分の補正の可否を決定する。 （もっと読む）

【課題】 検査条件を規定するパラメータの自動設定を行う際の、Ｘ線異物検出装置からのＸ線の漏洩を防止できるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】 搬送部１１０と、Ｘ線発生器１２０と、Ｘ線ラインセンサ１３０と、筐体２０と、複数の遮蔽カーテンと、被検査物１がＸ線ラインセンサ１３０上を通過したことを検知する通過検知手段と、異物混入判定を行う制御処理部１４０とを備えたＸ線異物検出装置１００において、制御処理部１４０が、前記搬送部１１０が搬送する搬送方向を反転させる制御を含む所定の搬送制御を行う搬送制御手段１４４を有し、搬送制御手段１４４は、検査条件を規定するパラメータの自動設定において、被検査物１がＸ線ラインセンサ１３０上を通過したことを通過検知手段が検知したときから所定時間以内に搬送速度の減速を開始し、遮蔽カーテンが被検査物１によって開けられないように搬送制御を行う構成を有している。 （もっと読む）

【課題】
缶詰の被検査物に混入した異物を確実に検出できる異物検出方法、異物検出プログラム及び異物検出装置を提供する。
【解決手段】
缶詰の被検査物を透過したＸ線画像を処理して前記被検査物内の混入異物の有無検出を行う異物検出方法において、前記Ｘ線画像から周縁部及び周縁部に隣接した異物を示す周縁部異物画像と周縁部から孤立した異物を示す孤立異物画像からなる異物候補画像を生成する異物候補画像生成段階（Ｓ３）と、前記異物候補画像から前記孤立した異物を抽出する第１の異物抽出段階（Ｓ４）と、前記異物候補画像から前記周縁部異物画像の内周における突出した凸部を検出することにより前記周縁部に隣接した異物を抽出する第２の異物抽出段階（Ｓ５）と、抽出された前記孤立した異物と前記周縁部に隣接した異物を合成して出力する異物合成出力段階（Ｓ６）とから構成されている。 （もっと読む）