【課題】 位相シフト法より少ない周期パターンからでも、窓フーリエ変換法より正確に波面情報を算出することが可能な波面測定方法、プログラムとそれを用いた波面測定装置とＸ線撮像装置を提供すること。
【解決手段】 波面測定装置は、光源からの光で光周期パターンを形成する光学素子１４０，１５０と、光学素子からの光を検出する複数の画素を有する検出器１６０と、検出器の検出結果に基づいて被検体を透過した光の波面の複数の位置における波面情報を算出する算出手段１７０と、を備え、被検体の情報を取得する。算出手段は、第１の光周期パターンの検出時に第１の画素が検出した検出結果と、第１の光周期パターン検出時に第１の画素から３画素以内に配置されている第２の画素が検出した検出結果と、第２の光周期パターンの検出時に第１の画素が検出した検出結果と、を用いて、１つの位置における波面情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】介在物を起点とする金属の破壊現象を解明するための介在物及び亀裂の３次元構造観察方法において、効率的で高精度な観察方法を提供する。
【解決手段】転動疲労を受けた部材の転動軌道直下において、転動体転がり方向Ｆに略平行な角度をなし、かつ転動面Ｐに略直角な角度をなす１次観察断面Ｐ１を切断・研磨して形成した後、この１次観察断面Ｐ１を観察して介在物３と亀裂４の位置を特定する１次観察工程と、更に収束イオンビームを用いて、前記転動体転がり方向Ｆに対して略直角な角度をなす２次観察断面Ｐ２を所定間隔で連続的に形成して、連続的な断層写真６を取得する２次観察工程と、前記断層写真６を３次元に再構築して３次元的な内部の介在物と亀裂の構造を評価する画像処理工程とを含む、介在物３及び亀裂４の３次元構造観察方法であって、前記２次観察断面Ｐ２を連続的に形成する所定間隔が０．０５〜０．５μｍ、前記収束イオンビームの加速電圧が２０〜３５ｋＶ、ビーム電流が０．５〜１０ｎＡの範囲であること。 （もっと読む）

【課題】異物検出の閾値を高感度な状態に保ち、異物の誤検出を防ぎつつ高精度に検出することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査物ＷにＸ線を照射して検出したＸ線透過量を表すＸ線画像に対して、複数の画像処理フィルタを組み合わせてなる複数の異物強調処理を用いてそれぞれ並列に画像処理を行う画像処理部５０と、複数の異物強調処理を施した結果の濃淡画像から、それぞれ所定の閾値を用いて異物候補を検出する複数の異物候補検出部６１〜６４と、Ｘ線画像上の同じ箇所で複数の異物候補検出部６１〜６４によって異物候補が検出され、かつ、それらの異物候補が予め設定された異物の有無を判定するための複数の異物強調処理に対する異物候補の組合せであるときに、被検査物Ｗ中に異物が有ると判定する異物判定部４４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】テストピースを被検査物が流れるパイプの中に投入しなくても、簡単にＸ線の検
出感度を調整することができるＸ線異物検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】パイプ内を流れる被検査物にＸ線を照射し、透過したＸ線を被検査物の流れ
方向と直交する方向に配置されたラインセンサでもって検出するその検出領域のパイプの
外側に、被検査物の流れ方向に沿って延びるテスト用の線材を設け、その線材を被検査物
の流れ方向と直行する方向に前記ラインセンサと平行を保って移動させるようにする。 （もっと読む）

【課題】２つのＸ線画像上の被検査物の大きさの違いを、異物検出性能の低下が無視できる程度に低減することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線管３２をその鉛直軸上の位置を調整可能に支持する支持機構７１と、第１のＸ線画像データにおける被検査物Ｗの幅方向の波形である第１の波形と第２のＸ線画像データにおける被検査物Ｗの幅方向の波形である第２の波形とを取得して比較し、第２の波形の幅が第１の波形の幅より大きいときは、Ｘ線管３２の調整方向が鉛直軸上方であると判定するとともに、第２の波形の幅が第１の波形の幅より小さいときは、Ｘ線管３２の調整方向が鉛直軸下方であると判定する調整判定部８１と、調整判定部８１により判定された調整方向を表示する表示器５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】軸受の軸心方向と中性子線の入射方向とを正確に合わせ、軸受内部における潤滑剤の挙動を詳細に取得する。
【解決手段】軸受を支持する支持台１２ａを旋回させることによって軸心方向を調節し、軸心方向から軸受を透過した中性子線を受けて電磁波に変換し、当該電磁波を受けて撮像することにより上記軸受内部における潤滑剤の分布を示す潤滑剤分布データを取得する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線が外部に漏洩するのを抑制することができる。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、搬送装置５００によって搬送される物品Ｂに検査室Ｋ内でＸ線を照射して検査を行うＸ線検査装置である。そして、このＸ線検査装置は、検査室Ｋの物品Ｂの搬入出のための開口部に配置されるＸ線漏洩防止部材７００と、Ｘ線漏洩防止部材７００を回転可能に支持し、鉛直成分を含む方向（矢印Ｚ方向）に移動する回転軸７２０と、回転軸７２０の移動をガイドするガイド部７３０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】画像合成時の画像上の被検査物の位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】搬送路上を搬送される被検査物Ｗに互いに異なる強度のＸ線を照射するＸ線管１２ａ、１２ｂと、被検査物Ｗの搬送方向に配置され、異物判定に必要な解像度より高解像度であるとともにＸ線管１２ａ、１２ｂから照射され被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた画像データをそれぞれ出力するＸ線ラインセンサ５０、６０と、Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの画像データを合成して被検査物Ｗに対応する１つの画像データとして出力する画像合成部４４と、画像合成部４４からの画像データの画像サイズを縮小する画像縮小部４６と、画像縮小部４６が出力する画像データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電気的な接続信頼性を向上させる。
【解決手段】（ａ）半導体基板の主面上に、主導体膜（下地膜）７Ａおよび主導体膜７Ａ上のストッパ絶縁膜（被測定膜）６ｓを積層する工程、（ｂ）ストッパ絶縁膜６ｓに開口部８を形成する工程、を含んでいる。また、（ｃ）開口部８に電子ビーム（励起線）ＥＢを照射して、特性Ｘ線を放出させる工程、および（ｄ）特性Ｘ線を検出し、特性Ｘ線の検出結果に基いて開口部８の底部８Ｂにおけるストッパ絶縁膜６ｓの有無または膜厚を判定する工程、を含んでいる。また、（ｄ）工程では、特性Ｘ線に含まれる複数の元素成分の比率により、ストッパ絶縁膜６ｓの有無または膜厚を判定する。 （もっと読む）

【課題】
多元素同時分析を可能とし、運転に必要とされる洗浄作業や消耗品交換の保守作業を低減し、測定データをオンライン伝送する水質管理システムにも好適な蛍光Ｘ線水質計を提供する。
【解決手段】
測定試料の一部は脱泡槽１４の下部からノズル１３に導かれ、大気中に噴出することでセル等を用いずに流束を形成し、Ｘ線発生素子５からＸ線を投影する。陰極電圧可変用電源装置６はＸ線発生素子５が発生するＸ線のエネルギーが測定目的の元素に固有の蛍光Ｘ線エネルギーより大きくなるように調整され、流束から放射される固有の蛍光Ｘ線を半導体Ｘ線検出素子７で検出し、信号処理装置９で処理することで測定試料中に含まれる複数の元素を同時に測定し、その測定データを管理センターに伝送することで水質管理システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】シールドボックス内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、シールドボックス２００と、シールドボックス２００の内部に配置されたＸ線源３００およびＸ線源３００を制御する制御部８００と、を備えたＸ線検査装置である。このＸ線検査装置には、シールドボックス３００の天面部２３０の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏洩を防止しつつ、被検査物のＸ線検査を適切に実施する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物を検査する検査室Ｓ２と、検査室Ｓ２内に設けられたＸ線照射口ＵからＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検出する検出部４００と、検査室Ｓ２内に被検査物を搬入出させる搬送部５００と、検査室Ｓ２内へ被検査物を搬入出するための搬入出口２０１，２０２を遮蔽するＸ線遮蔽カーテン６７１〜６７６と、を含む。Ｘ線遮蔽カーテン６７３，６７６は、Ｘ線遮蔽カーテン６７３，６７６の鉛直方向の長さＣ１，Ｃ２が、Ｘ線照射口ＵからＸ線遮蔽カーテン６７３，６７６が配置されている位置までの水平長さＬ５，Ｌ６と比較して、略同一または短い位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の底面付近および被検査物の全体についても異物検査を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される被検査物ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００とを備えている。そして、Ｘ線源２００は、検査テーブル７１１の水平な搬送面と、被検査物Ｂの搬送領域のＸ線源２００から最も離れた位置Ｐとの交点Ｇへ入射するＸ線とのなす角（θ１）が０°より大きく且つ３０°以下を満たすように配置される。 （もっと読む）

【課題】被検査物の重心を正確に算出する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物Ｂに異物Ｃが混入しているか否かを検出する異物検出部と、異物検出部により検出された異物Ｃの重心Ｇ１を算出する異物重心算出部と、被検査物Ｂの異物Ｃを除いた対象部分Ｄの重心Ｇ２を算出する対象部分重心算出部と、異物重心算出部により算出された異物Ｃの重心Ｇ１と、対象部分重心算出部により算出された対象部分Ｄの重心Ｇ２とに基づいて、被検査物Ｂの重心Ｇを算出する重心算出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】既設ラインに容易に着脱ができ、さらにＸ線の漏洩を確実に防止することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、既設のトップチェーン型コンベア９００に対して着脱可能な連結ユニット１２０，１３０と、連結ユニット１２０，１３０の側方に配置される共通ユニット１１０とを備え、連結ユニット１２０，１３０は、共通ユニット１１０へ物品Ｂを搬入出する搬入口９１１Ａ，搬出口９１２Ａを有する漏洩防止カバー９１１，９１２と、共通ユニット１１０へ物品Ｂを搬入出させる受取部６００および受渡部８００とを含む。 （もっと読む）

【課題】 速やかにかつ簡便に絶縁性無機材料の焼結体の組織観察を行うことができる組織観察方法を提供する。
【解決手段】 本発明の組織観察方法は、鏡面研磨された焼結体である試料の表面に導電性コーティング層を形成する第一ステップ（ステップＳ４）と、集束イオンビームによって、前記表面に形成された前記導電性コーティング層の一部を除去することで前記試料の表面の一部が露出した観察面を形成する第二ステップ（ステップＳ５）と、走査型イオン顕微鏡による二次電子像で、前記観察面を観察する第三ステップ（ステップＳ６）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の検体容器内の検体の判定を効率的に行うことができる検体判定装置を提供する。
【解決手段】複数の検体容器が一列に立てられた検体ラックを載置する検体ラック載置部と、前記検体ラック載置部を、前記検体ラックに立てられた前記検体容器の列の方向に直交する水平線回りに所定の角度に傾斜させる傾斜部１２と、前記検体ラックに立てられた前記検体容器にＸ線を照射する照射部６と、前記照射部により前記検体容器に照射されたＸ線を検出する検出部７と、前記検出部による検出結果に基づいて前記検体容器内の検体の液面の角度を判定する液面判定部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光Ｘ線スペクトルと、前記基板の異物が付着した１或は複数箇所の蛍光Ｘ線スペクトルを測定して、複数のＸ線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する。
【解決手段】撮影する被検体５の層状構造の層面が、断層撮影面に交差するようにテーブル４上に載置し、撮影する被検体５に向けて断層撮影面に沿った放射線光軸を中心に放射線を放射する放射線源１と、被検体５を透過した放射線２を検出して透過像として出力する放射線検出器３と、テーブル４と放射線２とを相対的に回転させる回転手段７と、回転手段７と放射線検出手段３を制御して被検体５の層面が放射線２の光軸と平行に近くなる回転角度を優先的に複数の透過像をスキャンデータとして取り込んで記憶し、スキャンを実施するスキャン制御手段９ｃと、このスキャンデータから被検体５の断層撮影面に平行な少なくとも１枚の断面像を再構成する再構成手段９ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】経年変化の影響を受けても、良否判定を正常に実行することができるようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器と、Ｘ線検出器と、Ｘ線透過画像形成部と、良否判定部とを備えるＸ線検査装置において、良否判定部は、模擬劣化画質レベル設定手段を有し、模擬劣化画質レベル設定手段は、Ｘ線検査装置を模擬劣化状態にするために、判定基準に基づいて良品と判定されるようなＸ線透過画像である良品画像の画質を劣化させる目標レベルである模擬劣化画質レベルを設定し、設定された模擬劣化画質レベルに対応させて、Ｘ線発生器， Ｘ線検出器，Ｘ線透過画像形成部の少なくとも一つを制御して、Ｘ線検査装置を模擬劣化状態にし、模擬劣化状態にあるＸ線検査装置において良否判定が正常であることを確認する動作確認部を備える。 （もっと読む）