【課題】Ｘ線に基づいた分析の際に対象物にビームをマッチングさせる際の問題点を解決する。
【解決手段】検査方法は、サンプルの表面上においてスポットを画定するべく合焦されるＸ線ビームを使用してサンプルを照射する段階を含んでいる。表面上の特徴部を横断するスキャン経路に沿ってスポットをスキャンするべく、サンプル及びＸ線ビームの中の少なくとも１つをシフトさせる。スポットが異なる個々の程度の特徴部とのオーバーラップを具備しているスキャン経路に沿った複数の場所において、Ｘ線ビームに応答してサンプルから放射される蛍光Ｘ線の個々の強度を計測する。スキャン経路における放射蛍光Ｘ線の調節値を演算するべく、複数の場所において計測された強度を処理する。調節済みの値に基づいて、特徴部の厚さを推定する。 （もっと読む）

【課題】ＺｎやＡｌ等の第三元素を含むＭｇ−Ｌｉ合金の強化機構を解明可能であり、Ｍｇ−Ｌｉ系合金を適切に評価することが可能な方法を提供する。
【解決手段】少なくともＭｇとＬｉと第三元素とを含んでなるＭｇ−Ｌｉ系合金の評価方法であって、高角度円環状検出器暗視野走査型透過電子顕微鏡法（ＨＡＡＤＦ−ＳＴＥＭ法）によって、Ｍｇ−Ｌｉ系合金のＨＡＡＤＦ−ＳＴＥＭ像を取得し、当該Ｍｇ−Ｌｉ系合金の構造、及び／又は、当該Ｍｇ−Ｌｉ系合金における重・軽元素（ＺｎやＬｉ）の偏在状態を確認することを特徴とする、Ｍｇ−Ｌｉ系合金の評価方法とする。 （もっと読む）

【課題】低接触抵抗、高はんだ濡れ性及び低挿入力を有するＳｎ系めっき材を提供する。
【解決手段】Ｓｎ系めっき材１０は、金属基材１１、金属基材１１上に形成された下地めっき１２、下地めっき１２上に形成されたＡｇを含むＳｎ系めっき１３を備える。Ｓｎ系めっき材１０は、ＸＰＳ（Ｘ線光電子分光装置）でＤｅｐｔｈ分析を行ったとき、Ｓｎの原子濃度（ａｔ％）の最高値を示す位置（Ｄ_Sn）及びＡｇの原子濃度（ａｔ％）の最高値を示す位置（Ｄ_Ag）がＳｎ系めっき１３表面からＤ_Sn、Ｄ_Agの順で存在し、Ｓｎ系めっき１３に含まれるＡｇが１〜２００μｇ／ｃｍ²であり、Ｓｎ系めっき１３に含まれるＳｎが２〜２２０μｇ／ｃｍ²である。 （もっと読む）

【課題】極めて容易に短時間で軟質合金の分析用試料を作製することを可能とする。
【解決手段】成型容器１に入れられた軟質合金２を表面３Ａが鏡面仕上げされた成型部材３の表面３Ａに接した状態で加圧成型することにより、軟質合金２の分析用試料２を作製する。成型部材１は、表面の凹凸が１μｍ以下に鏡面仕上げされている。軟質合金２を加圧成型する際の加圧力が、６０ｋｇ重／ｃｍ２以上である。軟質合金２は、展性を有する金属材料である。 （もっと読む）

【課題】３元系の酸化物の組成比を容易に測定することができる方法を提供する。
【解決手段】第１元素および第２元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる２元系または３元系の酸化物であって各々の組成比が既知であり互いに異なる複数の標準試料それぞれに対してＥＰＭＡ測定を行って特性Ｘ線スペクトルを求め、これら複数の標準試料それぞれの特性Ｘ線スペクトルにおけるエネルギー範囲５１９〜５２２ｅＶ内のピーク位置に基づいて、このピーク位置と組成比との間の関係式を作成する。この関係式を用いることで、第１元素，第２元素および酸素元素からなる３元系の酸化物である対象物の特性Ｘ線スペクトルにおけるエネルギー範囲５１９〜５２２ｅＶ内のピーク位置から、該対象物の組成比を求める。 （もっと読む）

【課題】本発明は水中の重金属イオンを検出する方法及び装置について開示したものである。
【解決手段】当該方法は、以下のステップを含むものである。（ａ）検出用材料を提供するステップ、上記検出用材料は親水層を備え、上記親水層の少なくとも一部は疎水層によって覆われ、上記疎水層は長鎖チオール、長鎖脂肪酸及びそれらの組み合わせから選択される長鎖化合物によって形成され、上記疎水層によって覆われた領域を検出区域とし、上記検出区域の表面と水との初期接触角は約１２０°以上であり、（ｂ）上記検出用材料の検出区域と検出対象水溶液とを接触させるステップ、（ｃ）検出対象水溶液と接触した後の上記検出用材料の検出区域の表面に疎水性―親水性変化が起きているかを判断するステップ、及び（ｄ）上記判断に基づき検出対象水溶液中において重金属イオンが存在するかを判断するステップ。 （もっと読む）

【課題】放射光装置（高エネルギー電子蓄積リング）等の大がかりな装置を用いることなく、比較的簡易な連続Ｘ線光源を用い、被測定物に含有される各元素の平均密度、全量等を非破壊で測定することのできる定量分析方法、及び、そのような定量分析方法を実施することのできる元素別定量分析装置を提供する。
【解決手段】炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性の軽元素からなり、冷陰極電子源から放出された電子が入射面に入射され、入射方向に対して前方にＸ線を放出するターゲット、及び、該ターゲットで発生したＸ線以外のＸ線を遮蔽する遮蔽部材を具備する連続Ｘ線光源と、エネルギー弁別型検出器とを用いて、被測定物のＸ線吸収スペクトルにおける含有各元素の吸収端ジャンプ量を求め、あらかじめ標準試料等で決定した元素別の質量吸収端ジャンプ係数と前記含有各元素の吸収端ジャンプ量に基づき、被測定物に含有される各元素について同時にＸ線透過経路上の面密度を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、導電性層と有機層との界面近傍の化学状態および／または電子状態の評価方法に関する。本発明は、導電性層と有機層のいずれも１５ｎｍ程度以上の厚さである場合においても、導電性層と有機層との界面の、化学状態または電子状態の評価が可能となる方法を提供する。
【解決手段】評価対象の試料が導電性層と有機層を有し、該導電性層と該有機層の界面に硬Ｘ線を照射することにより発生する光電子のエネルギーを測定することによる該導電性層と該有機層との界面近傍の化学状態および／または電子状態の評価方法。 （もっと読む）

【課題】測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるＸ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０から出力されたＸ線３の照射により測定対象物２で発生した電子４が電子レンズ２０およびエネルギー分析器３０を経て検出器４０に到達したときに検出器４０により得られたエネルギースペクトルを、電子レンズ２０による電子４の減速が調整されて測定対象物２のフェルミ準位よりも低束縛エネルギー側にある禁止帯に相当する帯域のものとして検出器４０により得られたエネルギースペクトルに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】薄膜状元素の種類と厚さに対して、輝度コントラストが最大となり且つ再現性よく計測することができるSEM反射電子計測の観測条件を決定する方法および、SEM反射電子計測により識別することが可能な元素種類組み合わせを予測する方法を用いて異種元素が付加された微粒子セットを識別する観察方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、支持体表面の異なる領域を３種類以上の元素で薄膜状に被覆してなる微粒子標識であって、各元素の全反射係数ηの値に基づいて昇順または降順で並べたときに隣接する元素間での全反射係数ηの差が、0.02以上となるような３種類以上の元素の組合せを用いて、前記支持体表面の異なる領域が薄膜状に被覆されている、微粒子標識を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料の損失及び汚染を防止し、銀粉中の塩素を迅速かつ高感度に定量する方法を提供する。
【解決手段】銀粉試料を硝酸で溶解させる溶解工程（Ｓ１）と、溶解工程にて得られた溶液に所定量の臭化カリウム溶液を添加し、塩化銀を含む沈殿物を生成させる沈殿工程（Ｓ２）と、沈殿工程にて得られた沈殿物から塩素を定量する定量工程（Ｓ３）とを有する。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際に、簡易な手順で精度よく組成分析を行う。
【解決手段】第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａ＞第２の領域Ｂ、第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が第２の領域Ｂ＞第１の領域Ａとなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出し（ステップＳ１０６）、積分強度Ｂｔに基づき第２の領域Ｂにおける第２の元素ｙの強度分Ｂ_ｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂ_ｙ／ｔおよび第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域Ａの第２の元素ｙの強度分Ａ_ｙ／ｔを算出し、第１の領域Ａの第１の元素ｘの強度分Ａ_ｘ／ｔを、Ａ_ｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａ_ｙ／ｔから算出する（ステップＳ１０８）。 （もっと読む）

【課題】 金属元素の深さ方向分析方法及び二次イオン質量分析装置に関し、分析に用いる一次イオンとしての酸素イオンビーム照射に誘起される金属元素の拡散現象を抑制する。
【解決手段】 一次イオンに酸素を用いて単結晶シリコンを母材とする試料中のＧａ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ａｕ或いはＡｇの少なくとも一つの金属元素の深さ方向分析を二次イオン質量分析法によって行う際に、前記試料が前記一次イオンとしての酸素により酸化される領域より少なくとも深い領域を、予め試料の酸化に伴う前記金属元素の拡散を抑制する拡散抑制領域に改質しておく。 （もっと読む）

【課題】土壌溶出量・含有量の分析について、公定分析法により作成した試験溶液を、蛍光Ｘ線分析法により簡単に、しかも高精度の分析結果を得るようにする。
【解決手段】採取した土壌試料に水または塩酸を混合して遠心分離することにより得られた土壌抽出液を不溶化濃縮する工程と、濃縮された土壌抽出液を蛍光Ｘ線分析して含有多元素成分を同時分析する工程とからなる。これにより分析対象元素を高精度に、しかも１００％回収することができる。また不溶化後に土壌抽出液を濃縮するために、土壌溶出量試験の濃度レベル（溶出量は基準値の半分）までの分析が可能になるほか再現性がよく、しかも鉄系の凝集剤を用いた場合においても、二次フィルターの材質としてアルミニウム薄膜を用い、鉄のサムピークの影響をなくすことができ、鉛のピーク（Ｌβ）を効率よく分離させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】外観からは表裏判別が困難または不可能な元素組成が表裏で異なる積層体の表裏を容易に判別できる方法を提供すること。
【解決手段】シート状非金属基材の片面上に第１の層を、その反対面上に第２の層を有する積層体の表裏を判別する方法であって、第１の層と第２の層は元素組成が相違しており、第１の層側と第２の層側とからそれぞれＸ線を少なくとも１回照射する蛍光Ｘ線分析（ＸＲＦ）を実施するに際し、第１の層と第２の層のいずれか一方にのみ含まれる元素に由来するＸ線スペクトル強度に、第１の層側からＸ線を照射して測定した場合と第２の層側からＸ線を照射して測定した場合とで有意差が生じるようなエネルギーレベルのＸ線を照射することを特徴とする、積層体の表裏を判別する方法。 （もっと読む）

【課題】高コントラスト観察とライン分析による粒子内の組成分析を可能とし、コアシェル粒子を容易に同定する。
【解決手段】被検物であるコアシェル粒子を担体に担持する工程を含むことを特徴とするコアシェル粒子の分析法である。このコアシェル粒子の分析法には、更に、コアシェル粒子が担持された担体を電子顕微鏡によりコアシェル構造であることを確認する工程、及びコアシェル粒子が担持された担体を電子顕微鏡により組成分析する工程を付加することができる。 （もっと読む）

【課題】 過去の測定結果情報との比較により、容易な変化点管理を行うことが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供すること。
【解決手段】 被測定物２０５を特定する特定情報を入力する入力部２０１と、被測定物の測定部位画像を取得する撮像部２１０と、蛍光Ｘ線の測定後においては、少なくとも、被測定物の分析結果を表示する表示部２０８と、特定情報に対応づけられた過去の測定情報を蓄積したデータベース２０９と、を備え、測定情報は、被測定物の測定部位画像と分析結果とを含み、表示部は、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、少なくとも、撮像部で得られる被測定物の測定部位画像と、データベースに蓄積されている測定情報のうち入力部で入力された特定情報に対応する測定情報に含まれる被測定物の過去の測定時の測定部位画像と、を同時に表示可能である、蛍光Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】 元素マッピング像などの分布画面の数の制限やサイズが小さくなることなく、元素マッピング像の元素分布状態の差異の見栄えが大いに向上させ、元素の分布状態を正しく把握できるようにする。
【解決手段】 ディスプレイ部７の親ウインドウ１１内に表示されている元素マッピング像である分布画面１２を、表示元素画面１３や画面切替ボタン１４を表示したい特定の元素や分析線をキーボードまたはマウスなどの選択するなどにより切り替えるようにして、複数の分布画面１２を大きな同一サイズで上書きするように重ねて表示するようにする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線マッピングされた画像から特定元素に関して所定濃度以上の部位等を容易にかつ直接的に認識でき、特定することが可能なＸ線分析装置等を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上に放射線を照射するＸ線管球２と、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出しそのエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器５と、予め設定されたマッピング領域Ｍ内で試料Ｓに対して照射ポイントを相対的に移動可能な試料ステージ１と、特定の元素に対応したＸ線強度を判別し、該Ｘ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定して照射ポイントに対応した位置に画像表示するＸ線マッピング処理部６と、を備え、該Ｘ線マッピング処理部６が、予め組成元素及びその濃度が既知の標準物質７について判別したＸ線強度を基準にして、照射ポイントにおけるＸ線強度の強度コントラストを決定する。 （もっと読む）

【課題】極微量の元素検出を可能とし、被射体内部の特定元素分布をＣＴで得られるのと同様に断層像として、高空間分解能を有する機能画像の作成を行う蛍光エックス線分析装置を提供すること。
【解決手段】単色エックス線をシートビーム状に照射する光源部と、分析試料を支持する試料支持部と、分析試料に含まれる被検元素から発生する蛍光エックス線を検出する検出部と、データ処理用コンピューターを備え、検出部がエックス線照射方向と直交するシートビーム面に配設され、検出素子からエックス線照射方向へおろした垂線上に存在する被検元素から発生する蛍光エックス線を検出し、且つ、試料支持部がシートビーム面を垂直に貫通する線を中心軸としてシートビーム面を光源部及びエックス線検出部に対して相対的に回転し、分析試料を単色エックス線で回転走査して分析試料内部の画像を得ることができる蛍光エックス線検出装置として構成する。 （もっと読む）