【課題】試料表面の付着物質を精度よく検出できる半導体装置の検査方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１２の上に反射膜１３と薄膜１４とを順に形成してなる試料１１の表面に、反射膜１３の臨界角θｃよりも浅い入射角θで入射Ｘ線８２ａを照射し、入射Ｘ線８２ａの照射により薄膜１４表面の付着物質８６から放出される蛍光Ｘ線８３を検出することで、試料１１の表面の付着物質８６を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数種の構成材料を含む試料中の特定の構成材料を精度よく識別する識別する方法、および特定の構成材料の成分を分析する分析方法を提供する。
【解決手段】複数種の構成材料を含む試料から、変質する温度が既知である特定の構成材料を識別する方法であって、試料の表面を複数の小区画に区分し、各小区画に放射線を照射して、試料より発生する信号によって、特定の構成材料に含まれる元素の各小区画における濃度を測定する第一測定工程と、特定の構成材料が変質する温度で試料の表面を加熱する加熱工程と、加熱後の試料の各小区画に放射線を照射して、試料より発生する信号によって、元素の各小区画における濃度を測定する第二測定工程と、各小区画における元素について、第一測定工程で測定した濃度と、第二測定工程で測定した濃度とを比較して、濃度の変化率が所定の率である小区画を特定の構成材料であると判定する判定工程とを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】無機酸化物系材料中に微量に存在する鉛含有量の簡易かつ迅速な鉛含有量の定量方法を提供する。
【解決手段】無機酸化物系材料中の鉛含有量を、無機酸化物系材料からのＰｂ−Ｌβ線のＸ線強度を蛍光Ｘ線分析法により測定し、あらかじめ求めた鉛含有量が既知である標準試料からのＰｂ−Ｌβ線のＸ線強度と鉛含有量との関係を用いて定量することを特徴とする無機酸化物系材料中鉛含有量測定方法。 （もっと読む）

【課題】３元系の酸化物の組成比を容易に測定することができる方法を提供する。
【解決手段】第１元素および第２元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる２元系または３元系の酸化物であって各々の組成比が既知であり互いに異なる複数の標準試料それぞれに対してＥＰＭＡ測定を行って特性Ｘ線スペクトルを求め、これら複数の標準試料それぞれの特性Ｘ線スペクトルにおけるエネルギー範囲５１９〜５２２ｅＶ内のピーク位置に基づいて、このピーク位置と組成比との間の関係式を作成する。この関係式を用いることで、第１元素，第２元素および酸素元素からなる３元系の酸化物である対象物の特性Ｘ線スペクトルにおけるエネルギー範囲５１９〜５２２ｅＶ内のピーク位置から、該対象物の組成比を求める。 （もっと読む）

【課題】セメントを含有する溶液を精度よく分析できる溶液分析装置を提供する。
【解決手段】セメントを含有する溶液を分析する溶液分析装置１０であって、溶液が流動する管路であり、該管路における所定容積の一部を上流側及び下流側から独立して荷重を支持できるように構成したスパイラル計量管３２を有する循環管路２０と、スパイラル計量管３２の重量を測定するロードセル３８と、循環管路２０に介装されたＸ線測定ブロック４０と、Ｘ線測定ブロック４０を流れる溶液のカルシウム含有率を測定する蛍光Ｘ線測定装置５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、全反射蛍光Ｘ線分析装置を用いた検査結果に基づいて、ミネラルの充足、不足を簡便に、正確に判別する方法を提供する。また、体内に蓄積した有害な重金属を簡便に検査する方法を提供する。
【解決手段】本発明の第１の形態は、蛍光Ｘ線分析により、被検者の前頭部、側頭部又は頂頭部の毛髪に含まれるミネラル金属の含有比率及び／又は含有量を測定し、前記含有比率及び／又は前記含有量が正常値を超える場合に生体内のミネラル金属量が異常であると判断する生体内金属元素検査方法であり、本発明の他の形態は、蛍光Ｘ線分析により、皮膚、爪、歯又は骨からなる生体内固形物や血液、尿、涙、汗又は唾液からなる生体液に含まれるミネラル金属量又は重金属量の含有比率及び／又は含有量を測定することを特徴とする生体内ミネラル検査方法である。 （もっと読む）

【課題】石灰中の強熱減量の含有率を短時間で精度よく求めることができるＸ線分析方法およびその装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析方法は、強熱減量の含有率が既知の石灰からなる標準試料Ｓに１次Ｘ線２を照射し、前記標準試料Ｓから発生するコンプトン散乱線６の強度を検出し、検出したコンプトン散乱線６の強度と強熱減量の含有率との相関を示す強熱減量の検量線を作成し、石灰からなる未知試料Ｓに１次Ｘ線２を照射し、前記未知試料Ｓから発生するコンプトン散乱線６の強度を検出し、前記強熱減量の検量線を用いて前記未知試料Ｓ中の強熱減量の含有率を求める。 （もっと読む）

【課題】モルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量を迅速、且つ精度よく予測できる方法を提供すること。
【解決手段】セメントクリンカーを含み、Ｋ_２Ｏ含有量が０．２０〜０．６０質量％であるセメントの粉末Ｘ線回折結果をプロファイルフィッティング法により解析して、セメントクリンカーに含まれるクリンカー鉱物の結晶情報を得る第一工程と、結晶情報を基に、セメントクリンカーを含むセメントから得られるモルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量を予測する第二工程と、を有するモルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量の予測方法。 （もっと読む）

【課題】バイオマスメタン発酵施設などにおける含水状態の有機汚泥の全体組成を迅速に評価することができる有機汚泥の組成推定方法を提供することにある。
【解決手段】有機汚泥の組成推定方法において、蛍光Ｘ線法を用いて測定されたリンとカルシウムの量からリン酸カルシウム系化合物量を推定する工程と、前記リン酸カルシウム系化合物に含まれなかったカルシウム残量から炭酸カルシウム量を推定する工程とを備える。有機汚泥としてはメタン発酵汚泥であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 フレッシュコンクリートやフレッシュモルタルに含まれるセメントの質量を、特に単位セメント量として簡易かつ一定の精度で推定する。
【解決手段】本発明においては、まず、採取されたフレッシュコンクリートから粗骨材を除去し、該粗骨材の質量Ｍgと残りのフレッシュモルタルの質量Ｍ_１とをそれぞれ計測し、フレッシュモルタルから水分を除去する(101〜103)。次に、モルタル乾燥試料の質量Ｍ_Tを計測して水分除去前後の質量差を（１）式で算出し(104)、モルタル乾燥試料に対して蛍光Ｘ線分析を行う一方、セメント単体及び細骨材単体に対して個別に蛍光Ｘ線分析を行う(106,107)。次に、(2a)及び(3a)を用いて、モルタル乾燥試料中のセメントの質量Ｍc及び細骨材の質量Ｍsを算出し(108)、Ｍc及びＭsを、粗骨材の質量Ｍg及び水の質量Ｍwとともに、（４a′）に代入することで、フレッシュコンクリートの単位セメント量Ｍcuを得る(109)。 （もっと読む）

【課題】４以上の元素を含む試料の相解析を効率良く行えるようにする。
【解決手段】相解析画面上に表示された２元散布図（又は３元散布図）上で、分析者がマウス操作等によりプロット点の集まり（クラスター）を異なる色の囲み線ａ、ｂ、ｃで指定すると、各囲み線内に含まれるプロット点は囲み線と同色に変更される（ａ）。同時に、相解析画面上に表示された分布図上では、散布図上のプロット点に対応した位置が同色で示される。したがって、分布図上でクラスターに対応する領域がそれぞれ異なる色Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃで示される（ｂ）。表示される散布図が別の元素組合せのものに切り替えられても、分布図上の各位置に対応したプロット点に同じ色が与えられる（ｃ）。これにより、異なる元素組合せの散布図を関連付けることができる。また、異なる散布図上で指定したクラスターの位置を１つの分布図上で確認することができる。 （もっと読む）

【課題】試料が搭載される基板（基材）の元素と、試料に含まれる元素が同一でも、安定して、微小部分の成分計測が可能な微小部Ｘ線計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置と、放出されるＸ線を５０μｍ径以下の断面積に収束照射するＸ線光学素子と、蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、光学像を撮像可能な光学顕微鏡と画像認識機能を備え、試料を二次元で移動して位置決めが可能で、かつ、高さ方向にその位置調整が可能な試料相対移動機構とを備え、試料の特定位置における蛍光Ｘ線計測が可能であり、かつ、基材の上に置かれた測定試料からの蛍光Ｘ線も計測可能な微小部Ｘ線計測装置では、Ｘ線の照射位置と前記Ｘ線検出器との間の蛍光Ｘ線の光路を蛍光Ｘ線の減衰を抑制する構造（真空又はヘリウム置換）とし、かつ、基材上の測定試料が基材と同一の金属元素を含んでも、測定試料の同一の金属元素の含有が判定可能なデータ処理機能を備えたデータ処理部を備えている。 （もっと読む）

【課題】４以上の多数の元素の中から相解析を行う３元素を簡便に且つ的確に選択できるようにする。
【解決手段】分析者により指定された６元素をｘ、ｙ、ｚ軸の原点を中心とする＋ｘ、＋ｙ、＋ｚ、−ｘ、−ｙ、−ｚの各方向に割り当て、８個の象限の各空間に、分析した各微小領域の３元素のＸ線強度データをプロットした３次元散布図（ＸＹＺ表示）を表示部の画面上に表示させる。３次元散布図上で分析者が任意の位置をクリック操作すると、その位置に応じた３元素が選択され、３次元散布図は、選択された３元素の３元散布図を底面としそれに直交する方向に３元素の強度和をとった三角柱状のグラフ（トライアングル表示）に変更される。同時に、相解析画面には選択された３元素の３元散布図が表示され、該散布図を用いて相解析が可能となる。これにより、簡便な操作で６元素中の任意の３元素の組み合わせを選択することができる。 （もっと読む）

【解決課題】散乱法や遮光法における気泡による計測誤差、異種元素によるカウントロス、乳化による計測不能などの問題を解決し、低コストで簡易に、流体中の微粒子の数量及び粒子径などを正確に測定できる方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を流すフローセル１０と、フローセル１０の側面からＸ線を照射するＸ線源２０と、Ｘ線源２０から照射されたＸ線が流体中の微粒子によって減弱された透過Ｘ線量を検出するＸ線検出器３０と、Ｘ線源から照射されたＸ線により流体中の微粒子によって放出される蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出器４０と、透過Ｘ線量及び蛍光Ｘ線量の各基準量からの変動量に基づいて流体中の微粒子及び気泡を識別して微粒子の量及び粒径を算出する演算処理装置と、を具備する流体中微粒子の検出装置。 （もっと読む）

【課題】サンプリングレートを低減した多重エネルギー撮像を提供すること。
【解決手段】本開示は、単一エネルギー撮像で利用されるレートに匹敵するデータサンプリングレートを用いた２重エネルギーＸ線データ（６２、６４）の生成に関する。本技法によれば、従来の２重エネルギー撮像と比較して利用するｋＶｐ切替速度が低速となる。作成した画像において全角度分解能が達成される。 （もっと読む）

【課題】フライアッシュ、シリカフューム等の混和材や石灰岩からなる骨材が含まれている可能性のあるセメント系硬化体であっても、結合材全体の化学組成を高い精度で簡易に推定することのできる方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）セメント系硬化体において適宜定めた二次元領域をピクセル単位に区画した後、電子線マイクロアナライザーを用いて、ピクセル毎に化学組成を分析する工程と、（Ｂ）工程（Ａ）で得られた分析結果に基いて、上記二次元領域内のピクセルから、特定のしきい値を基準として、結合材に相当するピクセル群を選択する工程と、（Ｃ）工程（Ｂ）で得られた、結合材に相当するピクセル群を対象として、該ピクセル群に属するピクセルの化学組成の平均値を算出することによって、セメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定値を得る工程と、を含むセメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定方法。 （もっと読む）

【課題】従来の三元散布図では表現できなかった３元素の強度の絶対値情報を併せて表示することにより、相解析の効率化や精度向上を図る。
【解決手段】
３元素の強度を強度和で規格化した相対値を表す軸（Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸）を正三角形の三辺に割り当て、その三角形が載る平面に直交する方向に３元素の強度の和を表す軸（Ｄ軸）を追加した、三角柱状の３次元空間を、マッピング分析において１箇所の微小領域で得られたデータ点をプロットする空間として設定する。そして、この３次元的なグラフを平面化して表示部の画面上に描画する。３次元的なグラフを見る方向を任意に変化可能とすることにより、従来の三元散布図上でのデータ点の位置も把握可能であるとともに、三元素の強度の絶対値も容易に知ることができる。 （もっと読む）

【課題】散乱線内標準法を用いる蛍光Ｘ線分析方法において、油類、有機溶媒、水溶液などの液体試料における軽元素の濃度を正確に算出できる方法を提供する。
【解決手段】炭素、酸素および窒素のうちの少なくとも１元素と水素を主成分とする液体試料３Ａに１次Ｘ線２を照射し、液体試料３Ａ中の原子番号９〜２０の各元素から発生する蛍光Ｘ線４の強度と、液体試料３Ａで散乱する１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の強度とを測定し、各元素から発生する蛍光Ｘ線４の測定強度と１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の測定強度との比に基づいて、液体試料３Ａにおける元素の濃度を算出する蛍光Ｘ線分析方法であり、１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２の波長を、各元素から発生する蛍光Ｘ線４の波長よりも短く、かつ、液体試料３Ａにおける組成の変動範囲内で、１次Ｘ線の連続Ｘ線の散乱線１２についての測定強度と質量吸収係数とが反比例するように、設定する。 （もっと読む）

【課題】 骨材の種類による影響が比較的少なく、信頼性に優れた硬化コンクリートの配合組成推定方法を提供することを課題としている。
【解決手段】 電子プローブマイクロアナライザを用いて硬化コンクリート表面を面分析することにより、該表面の区画ごとに少なくとも二酸化珪素及び酸化カルシウムの濃度を測定する硬化コンクリートの配合組成推定方法であって、
前記面分析により不連続相と認識された不連続部分の二酸化珪素濃度又は酸化カルシウム濃度から骨材の種類を推定する骨材種類推定工程と、
骨材の種類に応じて二酸化珪素又は酸化カルシウムの基準濃度範囲を決定し、二酸化珪素又は酸化カルシウムの濃度が該基準濃度範囲内である区画を含む領域を骨材部分と判定する骨材部分判定工程と、
該骨材部分の面積から骨材含量を推定する骨材含量推定工程とをおこなうことにより骨材含量を推定する硬化コンクリートの配合組成推定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 難燃剤などの由来の無機成分に含まれる微量な成分であっても、その組成分析を迅速かつ高精度に定量分析することによって、金型成形用のハロゲン系難燃剤含有樹脂を選択する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ハロゲン系難燃剤を含有する樹脂を凍結粉砕して微粒化する工程と、前記微粒化された樹脂に対して、加圧成形して無機成分の定性分析、および純水と混合して得られる抽出液のイオン成分の濃度の測定を行う工程とを含んでなり、前記無機成分の定性分析および前記イオン成分の濃度の測定結果に基づき、前記無機成分および／または前記イオン成分の濃度が低い樹脂を選択する、金型成形用のハロゲン系難燃剤含有樹脂を選択する方法を提供する。 （もっと読む）