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Fターム[2G001NA06]の内容

Fターム[2G001NA06]に分類される特許

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【課題】測定時間を短くすることができ、且つ簡易な構成で完全分光を実現することができるX線分光検出装置を提供する。
【解決手段】X線分光検出装置1Aは、X線若しくは電子線の照射によって該試料10表面における直径100μm以下の微小分析点Pから放射された特性X線2を波長毎に分光して検出する。X線分光検出装置1Aは、分光結晶20及び二次元X線検出器30を備える。分光結晶20は、微小分析点Pから放射された特性X線2を受ける平坦な回折反射面20aを有し、特性X線2に含まれる波長成分のうち該回折反射面20aへの入射角に応じた波長成分を回折反射することにより、特性X線2を波長毎に分光する。二次元X線検出器30は、分光結晶20において回折反射した特性X線2を受ける受光面30aを有し、該受光面30aに入射した特性X線2の入射位置および強度に関するデータを生成する。 (もっと読む)


【課題】鋼中介在物の組成や大きさを迅速に測定すること。
【解決手段】鋼中介在物の分析方法は、鋼片試料に電子線を第1の加速電圧で照射することによって反射電子像を取得し、取得した反射電子像から鋼組織と鋼中介在物とを識別するステップと、鋼中介在物と判定された鋼片試料領域に電子線を第1の加速電圧とは異なる第2の加速電圧で照射することによって発生する特性X線を検出し、検出された特性X線から鋼中介在物の組成に関する情報を取得するステップと、を含む。これにより、鋼中介在物の組成や大きさを迅速に測定することができる。 (もっと読む)


【課題】前置増幅部前段の性能特性の変動による影響が抑制されたX線分析装置を提供する。
【解決手段】標準サンプルから放出された蛍光X線を検出する半導体X線検出素子、及び半導体X線検出素子の出力信号を受信する初段FET回路を含む前置増幅部前段と、前置増幅部前段を冷却する冷却装置と、前置増幅部前段から出力される検出信号を分析する信号分析装置と、検出信号を分析して得られる前置増幅部前段の性能特性を示す性能値、及び前置増幅部前段の温度をリアルタイムで監視し、冷却装置を制御して性能値が規定値を満たすように前置増幅部前段の温度を調整させる制御装置とを備え、前置増幅部前段が調整された温度において、測定対象物から放出された蛍光X線を分析する。 (もっと読む)


【課題】試料表面の付着物質を精度よく検出できる半導体装置の検査方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板12の上に反射膜13と薄膜14とを順に形成してなる試料11の表面に、反射膜13の臨界角θcよりも浅い入射角θで入射X線82aを照射し、入射X線82aの照射により薄膜14表面の付着物質86から放出される蛍光X線83を検出することで、試料11の表面の付着物質86を検出する。 (もっと読む)


【課題】ZnやAl等の第三元素を含むMg−Li合金の強化機構を解明可能であり、Mg−Li系合金を適切に評価することが可能な方法を提供する。
【解決手段】少なくともMgとLiと第三元素とを含んでなるMg−Li系合金の評価方法であって、高角度円環状検出器暗視野走査型透過電子顕微鏡法(HAADF−STEM法)によって、Mg−Li系合金のHAADF−STEM像を取得し、当該Mg−Li系合金の構造、及び/又は、当該Mg−Li系合金における重・軽元素(ZnやLi)の偏在状態を確認することを特徴とする、Mg−Li系合金の評価方法とする。 (もっと読む)


【課題】3元系の酸化物の組成比を容易に測定することができる方法を提供する。
【解決手段】第1元素および第2元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる2元系または3元系の酸化物であって各々の組成比が既知であり互いに異なる複数の標準試料それぞれに対してEPMA測定を行って特性X線スペクトルを求め、これら複数の標準試料それぞれの特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519〜522eV内のピーク位置に基づいて、このピーク位置と組成比との間の関係式を作成する。この関係式を用いることで、第1元素,第2元素および酸素元素からなる3元系の酸化物である対象物の特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519〜522eV内のピーク位置から、該対象物の組成比を求める。 (もっと読む)


【課題】本発明は、1回のX線の照射で測定試料SMのより広い面積を分析し得るX線分析装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明のX線分析装置は、電子ビームEBを生成する電子ビーム生成部1と、電子ビーム生成部1によって生成された電子ビームEBの進行方向に沿って配置された複数の4重極レンズ2と、複数の4重極レンズ2を通過して射出された電子ビームEBと衝突することによってX線を生成するX線ターゲット3と、X線ターゲット3によって生成されたX線から所定のエネルギーを持つX線を抽出して測定試料SMに照射するX線分光結晶4と、X線分光結晶4によって抽出され測定試料SMを透過した透過X線を検出するX線検出部5とを備え、複数の4重極レンズ2は、電子ビームEBを互いに同じ第1方向に発散するとともに互いに同じ第2方向に収束する。 (もっと読む)


【課題】測定対象試料中に含まれる分析対象元素が極めて微量であっても、その分析対象元素の構造解析を従来よりも正確に行うことができる構造解析方法を提供する。
【解決手段】分析対象元素に関するX線吸収スペクトルを得るための標準試料と、測定対象試料に含まれる分析対象元素の0.1〜10倍の分析対象元素をマトリックス中に含む2次試料とを用意する。次いで、標準試料のX線吸収スペクトル(標準スペクトル)と、2次試料のX線吸収スペクトル(2次スペクトル)とを比較することで、測定対象試料における分析対象元素に関連する蛍光X線のエネルギー範囲である関心領域を決定する。そして、その決定した関心領域に基づいて測定対象試料のX線吸収スペクトルである目的スペクトルを求める。 (もっと読む)


【課題】基板上の単層もしくは多層構造体における1以上の層の厚さを決定するために、光電子分光法を使用する。
【解決手段】この厚さは、光子が衝突したときに当該構造体により放出される二つの光電子種、または他の原子特異的な特徴的電子種の強度を測定することによって決定されてよい。層の厚さに依存する予測強度関数が、各光電子種について決定される。二つの予測強度関数の比が定式化され、構造体の層の厚さを決定するために、この比が反復される。一実施形態に従えば、当該層の厚さを決定するために、一つの層からの二つの光電子種が測定されてよい。もう一つの実施形態に従えば、層の厚さを決定するために、異なる層または基板からの二つの光電子種が測定されてよい。 (もっと読む)


【課題】簡易迅速に潤滑油のダイリューションの発生を早期に検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置40は、ディーゼルエンジン10から排出される潤滑油32の一部を抜き出す潤滑油分取ラインL11と、潤滑油分取ラインL11から抜き出した潤滑油32に酸性薬剤47を添加する酸性薬剤供給手段41と、潤滑油32を加熱して潤滑油32中に含まれる無機成分を炭化し、炭化物50を生成する電気炉42と、炭化物50を検出する分析装置43と、を有し、分析装置43で得られた検出結果から燃料油中に含まれる無機成分を検出する。 (もっと読む)


【課題】画素毎に、検出素子の個体差を考慮した校正を施す。
【解決手段】格子状に等間隔に配列された複数の検出素子61を有し、各検出素子61が検出した被写体としてのプリント基板Wの画像を画素毎に分解して出力する撮像ユニット20、40を備えている装置に適用される。個々の画素の個体差を表す個体差ファクタα、βを記憶し、記憶された個体差ファクタα、βに基づいて、当該検出素子61毎に線形な校正値を出力し、前記検出値校正処理部225が演算した校正値Iχcに基づいて、画素毎に目標物理量としての輝度値Bや材料厚さχを演算する。 (もっと読む)


【課題】水素吸蔵材料の中性子回折に使用することができる中性子による散乱が無い、若しくは散乱が少ない耐水素性及び耐圧性の中性子回折測定用セル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水素吸蔵材料を中性子回折測定する際の試料として保持するセルであって、中性子散乱の無い金属若しくは中性子散乱の少ない金属の内面に、水素吸蔵性の無い材料又は水素吸蔵性の小さい材料からなる耐水素性の層を設けたことを特徴とする。この耐水素性の層の厚さは、0.1μ〜100μmがより好ましい。 (もっと読む)


【課題】合金系別にアルミニウム合金を判別する方法と、それを利用したアルミ合金選別設備を提供する。
【解決手段】回収する複数の校正用試料(第1アルミ合金)と排除する対比用試料(第2アルミ合金)のエネルギーの異なるX線の単位面積毎の透過X線強度測定結果を測定平面にプロットし、校正用試料の測定結果の分布を上側曲線と下側曲線で挟んだ判別帯を画定し、判別帯により測定平面を中密度領域と高密度領域と低密度領域に分け、対比用試料の測定結果分布と対比して高密度領域内または低密度領域内の校正用試料の測定結果に関する第1閾値を決め、中密度領域内の校正用試料の測定結果から第2閾値を決めておき、被選別試料に係る単位面積毎の透過X線強度測定値が高密度領域または低密度領域に含まれる割合が第1閾値より小さく、中密度領域に含まれる割合が第2閾値より大きいときに、回収対象品と判定する判別方法。 (もっと読む)


【課題】石灰中の強熱減量の含有率を短時間で精度よく求めることができるX線分析方法およびその装置を提供する。
【解決手段】本発明のX線分析方法は、強熱減量の含有率が既知の石灰からなる標準試料Sに1次X線2を照射し、前記標準試料Sから発生するコンプトン散乱線6の強度を検出し、検出したコンプトン散乱線6の強度と強熱減量の含有率との相関を示す強熱減量の検量線を作成し、石灰からなる未知試料Sに1次X線2を照射し、前記未知試料Sから発生するコンプトン散乱線6の強度を検出し、前記強熱減量の検量線を用いて前記未知試料S中の強熱減量の含有率を求める。 (もっと読む)


【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光X線スペクトルと、前記基板の異物が付着した1或は複数箇所の蛍光X線スペクトルを測定して、複数のX線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 (もっと読む)


【課題】複層膜厚の測定のために2つの線源を用いなくても、1つの線源と異なるシンチレータの組み合わせにより高精度にエネルギー弁別が行える安価でコンパクトな装置を用いて複層膜厚の同時独立算出を可能にした放射線測定方法を提供する。
【解決手段】同一線源から照射された放射線を複数の材質からなる被測定物に照射して透過させ、透過した透過線量から被測定物の物理量を測定する放射線測定方法において、透過した放射線を少なくとも2種類の検出器により検出し、それぞれの検出器からの出力を検量線を用いて弁別演算を行う工程と、弁別演算した値を用いて各層の坪量を演算する工程を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】4以上の元素を含む試料の相解析を効率良く行えるようにする。
【解決手段】相解析画面上に表示された2元散布図(又は3元散布図)上で、分析者がマウス操作等によりプロット点の集まり(クラスター)を異なる色の囲み線a、b、cで指定すると、各囲み線内に含まれるプロット点は囲み線と同色に変更される(a)。同時に、相解析画面上に表示された分布図上では、散布図上のプロット点に対応した位置が同色で示される。したがって、分布図上でクラスターに対応する領域がそれぞれ異なる色Ma、Mb、Mcで示される(b)。表示される散布図が別の元素組合せのものに切り替えられても、分布図上の各位置に対応したプロット点に同じ色が与えられる(c)。これにより、異なる元素組合せの散布図を関連付けることができる。また、異なる散布図上で指定したクラスターの位置を1つの分布図上で確認することができる。 (もっと読む)


【課題】試料が搭載される基板(基材)の元素と、試料に含まれる元素が同一でも、安定して、微小部分の成分計測が可能な微小部X線計測装置を提供する。
【解決手段】X線発生装置と、放出されるX線を50μm径以下の断面積に収束照射するX線光学素子と、蛍光X線を検出するX線検出器と、光学像を撮像可能な光学顕微鏡と画像認識機能を備え、試料を二次元で移動して位置決めが可能で、かつ、高さ方向にその位置調整が可能な試料相対移動機構とを備え、試料の特定位置における蛍光X線計測が可能であり、かつ、基材の上に置かれた測定試料からの蛍光X線も計測可能な微小部X線計測装置では、X線の照射位置と前記X線検出器との間の蛍光X線の光路を蛍光X線の減衰を抑制する構造(真空又はヘリウム置換)とし、かつ、基材上の測定試料が基材と同一の金属元素を含んでも、測定試料の同一の金属元素の含有が判定可能なデータ処理機能を備えたデータ処理部を備えている。 (もっと読む)


【課題】4以上の多数の元素の中から相解析を行う3元素を簡便に且つ的確に選択できるようにする。
【解決手段】分析者により指定された6元素をx、y、z軸の原点を中心とする+x、+y、+z、−x、−y、−zの各方向に割り当て、8個の象限の各空間に、分析した各微小領域の3元素のX線強度データをプロットした3次元散布図(XYZ表示)を表示部の画面上に表示させる。3次元散布図上で分析者が任意の位置をクリック操作すると、その位置に応じた3元素が選択され、3次元散布図は、選択された3元素の3元散布図を底面としそれに直交する方向に3元素の強度和をとった三角柱状のグラフ(トライアングル表示)に変更される。同時に、相解析画面には選択された3元素の3元散布図が表示され、該散布図を用いて相解析が可能となる。これにより、簡便な操作で6元素中の任意の3元素の組み合わせを選択することができる。 (もっと読む)


【課題】フライアッシュ、シリカフューム等の混和材や石灰岩からなる骨材が含まれている可能性のあるセメント系硬化体であっても、結合材全体の化学組成を高い精度で簡易に推定することのできる方法を提供する。
【解決手段】(A)セメント系硬化体において適宜定めた二次元領域をピクセル単位に区画した後、電子線マイクロアナライザーを用いて、ピクセル毎に化学組成を分析する工程と、(B)工程(A)で得られた分析結果に基いて、上記二次元領域内のピクセルから、特定のしきい値を基準として、結合材に相当するピクセル群を選択する工程と、(C)工程(B)で得られた、結合材に相当するピクセル群を対象として、該ピクセル群に属するピクセルの化学組成の平均値を算出することによって、セメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定値を得る工程と、を含むセメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定方法。 (もっと読む)


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