【課題】回路設計データを用いた半導体ウェーハ上の欠陥を自動的に検出し、欠陥発生原因の推定を行う半導体欠陥検査装置ならびにその方法を提供する。
【解決手段】回路設計データ１１６０から検査対象回路パターンと比較するために，欠陥発生要因毎に定められた形状変形項目について設計データに変形を加え，複数の形状を作成する（１１９２）。作成された形状群３０２と実パターンの比較により欠陥を検出する。また、それらの欠陥の発生原因を推定し，原因別に欠陥を分類する。 （もっと読む）

【課題】テストピースを被検査物が流れるパイプの中に投入しなくても、簡単にＸ線の検
出感度を調整することができるＸ線異物検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】パイプ内を流れる被検査物にＸ線を照射し、透過したＸ線を被検査物の流れ
方向と直交する方向に配置されたラインセンサでもって検出するその検出領域のパイプの
外側に、被検査物の流れ方向に沿って延びるテスト用の線材を設け、その線材を被検査物
の流れ方向と直行する方向に前記ラインセンサと平行を保って移動させるようにする。 （もっと読む）

【課題】合金系別にアルミニウム合金を判別する方法と、それを利用したアルミ合金選別設備を提供する。
【解決手段】回収する複数の校正用試料（第１アルミ合金）と排除する対比用試料（第２アルミ合金）のエネルギーの異なるＸ線の単位面積毎の透過Ｘ線強度測定結果を測定平面にプロットし、校正用試料の測定結果の分布を上側曲線と下側曲線で挟んだ判別帯を画定し、判別帯により測定平面を中密度領域と高密度領域と低密度領域に分け、対比用試料の測定結果分布と対比して高密度領域内または低密度領域内の校正用試料の測定結果に関する第１閾値を決め、中密度領域内の校正用試料の測定結果から第２閾値を決めておき、被選別試料に係る単位面積毎の透過Ｘ線強度測定値が高密度領域または低密度領域に含まれる割合が第１閾値より小さく、中密度領域に含まれる割合が第２閾値より大きいときに、回収対象品と判定する判別方法。 （もっと読む）

【課題】被検査物の底面付近および被検査物の全体についても異物検査を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される被検査物ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００とを備えている。そして、Ｘ線源２００は、検査テーブル７１１の水平な搬送面と、被検査物Ｂの搬送領域のＸ線源２００から最も離れた位置Ｐとの交点Ｇへ入射するＸ線とのなす角（θ１）が０°より大きく且つ３０°以下を満たすように配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、Ｘ線検査を安定させることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される物品ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介して検出する第１の領域ＡＲ１と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介さずに検出する第２の領域ＡＲ２とを有するラインセンサ４００と、検査テーブル７１１と同じ透過特性を有し、第２の領域ＡＲ２で検出されるＸ線の減衰を調整するＸ線減衰調整部４１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】容器内の液体の正確な液面高さを検出できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線検査装置１００は、Ｘ線源から照射されるＸ線ＸＳを用いて、容器内の物品の検査を行うＸ線検査装置であって、Ｘ線源から照射され容器を透過したＸ線ＸＳに基づいてＸ線画像を生成する画像生成部２４２と、生成されたＸ線画像における、物品の最上端面画像ＳＺＧと最下端面画像ＳＫＧとから、当該最上端面画像ＳＺＧの中心位置Ｐ１および当該最下端面画像ＳＫＧの中心位置Ｐ２を検出する中心検出部２４３と、検出された中心位置Ｐ１と中心位置Ｐ２との距離に基づいて、液面高さＴを検出する高さ検出部２４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】計量手段を備えていても計量精度の低下等の不具合を防止することのできるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】搬送空間Ｓ内のＸ線照射領域である検査位置Ｐ１に被検査物Ｗを搬送するためのＸ線検査用のＸ線コンベア３２と、Ｘ線コンベア３２に隣接し、被検査物Ｗを計量する計量手段１１を有する被検査物Ｗを搬送空間Ｓ内で搬送するための搬送面が水平な計量コンベア３３と、を備え、検査位置Ｐ１が搬入口３０および搬出口３５から見通せないように、搬入口３０から搬出口３５までの搬送空間Ｓが屈曲して形成されている。 （もっと読む）

【課題】ランダムに搬入される物品の識別を正確に行い、かつ当該物品の品質を正確に判定することができる検査装置を提供することである。
【解決手段】
当該検査装置１００の品質検査装置１１０においては、複数種の物品がランダムに搬送され、該種類の異なる物品の検査を計量コンベア６１２にて行う。搬送装置６１０によりバーコードの付された物品が搬送され、バーコードリーダ４００により物品に付されたバーコードが読み取られる。制御部３０１により、読み取られたら該バーコードに基づいて物品の品質の検査条件が変更され、バーコードリーダ４００により読み取られた回数が内部カウンタ３４０の値に１だけ加算される。制御部３０１は、内部カウンタ３４０の値が２以上の場合、異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】物品の製造日や製造ロット等の違いに起因して良品の画像に関する特徴値が変動する場合であっても、規定量に対する物品の過不足を適切に判定することが可能な物品検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品１２に対してＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品１２を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、Ｘ線検出部８の検出結果に基づいて物品のＸ線透過画像を作成し、当該画像に関する代表階調値と、上限しきい値ＴＨ２及び下限閾値ＴＨ１とを比較することにより、規定量に対する物品の過不足を判定する処理部９とを備え、処理部９は、直近の複数回の検査によって得られた複数の代表階調値に基づいて、現在設定されている上限しきい値ＴＨ２及び下限閾値ＴＨ１を変更する。 （もっと読む）

【課題】受光素子列に対する放射線遮蔽部材の位置決めを、簡易かつ確実に行うことが可能な物品検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検出部８は、基台２１と、基台２１の上面上に配置された基板２６と、基板２６の上面上に配置された受光素子列２７と、受光素子列２７の受光面を覆って配置されたシンチレータ２８と、貫通孔３５Ａ，３５Ｂ及びスリット３４を有するコリメータ３３と、基台２１の上面の所定箇所から起立する円柱部材２２Ａ，２２Ｂとを有し、貫通孔３５Ａ，３５Ｂ内に円柱部材２２Ａ，２２Ｂを挿通するとともに、基板２６の側面を円柱部材２２Ａ，２２Ｂに当接することにより、受光素子列２７がスリット３４の下方においてスリット３４に平行に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】
観察座標を算出するのに不適当な，観察装置で検出するのが困難な欠陥(例えば，膜下欠陥など)が多発する品種・工程のウェーハにおいて，安定かつ高スループットに検査装置と観察装置の座標系のずれを補正する。
【解決手段】
観察装置を，座標変換情報を記憶する記憶手段と、検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報を記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を用いてそれぞれの欠陥に対応する観察装置上の座標情報に変換する座標情報変換手段と、座標情報変換手段で変換した観察装置上の座標情報に基づいてそれぞれの欠陥を撮像する撮像手段と、撮像手段で取得した画像から抽出した欠陥の座標情報と座標変換手段で変換したそれぞれの欠陥の座標情報とから記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を修正する座標情報修正手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

チェックポイントシステムと、チェックポイントシステム用のホイール付容器と、ホイール付容器に入った物品をチェックポイントシステムに通して搬送する方法である。各容器は、当該容器の平坦な底面の下に延在しない４つのホイールを具える。これにより、容器は中身が入れられるときに、その底部で浅い樋が設けられた取り外しテーブルに沿ってスライドされ、その底部でチェックポイントを通して搬送され、そのホイールでより深い樋を有する取り出しレーンに沿って転がる。取り出しレーンの下の容器返却部が、容器を取り外しテーブルの下の容器保存キューに戻す。チェックポイントの出力側のソータが、例えば容器の内容物が問題のないレーンと怪しいレーンといった１またはそれ以上の取り出しレーンに容器を選択的に偏向させる。 （もっと読む）

【課題】リサイクル樹脂の臭素濃度を精度良く測定する。
【解決手段】少なくとも樹脂片を含む分別対象物を重ならずに移動させる搬送装置と、複数の分別対象物に同時にＸ線あるいは電子線を照射する照射線発生装置と、複数の樹脂片中の臭素から同時に放出される蛍光Ｘ線を検出する検出装置と、検出された蛍光Ｘ線のデータを処理するデータ処理部と、該データ処理部からの信号に基づいて臭素濃度を測定する臭素濃度測定装置であって、前記データ処理部は、検出された蛍光Ｘ線のデータを樹脂片の所定単位毎に積算するように構成する。 （もっと読む）

【課題】各Ｘ線センサからのＸ線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができるＸ線検出器およびＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】センサモジュール群１０２の各センサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・およびセンサモジュール群１０１の各センサモジュール１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・は、それぞれ所定間隔でそれぞれ一列に配置されていて、この所定間隔は、センサモジュール群１０２の各センサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・と、これらのセンサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・のそれぞれに対応させたセンサモジュール群１０１の各センサモジュール１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・と、の各対応点をそれぞれ結んだ各方向線が集束領域で集束するようにそれぞれ決定された。 （もっと読む）

【課題】搬送中の商品の揺れを抑制して、安定したＸ線検出画像を得ることによって、従来よりも検査精度が向上したＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置はガイド部材１８を有したコンベアを備えている。ガイド部材１８は、一対の曲面支持部１８ａ、１８ｂと、曲面支持部１８ａの搬送方向上流側に設けられた水平支持部１８ｃと、水平支持部１８ｃと同様のものであって、曲面支持部１８ｂの搬送方向下流側に設けられた水平支持部１８ｅと、曲面支持部１８ａと同構成の曲面支持部１８ｂとの間に設けられた切り目１８ｄと、を有しているものである。曲面支持部１８ａは、搬送ベルト１２ｅを幅方向に湾曲させつつ支持する曲面を有した第１支持部１８ａ_１と、第１支持部１８ａ_１の搬送方向上流側に設けられている第２支持部１８ａ_２とを有しているものである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線減弱率が被検査物の正常部位と大差のない物質からなる異物でも、その混入を確実に検出することができ、しかも、検査に先立つ装置の設定作業が容易で、更にはこれらの機能を持つが故のコストの上昇を極力抑制したＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線エネルギが互いに異なる透過Ｘ線を検出するＸ線検出手段２と、良品の被検査物もしくはそれと同等の物品を撮像して得られる複数のＸ線エネルギそれぞれの出力の相互の関係を記録しておく記録手段７を備えるとともに、被検査物の検査時にＸ線検出手段２による複数のＸ線エネルギの検出出力から、記録手段により記録した相互の関係からの乖離度より画像を形成する画像形成手段６を備え、その画像形成手段により形成された画像に基づいて異物の有無を判定する。画像形成手段６により形成された画像は、異物以外の被検査物の像はほぼ一様となるのに対し、異物の像は強調された状態となり、その画像形成手段により形成された画像に基づいて異物の有無を判定することで、課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】設置スペースの増加を最小限に抑えつつ、再検査の対象の物品を自動で再供給することが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、通常検査の対象の物品５０を搬送する領域６Ｐと、再検査対象物品５０Ｑを搬送する領域６Ｑとを有するベルトコンベア６と、ベルトコンベア６が搬送している物品の検査を行う検査手段と、領域６Ｐを搬送されてきた物品５０を、検査手段による検査結果に応じて良品５０Ｐと再検査対象物品５０Ｑとに振り分ける振分部１０Ｐと、ベルトコンベア６の下方に配置され、振分部１０Ｐから受け渡された再検査対象物品５０Ｑを、ベルトコンベア６による搬送方向とは逆方向に搬送するベルトコンベア１７と、ベルトコンベア１７から受け渡された再検査対象物品５０Ｑを、ベルトコンベア６の上流部において領域６Ｑに供給する供給部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に割れや欠けがなく、良品と相似形で面積が相違する物品や、周囲長が良品と同程度でも欠けが存在する物品について、従来に比してより正確に割れや欠けの有無を判定することのできるＸ線検査装置とその検査プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１からのＸ線を検査対象物Ｗに照射し、その透過Ｘ線をＸ線検出器２で検出して得られる検査対象物のＸ線透視像を、画像処理して良否判定を行う装置において、検査対象物のＸ線透視像の外形の複雑さを数値化し、その数値をあらかじめ設定されている許容範囲と比較することによって良否判定を行うことで、割れや欠けが存在しないものの面積の大きな対象物を欠陥品と判定せず、また、周囲長が良品と同程度でも欠け等が存在する対象物を確実に欠陥品と判定する。 （もっと読む）

【課題】密閉容器においても、非破壊で、被検体の内容物と内容物表示物に記載の内容物との整合性の評価が可能な密閉容器の非破壊検査方法及び非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象物が密閉容器に収容された被検体に放射線を側面から照射して前記被検体を透過した放射線をイメージセンサにより検出することにより放射線の強度に応じた強度信号を得る第１の信号取得工程と、前記第１の信号取得工程により得られた前記強度信号を処理して前記被検体の検査対象物の画像情報を生成する第１の画像情報生成工程と、前記第１の画像情報生成工程により得られた前記画像情報に基づいて、前記被検体の検査対象物と前記被検体の検査対象表示物に表示された検査対象物との整合性を判断する判断工程と、を有することを特徴とする密閉容器の非破壊検査方法を使用する。 （もっと読む）