Fターム[2G001PA00]の内容
放射線を利用した材料分析 (46,695) | 測定前後の試料の動き (2,337)
Fターム[2G001PA00]の下位に属するFターム
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Fターム[2G001PA00]に分類される特許
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イオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システム
【課題】本発明はイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムに関し、大気中を搬送しても試料表面が大気に曝されないようにすることができるイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムを提供することを目的としている。
【解決手段】イオンビーム加工装置等の真空中で試料2に加工処理を施し、加工処理が施された試料2にイオン液体を塗布し、イオン液体が塗布された試料2を電子顕微鏡等の予備排気室8に搬送し、該予備排気室8でイオン液体を除去し、該イオン液体が除去された試料2を電子顕微鏡本体で観察するように構成される。
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試料分析装置
【課題】本発明が解決しようとする問題点は、光電子分析装置で分析した位置が、位置読み取り機能付き光学顕微鏡で得た像のどこに位置するかを示すことが困難であったという点である。
【解決手段】試料を置載し、試料座標の基準点を有する試料ホルダと、前記試料の第1の像を読み取り、その座標を設定する第1の測定手段と、前記試料の第2の像を読み取り、その座標を設定する第2の測定手段と、前記第1の測定手段と前記第2の測定手段とに接続し、試料の像及び座標情報を処理する情報処理手段と、を備えた試料分析装置において、前記試料ホルダを前記第1の測定手段と第2の測定手段との間で付け替えて分析し、前記第2の測定手段で得た試料部位の位置を前記第1の測定手段で得た像に追加記録する試料分析装置。
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