【課題】大口径の配管を現地で非破壊検査ができる配管の断層撮影装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】配管検査装置本体１００は、放射線源１と２次元放射線検出器２を対向配置する支持装置３と、軸方向駆動機構１９と、支持装置３を介して、放射線源１と２次元放射線検出器２を、配管横方向に並進移動させる横方向駆動機構１７，１８を備えている。制御コンソール２３において、軸方向駆動機構１９による並進走査の距離を設定するとともに、横方向駆動機構１７，１８の並進移動の横方向最大移動距離を設定する。また、横方向駆動機構１７，１８による配管横方向の並進移動の間隔を、２次元放射線検出器２の配管横方向の幅と、放射線源１と２次元放射線検出器２間の距離と、放射線源１と配管１５の放射線源１側表面までの所定距離とにもとづいて決定する。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー帯のＸ線を用いて測定対象の成分を計測できるとともに、測定対象に応じて識別すべきエネルギー帯を容易に変更できるＸ線成分計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１０から照射されたＸ線は、計測対象３０を透過して、Ｘ線検出器２０に入射する。Ｘ線検出器２０は、量子計数方式の検出器であって、予め設定された２個以上のしきい値で区切られたエネルギー帯のＸ線量子数を計数する。Ｘ線検出器２０により計数されたＸ線量子数に基づいて３種類以上の成分比を算出することができる。しきい値は、測定対象に応じて変更でき、しきい値を３個以上にとると、４種類以上の成分比を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査板の裏側の硬化物に生ずる空隙の厚さを、被検査板の外側に熱中性子線子カウント装置を設置して得られる計数率比から算定する方法を提案する。
【解決手段】型枠に注入する充填材の水分量（W）を測定し、水分量から、構造体の内部状態を中性子線で探知できる検知厚さ（Ｄ_Ｓ）を、関数式を用いて算定する過程と、充填材を同じ含水量で空隙を生じないように型枠に注入してなる試験体を用いて、空隙のない状態で速中性子線を照射したときに試験体の外へ放出される熱中性子線のカウント量（Ｎ_O）を求める過程と、構造体の被検査板の任意の場所に試験体と同量の速中性子線を照射したときに構造体の外へ放出される熱中性子線のカウント量（Ｎ_ｐ）を求める過程と、（Ｎ_ｐ／Ｎ_O）を求め、これから空隙比率（Ｔ_Ｐ）を求める過程と、この空隙比率に検知厚さを乗じて空隙の厚さ（Ｄ_Ｖ）を求める過程とからなる。 （もっと読む）

【課題】既知の反射特性を有する第１層と、第１層上に形成された第２層を有するサンプルの検査方法を提供する。
【解決手段】本方法は、サンプル表面へ放射線を向けること、表面に対する仰角の関数として反射信号を生成するためにその表面で反射された放射線を検知することを含む。第１層からの放射線の反射による特徴は反射信号で同定される。同定された特徴と第１層の既知の反射特性とに対応して反射信号が較正される。その較正された反射信号は第２層の特性を決定するために分析される。他方で、向上された検査方法も同様に開示する。 （もっと読む）

本発明は、(ａ)支持構造体(１０８)の第１の面上に配置されている第１の材料層(１１０)であって、この第１の材料層はこれに入射荷電粒子(１０４)が当るのに応答して二次電子を発生するように構成されているとともに、開口(１１２)を有しており、この開口は入射荷電粒子の一部がこの開口を通過するように構成されている当該第１の材料層と、(ｂ)支持構造体の第２の面上に前記第１の材料層から例えば、０．５cm以上の距離だけ離間されて配置されている第２の材料層であって、この第２の材料層は、荷電粒子が前記開口を通過してこの第２の材料層に当るのに応答して二次電子を発生するように構成されている当該第２の材料層とを具える装置、システム及び方法を提供するものであり、装置は荷電粒子検出器とする。
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【課題】 対象面に浮遊物が付着することを抑制するためのガスを噴射するノズルの、当該対象面に垂直な方向の設置スペースを従来よりも小さくする。
【解決手段】 スリットノズル４１ｂによって、センサ面３１ａの下方の空間の周方向全体（全周）から、センサ面３１ａの下方の空間に対してガスを噴射するに際し、ガス噴射軸の角度θと、ガス噴射の広がり角度γとの関係が、０＜θ≦γ／２、好ましくはθ＝γ／２の関係を満足するように、スリットノズル４１ｂの形状を決定する。したがって、従来のように、センサ面３１ａに垂直な方向に、２種類のノズルを形成する必要がなくなる。よって、センサ面３１ａに垂直な方向におけるノズルの設置スペースを従来よりも小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】設置スペースの増加を最小限に抑えつつ、再検査の対象の物品を自動で再供給することが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、通常検査の対象の物品５０を搬送する領域６Ｐと、再検査対象物品５０Ｑを搬送する領域６Ｑとを有するベルトコンベア６と、ベルトコンベア６が搬送している物品の検査を行う検査手段と、領域６Ｐを搬送されてきた物品５０を、検査手段による検査結果に応じて良品５０Ｐと再検査対象物品５０Ｑとに振り分ける振分部１０Ｐと、ベルトコンベア６の下方に配置され、振分部１０Ｐから受け渡された再検査対象物品５０Ｑを、ベルトコンベア６による搬送方向とは逆方向に搬送するベルトコンベア１７と、ベルトコンベア１７から受け渡された再検査対象物品５０Ｑを、ベルトコンベア６の上流部において領域６Ｑに供給する供給部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐことができるＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法を提供すること。
【解決手段】 測定対象の元素のＸ線吸収端より低いエネルギーの第１の特性Ｘ線を試料Ｓに照射する第１のＸ線管球１１と、元素のＸ線吸収端より高いエネルギーの第２の特性Ｘ線を試料Ｓに照射する第２のＸ線管球１２と、第１の特性Ｘ線が試料Ｓを透過した際の第１の透過Ｘ線を受けてその強度を検出する第１のＸ線検出器１３と、第２の特性Ｘ線が試料Ｓを透過した際の第２の透過Ｘ線を受けてその強度を検出する第２のＸ線検出器１４と、検出された第１の透過Ｘ線の強度の分布を示す第１の透過像と検出された第２の透過Ｘ線の強度の分布を示す第２の透過像とを作成し、第１の透過像と第２の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部１５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 測定対象元素のＸ線吸収端より低いエネルギーの第１の特性Ｘ線を試料Ｓに照射する第１のＸ線管球１１と、元素のＸ線吸収端より高いエネルギーの第２の特性Ｘ線を試料に照射する第２のＸ線管球１２と、第１の特性Ｘ線及び第２の特性Ｘ線が試料を透過した際の第１の透過Ｘ線及び第２の透過Ｘ線を検出する第１のＸ線検出器１３及び第２のＸ線検出器１４と、第１の透過Ｘ線の第１の透過像と第２の透過Ｘ線の第２の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部１５と、を備え、試料と第１のＸ線管球との間に第１の特性Ｘ線よりも高いエネルギーのＸ線吸収端を有する元素の第１のフィルタＦ１を配すると共に、試料と第２のＸ線管球との間に第２の特性Ｘ線よりも高いエネルギーのＸ線吸収端を有する元素の第２のフィルタＦ２を配する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線反射率法を用いて積層体の層構造を正確に解析することのできる方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】このＸ線反射率法を用いた積層体の層構造解析方法は、例えば多層膜である試料にＸ線源からＸ線を照射する照射工程と、該試料から反射されるＸ線を検出器で検出する検出工程と、この検出されたＸ線の前記照射されたＸ線に対する割合であるＸ線反射率を測定器で測定する測定工程と、解析器で、前記試料に表面粗さ又は界面粗さがある場合において該試料の表面又は界面において該表面又は界面の凹凸により鏡面反射方向以外の方向にＸ線が散乱する、散漫散乱に伴う該表面又は界面での反射Ｘ線と透過Ｘ線の干渉成分の減少を加味して、前記測定されたＸ線反射率を解析する解析工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の残肉厚を適切に検出することができる非破壊検査方法を提供する。
【解決手段】所定の厚みを有する配管１０Ｂ等の検査対象物にγ線Ｅ_０をその厚さ方向に照射し、コンプトン効果により散乱された散乱γ線Ｅのうち特定のエネルギーを有する単色の散乱γ線Ｅを弁別し、弁別した散乱γ線Ｅに基づき前記配管１０Ｂの散乱γ線Ｅによる二次元の画像Ｃ１´，Ｃ２´を得、この二次元の画像Ｃ１´，Ｃ２´を正常な配管１０Ａの画像Ｃ１，Ｃ２と比較することにより前記配管１０Ｂの状態を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】密閉容器においても、非破壊で、被検体の内容物と内容物表示物に記載の内容物との整合性の評価が可能な密閉容器の非破壊検査方法及び非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象物が密閉容器に収容された被検体に放射線を側面から照射して前記被検体を透過した放射線をイメージセンサにより検出することにより放射線の強度に応じた強度信号を得る第１の信号取得工程と、前記第１の信号取得工程により得られた前記強度信号を処理して前記被検体の検査対象物の画像情報を生成する第１の画像情報生成工程と、前記第１の画像情報生成工程により得られた前記画像情報に基づいて、前記被検体の検査対象物と前記被検体の検査対象表示物に表示された検査対象物との整合性を判断する判断工程と、を有することを特徴とする密閉容器の非破壊検査方法を使用する。 （もっと読む）

【課題】短時間で干渉性のＸ線を試料に位置合わせ可能な試料分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線光軸と試料１との位置合わせ時、分光器１１により、干渉性のＸ線または干渉性のＸ線の光軸と一致させた光軸を有するＸ線から、試料測定時よりも長い波長のＸ線を抽出して照射し、分析対象の試料１へのＸ線の照射位置に開口部１４ｈを有し照射位置外に照射されるＸ線を吸収するＸ線吸収層１４ｃが形成された試料保持部１４により、照射位置外に照射されるＸ線を吸収し、検出器１５により、試料保持部１４に保持される試料１に照射したＸ線の透過Ｘ線強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】 リサイクルの対象となる樹脂片を材質別または特定物質の含有率別に精度よく選別可能な樹脂選別装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 樹脂選別装置１においては、樹脂片２を各々吸着筒５により個別に吸着保持、搬送される樹脂片２に電磁放射線を照射し、樹脂片２より取り出された電磁放射線量を検出し、樹脂片２の材質または樹脂片に含有されている特定物質の含有率を識別して、樹脂片２を選別基準に従って選別回収するものである。これにより、樹脂片を材質別または特定物質の含有率別に精度よく選別回収することが容易にできるといった効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】 膜の評価方法及び強誘電体メモリの製造方法に関し、表面に凹凸の多い薄膜の膜厚等をＸ線反射率法により精度良く測定する。
【解決手段】 膜を構成する結晶粒の平均粒径が２００ｎｍ以上、或いは、平均粒径が２００ｎｍ以上の結晶粒同士の一部が融合した融合結晶粒を含む被膜を被測定膜の表面に成膜する工程と、前記被膜及び前記被測定膜にＸ線を照射する工程と、前記被膜及び前記被測定膜から反射したＸ線の強度を測定してＸ線反射率法によって前記被測定膜の少なくとも膜厚を測定する工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢにより試料を作製する際に試料の表面に形成されたアモルファス層の厚さを、試料を破壊することなく正確に確認、評価する。そして、その結果に基づいて、多くの時間と手間を掛けることなく、アモルファス層を的確に可能な限り低減、除去して、良好な観察を行うことができるＴＥＭ試料を提供する。
【解決手段】表面にアモルファス層が形成されている試料の表面に電子線を照射し、試料を透過して得られた電子回折図形の輝度に基づいて、アモルファス層の厚さを評価する。電子回折図形内の回折スポットを結ぶ直線における輝度のラインプロファイルの内、最も高い輝度をＹ２とし、最も低い輝度をＹ１としたときの輝度の比率（Ｙ１／Ｙ２）を、アモルファス層の厚さが既知である他の試料における輝度の比率（Ｙ１／Ｙ２）と比較してアモルファス層の厚さを評価して、アモルファス層の厚さが所定の値以下となるまで、アモルファス層を低減、除去する。 （もっと読む）

基板のシート上に堆積されたコーティング材料の重量を測定するために、改良された差分コート重量技術は、新規なアルゴリズムを採用する。本発明は、デュアルｘ線または原子力ゲージを採用し、下流のセンサは、コートされていないシート基板にさらされることはないが、下流のセンサに、コートされていないシート基板を測定したときに生じるであろう結果を予測する能力を備えさせ、上流および下流のセンサからの測定値から直接的に確かめていた連量の測定方法から、コート重量較正プロトコルの発展を導く。結果の引き算は必要ではない。さらに、２つのセンサは、コーティングおよび基板の相対的な比率が変化したとしても再較正の必要がない。本技術は、特に、コーティング材料および基板が、原子量の大きく異なる材料から形成されるような用途に好適である。 （もっと読む）

【課題】物品供給装置からＸ線検査装置の搬送コンベアへの物品供給量を適正に制御することにより、正確な異物検査を実行することが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品５０を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、上流の物品供給装置１２から供給された物品５０を、Ｘ線照射部７とＸ線検出部８との間のＸ線照射経路１００を通過するように搬送する搬送コンベア６と、Ｘ線検出部８の検出結果（データＳ１）から求めた物品５０の厚みに基づいて、物品供給装置１２から搬送コンベア６への物品供給量を制御するコンピュータ９とを備える。 （もっと読む）

【課題】層界面領域に達する前に、照射面の層界面領域への近接を検出することが可能な電子分光分析方法を提供する。
【解決手段】試料に電子を励起させる励起線を照射し、試料から放出され、第１の層の構成元素に由来する第１の電子の信号強度を測定し、試料から第１の電子とともに放出され、第２の層の構成元素に由来する第２の電子の信号強度であって、前記第２の層が前記試料の表面を形成しているときに測定される運動エネルギーである第１の運動エネルギー（Ｅｋ（Ｓｉ２ｓ）、Ｅｋ（Ｓｉ２ｐ））よりも低い第２の運動エネルギー（Ｅｋ（１）、Ｅｋ（２）、Ｅｋ（３））を有する第２の電子の信号強度を測定し、第２の電子の信号強度の変化度合いが所定のレベルに達したときは、試料の分析条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管の第１グリッド電圧の制御代を正規化し、ＶＩ特性の器差を抑えると共に、寿命予測を標準化することを可能としたＸ線式厚さ測定装置を実現する。
【解決手段】 第１グリッド及び第２グリッドを有し、前記第１グリッド電圧により管電流が制御されるＸ線管から放出されるＸ線をシート部材に照射し、その透過減衰量に基づき前記シート部材の厚さを測定するＸ線式厚さ測定装置において、
前記第２グリッドに接続される可変電圧源を備える。 （もっと読む）