【課題】Ｓ／ＴＥＭ分析のためにサンプルを抽出および取り扱うための改善された方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好適な実施形態は、ラメラを基板表面を有する基板から抽出するための装置であって、１以上のステージ・コントローラに接続された基板用の可動ステージと、マイクロプローブと、可動ステージ上に設けられて基板を保持する基板ホルダと、基板ホルダが基板を保持しているときに基板表面に対してある斜角で基板表面に光を当てるための斜照明と、基板を撮像する光学顕微鏡とを備える。 （もっと読む）

【課題】第1の測定と第2の測定との間で測定サンプルが大気に触れないようにすることができ、またこれらの複数の測定にかかる時間を短縮化すること。
【解決手段】一つの気密（減圧）容器内に、第１の測定を行う第１の測定部と、第１とは異なる第２の測定を行う第２の測定部とを設ける。試料を取り付けたサンプルホルダの、第１の測定部から第２の測定部への移動は、サンプルホルダ移動手段により行う。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ 線分析装置において高精度な分析結果を得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板を酸蒸気に暴露する工程と、酸蒸気に暴露された前記半導体基板の表面の不純物を酸溶液で走査回収する工程と、前記走査回収した酸溶液を前記半導体基板上で濃縮乾燥させ濃縮乾燥物に変える工程と、前記濃縮乾燥物を全反射蛍光Ｘ線分析で測定し第一の測定値を得る工程と、前記半導体基板を酸蒸気に暴露する工程の後に、前記半導体基板上で前記濃縮乾燥物の位置とは異なる位置を全反射蛍光Ｘ線分析で測定し第二の測定値を得る工程と、前記第二の測定値を用いて前記第一の測定値の精度の確認を行う工程とにより半導体基板の分析を行う方法。 （もっと読む）

【課題】排ガス中に含まれるＣｌ^-濃度を測定することができるガス分析装置、水銀除去システム、ガス分析方法及び排ガス中の水銀除去方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係るガス分析装置１０は、ＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を含む排ガス１１が送給される煙道１２から排ガス１１Ａを抜出す排ガス抜出し管１３と、排ガス抜出し管１３に設けられ、抜出した排ガス１１Ａ中に含まれる煤塵を除去する捕集器１４と、排ガス抜出し管１３に設けられ、排ガス１１Ａ中に含まれるＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を析出させるロールフィルタ１５と、ロールフィルタ１５で析出されたＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を含む試料にＸ線を照射させて試料から発生する蛍光Ｘ線を検出して排ガス１１Ａ中に含まれるＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を測定する測定装置１９とを含む。 （もっと読む）

【課題】アスベスト含有材料の無害化処理時に到達した加熱温度を正確かつ容易に評価することができる加熱温度判定方法を提供する。
【解決手段】アスベスト含有材料を加熱して無害化処理するにあたり、クリソタイルとカルシウムとを含むアスベスト含有検体を加熱して得られるオケルマナイト生成量と加熱温度との関係に基づいて、アスベスト含有材料が無害化処理時に到達する加熱温度を判定する。例えば、オケルマナイト生成量はＸ線回折によって測定される。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、Ｘ線検査を安定させることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される物品ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介して検出する第１の領域ＡＲ１と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介さずに検出する第２の領域ＡＲ２とを有するラインセンサ４００と、検査テーブル７１１と同じ透過特性を有し、第２の領域ＡＲ２で検出されるＸ線の減衰を調整するＸ線減衰調整部４１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】精度よく基板に塗布されたはんだと部品とのはんだ付け検査を行なうＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、予め基板に塗布されたはんだの厚みとして、クリームはんだ印刷におけるマスク厚を取得し、記憶しておく。検査対象の基板のマスク厚から、基板面に平行な断層のうち検査対象とする高さ方向の範囲を設定し、その断層数Ｎを特定する（Ｓ８０１）。Ｘ線検査装置は、各断層について検査ウィンドウ中のはんだの面積Ｓおよび真円度Ｔを計測し（Ｓ８０７〜Ｓ８１９）、その最小値がいずれも基準値以上である場合にはその検査ウィンドウのはんだ付けが良好と判定し（Ｓ８２１、Ｓ８２３）、一方でも基準値を下回ったら不良と判定する（Ｓ８２１、Ｓ８２３）。 （もっと読む）

【課題】低コストおよび省スペースで、既に構築された搬送ラインに対してＸ線検査を追加するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００においては、受取部６００によりベルトコンベア９００から物品Ｂが受け取られる。次いで、Ｘ線検査部７００により受取部６００から受け取った物品Ｂの異物検査が行われる。そして、受渡部８００によりＸ線検査部７００において検査された物品Ｂがベルトコンベア９００に受け渡される。また、Ｘ線漏洩防止カバー９１０は、Ｘ線検査部７００から照射されるＸ線の漏洩を防止する。受取部６００および受渡部８００は、物品Ｂの載置部が平面のみからなり、かつ物品Ｂを載置しつつ搬送する受取テーブル６１１，受渡テーブル８１１と、物品Ｂの移動を補助する案内ガイド板６２１、補助案内部６２２，６２３、案内ガイド板８２１、補助案内部８２２，８２３とを含む。 （もっと読む）

【課題】灰中の有害物質が飛散するのを防止し得る重金属濃度の自動計測装置を提供する。
【解決手段】シュート１の側壁部に接続されると共に取出通路部３及び排出通路部４からなる灰排出用通路２の取出通路部３内に、シュート１内を落下する灰を貯め得る灰採取用容器14を支持部材11を介してシリンダ装置12により、シュート１内の灰採取位置（イ）と、排出通路部４内の灰排出位置（ロ）との間で移動自在に設け、取出通路部３の上壁部に容器14内の灰中の重金属濃度を計測するＸ線計測装置５を設け、支持部材11の前端側に、灰採取用容器14を支持ピン13を介して揺動自在に支持させると共に、後端側を取出通路部３の底壁部に支持させて、灰採取位置（イ）に移動させた際に水平姿勢となるようにすると共に、灰排出位置（ロ）に移動させた際に、取出通路部３側に設けられた傾斜面を介して鉛直姿勢とすることにより、容器14内の灰を排出させるようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】優れた測定精度を有するとともに、耐久性および保守性に優れた蛍光Ｘ線液分析計を提供する。
【解決手段】一次Ｘ線３１を発生するＸ線発生部２６と、一次Ｘ線３１が入射する部分に装着されるセル窓２５ａを有する測定セル２５と、測定セル２５からの蛍光Ｘ線３２を検出するＸ線検出部２７と、水頭差を利用した測定セル２５への液体試料の供給、および測定セル２５からの液体試料の排出を行う液体試料供給系３５とを備える蛍光Ｘ線液分析計２１である。Ｘ線発生部２６と測定セル２５との位置関係、および測定セル２５とＸ線検出部２７との位置関係はいずれも不変である。セル窓２５ａは親水処理されたポリエチレンテレフタレート製の膜からなり、Ｘ線発生部２６に装着される、ポリイミド製の膜からなる保護膜２６ａを備えるとともに、Ｘ線検出部２７に装着される、ポリエチレンテレフタレート製の膜からなる保護膜２７ａを備える。さらに、液体試料供給系３５における液体試料の排出側が大気開放される。 （もっと読む）

【課題】正確に被検査物をＸ線照射部とＸ線検出部との間のＸ線照射領域に搬送できるように、搬送部の幅方向の位置規制を行うことができるＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、脚部に支持されている装置筐体と、Ｘ線照射部３と、フレーム５と、フレーム５内に配設されているＸ線検出部と、搬送部６と、扉７と、暖簾８と、暖簾支持部９とを備えているものである。扉７内側には接触部１８が設けられており、この接触部１８は、扉７を閉じた際、搬送部６の搬送方向側方に接触し押さえるように（凹部（係合部）１８ａがキャップ部材６ｋに係合するように）配設されている。 （もっと読む）

【課題】欠陥部分を拡大するなどして詳細に検査するときに、記録した参照画像の再利用率があがるように欠陥検出の処理手順などを改良することで、検出率を下げずに短時間に効率よく欠陥を観察することができるようにする。
【解決手段】欠陥画像と記録した参照画像を比較して欠陥を抽出できなかった場合に、新たに参照画像を撮像すること、複数の記録した参照画像やこれらを組み合わせて生成した参照画像と比較したり、異なる倍率の画像の倍率が同じになるように画像処理をしたり、機差による画像の視野を補正すること、記録した参照画像に対して、優先順やスクリーニングによる評価を行うことなどを特徴とする試料の観察方法とした。 （もっと読む）

【課題】光学的検査と電気的検査とを行う基板アレイ検査装置において、装置構成を小型化し、検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴアレイ検査装置１は、電子線走査によって得られる二次電子を検出するメインチャンバー２０と、メインチャンバーとの間で基板２を搬出入するロードロックチャンバー１０と、基板の搬送方向と直交する方向の幅のライン状画像を撮像するライン撮像手段４０と、電気的検査画像を形成する検査画像形成手段５２と、光学画像を形成する光学画像形成手段４１と、検査画像および光学画像を用いて基板検出を行う基板検査手段６０とを備え、ライン撮像手段を、基板の搬送路上で、ロードロックチャンバーとメインチャンバーの境界近傍に配置する。メインチャンバーへの基板の搬入時に基板の光学画像を取得することで、光学画像を取得するスペースを不要として小型化し、検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源１４・６と、該試料を保持する試料ステージ１４・２２と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器１４・４と、該検出器１４・４に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット１４・５と、電子源１４・６から試料ステージ１４・２２への１次電子光学系と試料ステージ１４・２２から検出器１４・４への２次電子光学系を分離するウィーンフィルタ１４・３と、を備え、電子銃１４・６から放出された電子線はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成し、１次電子光学系と２次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ１４・３上で異なっている。 （もっと読む）

【課題】検出画像を取得した被検査領域毎に閾値を最適化する手法はあるが、１枚の検出画像については１つ閾値だけを適用する。このため、１つの画像内に有意でない欠陥が含まれる場合でも、有意の欠陥と同じ感度レベルで検出される。
【解決手段】１つの検査領域内に複数の感度領域を設定して、１つの検査領域のうちＤＯＩ（Defect of interesting）が存在する領域の欠陥だけを他と区別して検出できる仕組みを提案する。具体的には、検査領域内の画像の特徴に基づいて、検査領域内に複数の感度領域を設定し、検出画像、差画像又は欠陥判定部の判定用閾値に、各感度領域の設定感度を適用する。 （もっと読む）

本発明は、描画空間を介して点源（１２）からＸ線を放射するＸ線線源を有するＸ線スキャナを開示する。スキャナは、さらに、描画空間の周囲に配置されてＸ線の検出に反応して検出器信号を出力するＸ線検出器（２６）のアレイを含む。スキャナは、さらに、走査方向に描画空間を横切るように物体を搬送するコンベヤ（２２）と、検出器信号を処理して、物体の画像を画定する画像データセットを生成する少なくとも１つのプロセッサ（３０）とを含む。画像は、走査方向において、走査方向とは直交する１の方向、場合によっては、２つの方向の分解能に対して少なくとも９０％の分解能を有する。
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【課題】 弾性膜の試料室を形成する部位に、しわや弛み（撓み）を確実に無くすことができる蛍光Ｘ線分析装置のセルを提供する。
【解決手段】 弾性膜１１がセル本体１２と膜固定体１３との間に固定される際に、弾性膜１１の外周部がセル本体１２に係止されるように構成される蛍光Ｘ線分析装置のセル１において、セル本体１２は、外周部が係止された弾性膜１１を平面状にして支持すべく、凹部１２１ａの周りに環状の支持部１２１ｂを備え、膜固定体１３は、平面状にして支持された弾性膜１１における支持部１２１ｂよりも内方且つ開口部１３２よりも外方の部位を押圧すべく、環状の押圧部１３１ｃを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ばら流しで搬送される被検査物に好適な検査効率を得るとともに不良品をピンポイント選別して歩留りの悪化を防止する。
【解決手段】搬送方向Ｘと直交方向に分割されて検査レーン１１を形成し、検査レーン１１ごとに多数の被検査物Ｗをばら流しで搬送するベルトコンベア６と、被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器３１と、Ｘ線発生器３１からのＸ線を検出し、被検査物Ｗに混入している異物の有無を検出するＸ線検出器３２と、検査レーン１１ごとに設けられ異物検出された被検査物Ｗを不良品として選別する選別シュート１４とを備える検査ユニット２を用いたＸ線異物検出システム１であって、検査ユニット２を搬送方向Ｘと直交する方向に複数並列して複数の検査レーン１１の中から一次検査レーン１１ａ〜１１ｃを設定し、残りを二次検査レーン１１ｄとして設定し、一次検査レーン１１ａ〜１１ｃの一次不良品Ｗを二次検査レーン１１ｄにて再搬送する。 （もっと読む）

【課題】被検査体内の特定粒度の粒子の含有量を知ることができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線ＣＴによる断層像ｎ，ｎ＋１・・・を基に被検査体に含まれる粒子Ｐ_ｍ，Ｐ_ｍ＋１・・・の量を非破壊検査する検査装置５０であって、粒子の粒度選別を想定した場合の選別粒度を基に設定された粒子の大小の境界を規定する基準体積値を記憶した記憶部５６２と、被検査体の各断層像を画像処理して個々の粒子の断層像を抽出する画像処理部５６３と、画像処理部５６３により抽出された粒子の断層像を基に個々の粒子の体積Ｖｍを演算する体積演算部５６８と、体積演算部５６８で演算された粒子の体積Ｖｍを記憶部５６２から読み出した基準体積値と比較し、基準体積値以上の粒子の個々の質量を積算する質量演算部５６９とを備える。 （もっと読む）

【課題】検量線を短時間に容易に作成できるようにして、定量分析を短時間に容易に行うことができるようにする。
【解決手段】被検試料をスキャン読取りすることによって回折強度プロファイルを求め、そのプロファイルに含まれているピーク波形の積分量を求め、検量線に基づいてその積分量から含有量を判定する定量分析方法である。含有量既知の標準試料に対して広いスキャン範囲（１１．０°≦２θ≦１３．２°）で所定の読取りステップ幅（０．０２°）で測定を行って回折線プロファイルＰ１〜Ｐ５を求め、その読取りステップ幅ごとの測定量（Ｉ）を標準試料ごとに記憶し、被検試料の測定結果に基づいて定量測定スキャン範囲を決め、記憶した標準試料についてのステップ幅ごとの強度データについて、定量測定スキャン範囲と同じ範囲（γ≦２θ≦δ）の積分値を演算によって求め、その積分値と標準試料の既知の含有量とによって検量線を求める。 （もっと読む）