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Fターム[2G001NA03]の内容

Fターム[2G001NA03]に分類される特許

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【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するA工程と、液中のSiの質量数28、Pの質量数31およびPO不純物の質量数47の質量スペクトル強度を計測するB工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するC−1工程、この固形物中のSi、P、PO元素の真空中でのエネルギー強度を測定するC−2工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するC−3工程、C−3工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記B工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のSi、P,POの真の不純物量を求める。 (もっと読む)


【課題】XPS法を用いた化学状態分析において、内殻スペクトルのピーク形状が非対称であっても、表面の化学状態を定量的に評価できる導電性材料表面化学状態の定量的評価方法を提供する。
【解決手段】表面に官能基修飾処理が施されていない導電性材料について、XPS法によって構造の異なる2種類以上の内殻スペクトルそれぞれをXY座標に表示する第一工程と、第一工程においてXY座標に表示された内殻スペクトル全ての内殻スペクトルに当て嵌まるように、それら内殻スペクトルをXY座標の2以上の対称な関数に分解し、それら2以上の対称な関数の和によってXY座標に表示された非対称なピーク関数を定義する第二工程と、測定対象の導電性材料について、非対称なピークを第二工程において定義された非対称なピーク関数を用いて分解し、そのピーク関数のXY座標の面積の和を非対称なピーク面積として算出する第三工程とを含む導電性材料表面の定量的評価方法である。 (もっと読む)


【課題】測定時間を短くすることができ、且つ簡易な構成で完全分光を実現することができるX線分光検出装置を提供する。
【解決手段】X線分光検出装置1Aは、X線若しくは電子線の照射によって該試料10表面における直径100μm以下の微小分析点Pから放射された特性X線2を波長毎に分光して検出する。X線分光検出装置1Aは、分光結晶20及び二次元X線検出器30を備える。分光結晶20は、微小分析点Pから放射された特性X線2を受ける平坦な回折反射面20aを有し、特性X線2に含まれる波長成分のうち該回折反射面20aへの入射角に応じた波長成分を回折反射することにより、特性X線2を波長毎に分光する。二次元X線検出器30は、分光結晶20において回折反射した特性X線2を受ける受光面30aを有し、該受光面30aに入射した特性X線2の入射位置および強度に関するデータを生成する。 (もっと読む)


【課題】鋼中介在物の組成や大きさを迅速に測定すること。
【解決手段】鋼中介在物の分析方法は、鋼片試料に電子線を第1の加速電圧で照射することによって反射電子像を取得し、取得した反射電子像から鋼組織と鋼中介在物とを識別するステップと、鋼中介在物と判定された鋼片試料領域に電子線を第1の加速電圧とは異なる第2の加速電圧で照射することによって発生する特性X線を検出し、検出された特性X線から鋼中介在物の組成に関する情報を取得するステップと、を含む。これにより、鋼中介在物の組成や大きさを迅速に測定することができる。 (もっと読む)


【課題】長期間にわたって使用できるとともに、正確なドリフト較正をすることができる、液体試料の蛍光X線分析用の較正試料等を提供する。
【解決手段】本発明の較正試料20は、液体試料Sの蛍光X線分析において、分析対象金属元素の測定X線強度の経時変化を較正するための固体の較正試料20であって、分析対象金属元素を含む金属層21と、水素、ホウ素、炭素、窒素、酸素およびフッ素のうち少なくとも1つの軽元素を最大のモル分率とする厚さ1mm以上の軽元素層22と、が重ねられて形成され、金属層21において、軽元素層22との対向面の反対側の面を分析面23とする。 (もっと読む)


【課題】表面処理を行ったフィルム、ここでは薬剤による化学的処理や微細形状加工などを除く、不安定で失効しやすい表面改質処理を行なったポリマーフィルムを対象とした評価を行うに当り、測定用装置によって生じたダメージに起因する誤差を修正して、より正確な初期表面状態を容易かつ簡便に評価可能な技術を提供することを課題とする。
【解決手段】コロナ処理など不安定な表面改質処理を行ったポリマーフィルムについて、その表面状態を定量的に評価するに際し、測定用装置によって生じたダメージに起因する誤差を修正して、より正確な初期表面状態の評価を行う。 (もっと読む)


【課題】実際の実環境において部材に発生した損傷部について、正確且つ簡略に損傷の原因を検査可能な検査方法を提供すること。
【解決手段】部材(10)に発生した損傷部(11)を被覆するように樹脂材料(12)を塗布する保護工程と、前記損傷部(11)を切り出すサンプリング工程と、前記樹脂材料(12)が形成された状態で前記損傷部(11)の分析を行う検査工程とを設ける。また、前記保護工程は、前記サンプリング工程の前に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 試料分析方法及び試料分析装置に関し、不安定な中間酸化物を含む酸化膜を表面に有するシリコンを主成分とする基板を酸素一次イオンにより精度良く分析する。
【解決手段】 シリコンを主成分とし、表面に中間酸化物を含む酸化膜を有する被分析試料の表面に90eV以下のエネルギー範囲で酸素イオンを供給して前記中間酸化物を含む酸化膜を改質させる前処理工程と、前記前処理工程の後に、二次イオン質量分析を行う工程とを設ける。 (もっと読む)


【課題】低接触抵抗、高はんだ濡れ性及び低挿入力を有するSn系めっき材を提供する。
【解決手段】Sn系めっき材10は、金属基材11、金属基材11上に形成された下地めっき12、下地めっき12上に形成されたAgを含むSn系めっき13を備える。Sn系めっき材10は、XPS(X線光電子分光装置)でDepth分析を行ったとき、Snの原子濃度(at%)の最高値を示す位置(DSn)及びAgの原子濃度(at%)の最高値を示す位置(DAg)がSn系めっき13表面からDSn、DAgの順で存在し、Sn系めっき13に含まれるAgが1〜200μg/cm2であり、Sn系めっき13に含まれるSnが2〜220μg/cm2である。 (もっと読む)


【課題】集束イオンビームを利用する微細加工により、微細粒子の凝集体からなる膜の断面を、透過電子顕微鏡観察する目的の薄片化試料を作製する際、微細加工端面に露呈する微細粒子の剥落を防止でき、また、薄片化された部位の大気暴露を防止可能な、薄片化試料の作製方法を提供する。
【解決手段】微細粒子の凝集体からなる膜から抽出した試料片に対し、その二つの断面に集束イオンビームを利用する微細加工を施し、薄片化を行う工程中、各断面に微細加工を施した後、微細加工端面を被覆する、均質な材料からなる薄膜をそれぞれ形成する。形成される均質な材料からなる薄膜は、微細加工端面に露呈する微細粒子の剥落を防止し、また、微細加工端面の大気暴露を防止する、被覆膜として利用される。 (もっと読む)


【課題】二次イオン質量分析法によるシリコン母材上のシリコン酸化膜中の窒素の深さ方向濃度分布測定においては、既知の濃度の標準試料によってその信号強度との比較から、測定試料における窒素濃度の定量を行っている。窒素イオンに係わる分子イオンの検出信号は、試料測定時に試料室内真空度や試料最表面に汚染状態によって変化するため、測定試料が変わるたびに、毎回その状態における標準試料を測定して、それとの比較で定量を行う必要があり、時間と手間が非常にかかっていた。
【解決手段】予め、例えば二次イオン質量分析におけるSiOの検出信号強度の一次イオン照射時間依存性において、信号強度極小値を示す照射時間と測定試料のピーク濃度との関係から、真空度や汚染に依存しない検量線を導出し、それから測定試料のピーク濃度を定量する。これにより短時間で従来法と同等の定量化された深さ方向濃度分布を得ることが可能となった。 (もっと読む)


【課題】簡易迅速に潤滑油のダイリューションの発生を早期に検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置40は、ディーゼルエンジン10から排出される潤滑油32の一部を抜き出す潤滑油分取ラインL11と、潤滑油分取ラインL11から抜き出した潤滑油32に酸性薬剤47を添加する酸性薬剤供給手段41と、潤滑油32を加熱して潤滑油32中に含まれる無機成分を炭化し、炭化物50を生成する電気炉42と、炭化物50を検出する分析装置43と、を有し、分析装置43で得られた検出結果から燃料油中に含まれる無機成分を検出する。 (もっと読む)


【課題】簡易な測定が可能であり、かつ、測定対象物を破壊することなく、浸炭深さを定量的に把握しうるCr含有合金の浸炭深さ測定方法を提供する。
【解決手段】浸炭深さが異なるCr含有合金の複数の試料についてポータブル型蛍光X線分析装置により分析を行って(ステップS2)、クロム及びクロム以外の金属元素の濃度と浸炭深さとの関係を予め求めておく(ステップS4)。次に、測定対象物であるCr含有合金について前記ポータブル型蛍光X線分析装置により分析を行って、該測定対象物中のクロム及びクロム以外の金属元素の濃度を測定する(ステップS6)。この後、予め求めた前記関係に基づいて、前記測定対象物中のクロム及びクロム以外の金属元素の濃度の測定結果から、前記測定対象物の浸炭深さを求める(ステップS8)。 (もっと読む)


【課題】宇宙線ミュオン用いて、操業条件毎の反応炉内部の密度分布を推定する方法を提供する。
【解決手段】反応炉内部を通過してミュオン計測器で検出されるミュオンの飛来方向毎の累積強度情報を一定時間毎に繰り返し記録するステップ1と、ステップ1を実施している最中の反応炉の操業条件の時間変化を記録するステップ2と、ステップ1及びステップ2で記録された情報に基づいて、一定時間毎のミュオンの飛来方向毎の累積強度情報を操業条件と関連づけるステップ3と、ステップ3で得られた情報に基づいて、特定の操業条件のときにミュオン計測器で検出された飛来方向毎の累積強度情報の合計値を生成するステップ4とを含む操業条件と関連づけられた反応炉内密度分布推定方法。 (もっと読む)


【課題】簡易に製造でき、軽量かつ結像性能の良い中性子集光結像系であって、反射率及びエネルギー帯域が飛躍的に向上した中性子光学装置を提供することである。
【解決手段】微細構造体の材質であるシリコンやニッケルにマイクロマシン技術で製作した曲面穴構造の側壁に原子層体積法を用いて、サブnmレベルの正確さで、反射膜を成膜することにより反射率及びエネルギー帯域が飛躍的に向上した中性子光学装置を提供することが可能となった。 (もっと読む)


【課題】石灰中の強熱減量の含有率を短時間で精度よく求めることができるX線分析方法およびその装置を提供する。
【解決手段】本発明のX線分析方法は、強熱減量の含有率が既知の石灰からなる標準試料Sに1次X線2を照射し、前記標準試料Sから発生するコンプトン散乱線6の強度を検出し、検出したコンプトン散乱線6の強度と強熱減量の含有率との相関を示す強熱減量の検量線を作成し、石灰からなる未知試料Sに1次X線2を照射し、前記未知試料Sから発生するコンプトン散乱線6の強度を検出し、前記強熱減量の検量線を用いて前記未知試料S中の強熱減量の含有率を求める。 (もっと読む)


【課題】収束電子回折を用いた、物性の新規な測定方法を提供する。
【解決手段】物性の測定方法は、透過型電子顕微鏡により、試料の収束電子回折実験像を取得する工程と、収束電子回折実験像のZernikeモーメントの強度を計算する工程と、試料に関し物性を変化させて計算された収束電子回折計算像のZernikeモーメントの強度と、収束電子回折実験像のZernikeモーメントの強度とを比較する強度比較工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、導電性層と有機層との界面近傍の化学状態および/または電子状態の評価方法に関する。本発明は、導電性層と有機層のいずれも15nm程度以上の厚さである場合においても、導電性層と有機層との界面の、化学状態または電子状態の評価が可能となる方法を提供する。
【解決手段】評価対象の試料が導電性層と有機層を有し、該導電性層と該有機層の界面に硬X線を照射することにより発生する光電子のエネルギーを測定することによる該導電性層と該有機層との界面近傍の化学状態および/または電子状態の評価方法。 (もっと読む)


【課題】測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるX線光電子分光装置およびX線光電子分光方法を提供する。
【解決手段】X線源10から出力されたX線3の照射により測定対象物2で発生した電子4が電子レンズ20およびエネルギー分析器30を経て検出器40に到達したときに検出器40により得られたエネルギースペクトルを、電子レンズ20による電子4の減速が調整されて測定対象物2のフェルミ準位よりも低束縛エネルギー側にある禁止帯に相当する帯域のものとして検出器40により得られたエネルギースペクトルに基づいて補正する。 (もっと読む)


【課題】本発明はX線顕微鏡及びX線を用いた顕微方法に関し、X線画像の分解能を向上させることができるX線顕微鏡及びX線を用いた顕微方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームEBを集束して照射する電子ビーム照射手段と、該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてX線発生源となる薄膜11と、該薄膜11の第1の面に照射された集束電子ビームによって該薄膜11から発生するX線13を検出するX線検出手段8とを有し、前記薄膜11の第2の面に接して配置された試料7を透過したX線13を前記X線検出手段8により検出するように構成する。 (もっと読む)


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