【課題】転倒しやすい被検査物を安定的に搬送でき、Ｘ線漏洩のおそれが少なく、機長が過大とならず設置スペースが小さくて済むＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生手段及び検知手段を有する筐体２の前段から後段に搬送手段6,8 で被検査物を搬送する。筐体外の搬送手段８を覆っているカバー９の端面11は閉止され、端面の近傍であって搬送方向に平行なカバーの壁面の一方に開口12が形成され、ここで外部搬送手段７の端部と搬送手段８の端部が並列している。ここに設けられた案内手段15により、開口を経て外部搬送手段と搬送手段との間で被検査物が乗り移る。カバーの機長を短くしても開口からＸ線が漏洩する可能性は低く、かつ略Ｚ型の経路で被検査物は安定して乗り移れる。 （もっと読む）

【課題】パッケージ材料で封止した部品中の単結晶基板の反りを、部品を破壊することなくパッケージ材料越しに回折Ｘ線を用いて測定する。
【解決手段】Ｘ線検出器１を固定したまま、入射Ｘ線４の波数ベクトル８の方向から測定した試料ステージ６の回転角ωを変化させると、ブラッグ条件が満たされるとき、すなわち試料３０内のＳｉチップの照射領域の表面と入射Ｘ線４の波数ベクトル８とのなす角αがある特定の値をとるとき、Ｘ線の結晶回折が生じＸ線検出器１で回折Ｘ線９が検出される。ここで、試料３０は、プリント基板上にＳｉチップが搭載され、それらがモールドにより封止した構造である。Ｘ線検出器１は、モールド越しに回折Ｘ線９を検出し、ロッキング曲線を取得することができる。このロッキング曲線に基づいて、Ｓｉチップの反り測定ができる。 （もっと読む）

【課題】非破壊で微細構造パターンの側壁形状を測定することにより、所望する寸法パターンの転写結果が得られるかを判定することができるマスク検査方法を提供する。
【解決手段】ＳＥＭ写真撮影時の電子ビームの電流値と、ＳＥＭ画像のホワイトバンド幅から微細構造パターンの傾斜角度を算出し、ＳＥＭ画像の微分プロファイルから微細構造パターンのボトム部の裾引き度合いを算出する。そして、ＣＤ−ＳＥＭを用いることにより、非破壊でパターンの傾斜角度と裾引き度合いを測定でき、転写シミュレータを利用することで、所望する寸法パターンの転写結果が得られるかを精度良く判定することができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭによって得られたパターン画像のボケを除去し、ＡＦＭなどの他の計測機で得られたパターンの高さ方向の情報と合わせ、試料表面のパターンの３次元形状を簡便にかつ精度良く計測する方法を提供する。
【解決手段】試料表面のパターンに収束させた電子ビームを照射して走査し、ＳＥＭ画像を取得し、前記ＳＥＭ画像から作成したＳＥＭ画像のコントラスト形状と、１次電子ビームの強度分布とから、デコンボリューション操作により前記パターンの２次電子の発生効率を算出し、予め走査型プローブ顕微鏡で前記パターンの形状を計測して得た深さ方向の情報を基に予測した前記パターンの２次電子の発生効率とを用い、前記各々の２次電子の発生効率を比較照合し、前記パターンの三次元形状を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】故障箇所も特定可能な描画エラーの検証方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の描画エラーの検出方法は、複数のショットパターンが間に入らない間隔で、かかるショットパターンに成形された荷電粒子ビームを連続してショットする描画工程（Ｓ１０２）と、複数のショットパターンが間に入る間隔で、ショットパターンに成形された荷電粒子ビームをショットする描画工程（Ｓ１１４）と、両描画工程で同位置にショットされたはずのショットパターン同士の位置を比較し、結果を出力する工程（Ｓ２０２）と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおける液滴の挙動を観察する。
【解決手段】ノズル１３が連通する液室１２に充填された液に振動印加または加熱により液滴１５をノズル孔１４から射出させる液滴吐出ヘッド１０に対しエックス線をパルス照射する照射手段と、照射手段により照射された液滴吐出ヘッドのエックス線透過像または反射像を画像化する画像化手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査部と計量部とが単一のユニットとして構成された計量装置において、Ｘ線漏洩防止部材が計量に与える影響を低減し得る、計量装置を得る。
【解決手段】計量装置１は、物品通過用の搬出口３Ｂが形成されたシールドボックス２と、シールドボックス２の内部に配置され、物品５０の重量を計量する計量部４と、シールドボックス２の内部において計量部４に連続して配置され、物品５０にＸ線を照射し、物品５０を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査部５とを備え、計量部４は、物品５０を搬送する搬送コンベア１０と、搬送コンベア１０上を搬送されている物品５０の重量を計量する計量器１１と、搬送コンベア１０に取り付けられ、Ｘ線が搬出口３Ｂからシールドボックス２の外部に漏洩することを防止するためのシールド板１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】特性Ｘ線の検出結果に基づいて、試料中の粒子を適切に区分・識別表示することができる粒子解析装置、データ解析装置、Ｘ線分析装置、粒子解析方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置では、試料ＳのＳＥＭ画像をＳＥＭ画像処理部１４で生成し、試料Ｓに含まれる複数の粒子をＳＥＭ画像に基づいて検出し、各粒子に電子銃１１から電子線（放射線ビーム）を照射し、各粒子から発生する特性Ｘ線をＸ線検出器２１で検出する。更にＸ線データ解析部２３は、特性Ｘ線の検出結果から各粒子に含有される複数の元素の含有量を求め、粒子解析装置３は、各粒子に係る複数の元素の含有量に対して主成分分析を行い、主成分分析により得られた各粒子に係る複数の主成分得点を用いて階層型クラスター分析を行うことにより、試料Ｓに含まれる多数の粒子を組成に応じた複数のグループに分類する。 （もっと読む）

【課題】少ないサンプル量でリサイクル樹脂片の平均臭素濃度を求めることができる樹脂の臭素濃度推定方法および推定システムを提供することを目的としている。
【解決手段】評価対象樹脂片群の中から、無作為に抽出した分析用樹脂片群を、Ｘ線の透過率の違いにより分析基準濃度以上の臭素を含有する第一の樹脂片群と分析基準濃度未満の臭素含有する第二の樹脂片群とに分別し、蛍光Ｘ線分析により第一の樹脂片群の臭素濃度分析と、第二の樹脂片群から更に無作為に抽出した樹脂片群の臭素濃度分析とにより、評価対象樹脂片群の平均の臭素濃度を推定するものである。これにより、少ない分析用樹脂片群の量で高精度に平均臭素濃度を推定できる。 （もっと読む）

【課題】被写体によって生じた集光Ｘ線ビームの屈折角を高い分解能でかつ短時間で検出可能とし、高い空間分解能で被写体を観察できるＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】集光Ｘ線ビームの角度分布の端が回折条件を満たすように入射角を調整した結晶のＸ線回折を利用して、被写体によって生じた集光Ｘ線ビームの屈折角を検出する。 （もっと読む）

【課題】ハードウエアの追加を伴わない簡単な構成で、Ｘ線照射の絞りを変更するためのＸ線遮蔽板の位置ずれを検知する。
【解決手段】設定されているものと異なる絞り孔４ａ〜４ｄの選択が指示されると、制御部１０は現在の絞り孔に応じた数のパルス信号をパルスモータに送ってＸ線遮蔽板４をホームポジションＰ２に戻し、その後、センサ１３により原点位置Ｐ１に来たことが検出されるまでパルス信号を計数しつつパルスモータを駆動する。その計数値と規定数との差が許容値以下であるか否かを判定し、許容値を超えている場合、ホームポジションが適切でなく元のＸ線遮蔽板４の位置が異常であると判断して表示部１２にエラー表示を行う。また、絞り孔の変更がない場合でも規定回数毎に同様の異常検知を実行することで、絞り孔の位置がずれた状態で取得された可能性のある信頼性のないデータの棄却を可能とする。 （もっと読む）

【課題】特性に大きな影響を与える鉄基粉末の表層に付着する結合剤、副原料、潤滑剤や流動性改善粒子の被覆率、特に、結合剤、副原料および潤滑剤等としてカーボンブラック以外の炭素含有物を用いる場合や、流動性改善粒子としてカーボンブラックを用いる場合に好適な、鉄基粉末の被覆率を定量的に測定する方法を提供すること。
【解決手段】鉄基粉末の表層に０．１〜５ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子線を照射し、鉄基粉末の表層から放出される二次電子量を測定し、該二次電子量から鉄基粉末の表層における炭素含有物の被覆率を求めることを特徴とする、鉄基粉末の被覆率の測定方法を用いる。または、鉄基粉末の表層に０．１〜２ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子線を照射し、同様に鉄基粉末の表層に被覆している炭素含有物に対するカーボンブラックの被覆率を求めることを特徴とする、鉄基粉末の被覆率の測定方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】 天然資源の開発では失敗すると多大な損失を負うことになる。従来の技術には不確実性があり、そしてその発見には手間取った。
【解決手段】 本発明においては中性子線の強い透過力を利用して地中の透過撮影をして透過写真を撮るので天然資源の所在位置を正確に把握できる。 （もっと読む）

複数成分流れにおける粒子監視、特にインライン粒子監視及び対象物の選択操作のためのシステム及び方法が開示される。例示のシステムは、不透明な流体キャリア中の粒子などの成分を監視するための検出システムを含むことができる。例示のシステムは、少なくとも第１の波長範囲の光波に不透明な流動性試料を閉じ込めることと、流動性試料を第１の方向に圧縮し、同時に試料を流動性試料の流れの方向と平行かつ第１の方向に垂直な第２の方向に制限し、同時に試料を第１及び第２の方向に垂直な第３の方向に伸長することを含む。試料が第１の方向に圧縮された時、試料は、第１の波長範囲内の少なくとも１つの波長に透明になり、粒子検出のための光学的手段が使用可能になる。システムはまた、検出成分を流体キャリア中の他の成分から操作するための弁又はアクチュエータなどの装置を含むことができる。制御装置又は他の処理装置が、検出成分のデータを受け取って処理し、関心のある成分を残りの流動性試料と区別することができる。成分が認識されると、制御装置は、流れ操作装置を検出システムと同期させて、流体キャリアから検出成分を操作する。
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【課題】ガラス基板の面取斜面の異物を発見することができる検査方法及び検査装置及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ステージ上に搭載したガラス基板の表面の欠陥に電子線を照射して検査する検査方法において、ガラス基板の面取斜面を検査する際の面取斜面と電子線との照射角度が、ガラス基板の磁性層形成面を検査する際の磁性層形成面と電子線との照射角度と同じとなるように、ステージを傾けることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明はイオンビーム顕微鏡を用いた試料検査に関するものである。幾つかの実施形態では、本発明は、各検出器は試料についての異なる情報を提供する複数の検出器を用いるものである。
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１つ又は複数のサンプルからの電子を検出するシステム及び方法を開示する。いくつかの実施形態では、本システム及び方法は、サンプル表面からの二次電子を偏向させるための１つ又は複数の磁場源を含む。
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【課題】平面視における被検査物の搬送方向長さが一定ではない場合でも、簡易な構成のままで被検査物の検査を効率よく実施することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０では、コンベア１２によって搬送される商品Ｇに対して、Ｘ線照射器１３からＸ線を照射し、Ｘ線ラインセンサ１４において検出されたＸ線量に基づいてＸ線画像を作成して異物混入の検査を行う装置であって、制御コンピュータ２０が、ユーザによって選択可能な第１モードと第２モードとを有している。第１モードでは、商品Ｇ１がＸ線ラインセンサ１４上を通過している間、Ｘ線ラインセンサ１４において検出されるＸ線透過量に基づいてＸ線画像を作成する。第２モードでは、商品Ｇ１の先頭を検知してから所定の距離ｄの分だけＸ線透過量に基づいてＸ線画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査時にＸ線強度調整体を容易に用いることができるようにする。
【解決手段】Ｘ線強度調整体１は、上面に円形の開口部１ａを、下面に円形の穴部１ｂを有している。Ｘ線強度調整体１の内部では、開口部１ａから穴部１ｂにかけて、円錐面を成すテーパ部１ｃが形成されている。Ｘ線強度調整体１を球状の被検査物１１のＸ線画像の撮像時に用いることにより、被検査物１１とＸ線強度調整体１とを透過したＸ線画像の強度を被検査物１１の全体について略一様にすることができ、精度良く非破壊検査を行うことができる。Ｘ線強度調整体１をＸ線エリアカメラ３とＸ線源２との間に配置した状態で、開口部１ａを介してテーパ部１ｃに被検査物１１を載置することにより、容易に、被検査物１１を検査可能にすることができる。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を効率良く行うことのできる検査方法等に関し、装置のメンテナンスの向上を可能にする検査方法及びそれに用いられる試液を提供する。
【解決手段】一部が膜３２から構成された試料保持体４０に液体試料２０として培地３９と細胞３８が入れてある。この液体試料に閉塞物質４１を混入させる。膜３２の下方から膜３２を介して一次線を細胞３８に照射可能で、その時に発生する二次的信号を検出することで細胞の像や情報を得ることができる。膜３２が一次線照射や、何らかの機械的刺激により破壊された場合であっても、閉塞物質４１が膜の破損個所を閉塞するので液漏れを最小限にすることができる。従来、膜の破壊毎に装置を洗浄する必要があったが、本発明により少なくとも１０回膜が破壊されても洗浄の必要性がなくなる。 （もっと読む）