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Fターム[2G001PA15]の内容

放射線を利用した材料分析 (46,695) | 測定前後の試料の動き (2,337) | 他運動 (58)

Fターム[2G001PA15]に分類される特許

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【課題】粗粒かつ微少試料であっても均一な回折リングを得ることができるX線回折試料揺動装置、X線回折装置及びX線回折パターンの測定方法を提供する。
【解決手段】X線回折試料を保持する試料保持部31をX線入射方向と平行にした第1の回転軸の周りに揺動可能な第1の揺動部21と、前記第1の回転軸と直交する第2の回転軸の周りに揺動可能な第2の揺動部22と、前記第1及び第2の回転軸と直交する第3の回転軸の周りに揺動可能な第3の揺動部23を有するX線回折試料揺動装置11を用いることによって前記課題を解決できる。 (もっと読む)


【課題】X線検査装置における撮像時間を短くする。
【解決手段】X線検査装置が実行する処理は、検査対象物中の着目点がX線検出器の受光中心に常に投影された状態で、X線検出器および撮像視野を、それぞれの移動のために予め設定された軌道上で連続的に移動させるステップ(S710)と、その移動中に、各目標位置において、連続的にX線を照射するようにX線発生器を駆動し、またはX線検出器が露光状態にある期間、X線を照射するステップ(S720)と、X線を露光し、プロジェクション画像(投影画像)を出力するステップ(S730)と、予め設定されたn回の露光が行なわれると(ステップS750にてYES)、n枚のプロジェクション画像から3次元画像を再構成するステップ(S760)とを含む。 (もっと読む)


【課題】検査精度および検査速度の低下が防止できるX線検査装置を提供する。
【解決手段】X線検査装置がアーチファクトを認識するために実行する処理は、撮像条件1の再構成画像から断層画像S1を取得するステップ(S510)と、撮像条件2の再構成画像から断層画像S2を取得するステップ(S520)と、断層画像の差分(S1−S2)を計算するステップ(S530)と、差分の絶対値が閾値以上であればアーチファクトと判断するステップ(S540)とを含む。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子顕微鏡が、様々なビームエネルギーでの一連の測定を必要とすることなく、試料からの深さ分解像を取得するために用いることのできる方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子顕微鏡を用いた試料の検査方法は、試料ホルダ上に試料を載置する手順;粒子光学鏡筒を用いて試料の表面上に特別な放射線ビームを案内することで、試料から放出される放射線を生じさせる相互作用を生じさせる手順;検出装置を用いて放出される放射線の少なくとも一部を検出する手順、試料の表面に対して垂直な軸に対する放出される放射線の放出角θnの関数として検出装置の出力Onを記録することによって、複数のθnについて測定データの組M={(Onn)}をまとめる手順、コンピュータ処理装置を用いて測定データの組Mのデコンボリューションを自動的に行って、結果の組R={(Vk,Lk)}に分解する手順を有する。 (もっと読む)


【課題】 衝突危険領域を過大に設定することを防止し、スムースにX線透検査を行うことができるX線検査装置を提供する。
【解決手段】 衝突危険領域設定部33は、X線測定光学系13が被測定物に接触する可能性のある衝突危険領域を設定するものであり、背景モデル作成部34と、外観形状抽出部35と、衝突危険領域算出部39とを備える。外観形状抽出部35は、背景モデル作成部34において作成された背景モデルと、回転ステージ14a上に被測定物Sを載置している状態で、回転ステージ14aを回転させながら光学カメラ16により撮影して得た複数の試料画像と、を比較することで被測定物Sの外観形状を抽出するものであり、外観形状候補作成部36と、影除去部37と、最適化部38とを有する。 (もっと読む)


【課題】イオンビームの照射を受けて遮蔽板が高温度となって遮蔽板の支持部材に熱膨張が発生して遮蔽板が移動しても、良好な断面試料を作製する試料作製装置を提供する。
【解決手段】遮蔽板を試料の一部が露出しその他が遮蔽されるように配置し、遮蔽板と試料6の露出部分に跨るようにイオンビームを試料6に照射することにより、試料6の露出部分をエッチングして試料断面を作製する試料作製装置であって、遮蔽板ステージ9と、前記遮蔽板ステージ9により基端部を支持され、先端側が自由端となされた支持部材と、前記支持部材の先端側に支持された遮蔽板とを備え、前記支持部材は、前記遮蔽板の前記支持部材の基端側に向かう一側縁が前記イオンビームの照射位置となるように該遮蔽板を保持し、この遮蔽板により前記イオンビームが遮蔽される位置に設置された前記試料の該遮蔽板の一側縁から露出した箇所への前記イオンビームによる加工を行わせるようにした。 (もっと読む)


【課題】複数の検体容器内の検体の判定を効率的に行うことができる検体判定装置を提供する。
【解決手段】複数の検体容器が一列に立てられた検体ラックを載置する検体ラック載置部と、前記検体ラック載置部を、前記検体ラックに立てられた前記検体容器の列の方向に直交する水平線回りに所定の角度に傾斜させる傾斜部12と、前記検体ラックに立てられた前記検体容器にX線を照射する照射部6と、前記照射部により前記検体容器に照射されたX線を検出する検出部7と、前記検出部による検出結果に基づいて前記検体容器内の検体の液面の角度を判定する液面判定部4とを備える。 (もっと読む)


【課題】透過型電子顕微鏡を用いて角層細胞間の微細構造の全体の詳細を簡便かつ明瞭に観察することができる角層細胞間の微細構造の観察方法を提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡を用いた角層細胞間の微細構造の観察方法であって、皮膚面に対して垂直方向に切断面を有するように切り出した皮膚試料4に対して、角層細胞間脂質の層構造14の面内方向に電子線10が照射されるように、透過型電子顕微鏡用試料ホルダー上の、該皮膚試料を載せたグリッド1の向きを調整し皮膚試料の向きを調整する、角層細胞間の微細構造の観察方法。 (もっと読む)


【課題】一定の処理能力を備えるとともに、検査員の安全性を確保し、製造ライン上で合金組成の適否検査を行うことができる鋼管の材質分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】蛍光X線分析計を鋼管の外周面または端面に押し当てて含有される合金成分を測定する材質分析装置であって、蛍光X線分析計2と、蛍光X線分析計2を装着する保持部3と、装着された蛍光X線分析計2を移動させる機構(移動機構)と、移動機構を動作させる制御手段6とを備えることを特徴とする鋼管の材質分析装置である。移動機構は、蛍光X線分析計を水平方向に移動させる第1送り機構4と、垂直方向に移動させる第2送り機構5とにより構成し、保持部3は、装着された蛍光X線分析計2の角度を変更可能にする機構を備えるのが好ましい。 (もっと読む)


本発明は、いわゆるラジオシンセティック検査による、非破壊で且つ連続的な試料検査方法に関するものであり、この試料のライフサイクルマネージメントプロセスに組み込むことができる。この方法は、少なくとも1つのX線源と、このX線源と一対をなす少なくとも1つのデジタルセンサとを用いて行われ、このX線源とセンサとは、各試料の少なくとも1つの断面をリアルタイムでそれぞれ生成するように、移動空間内部において、向かい合い且つ相似な軌道の上を移動する。 (もっと読む)


【課題】電子顕微鏡において、従来、複数の方向からの試料の観察を一度に実施することは不可能であり、例えば、試料の3次元形状を求めるには、試料を様々な角度に傾斜させ、得られた各々の画像から3次元形状を再構築するトモグラフィー法、右視野像、左視野像の2枚の画像を試料の傾斜もしくは電子線の照射角度の変化によって作り出し、立体観察を可能成らしめるステレオ法などがあるが、いずれも複数枚の画像を得るには画像枚数回の画像取得作業を必要としており、時間分解能が低く、動的観察、実時間観察には至っていない。
【解決手段】照射光学系中に第1の電子線バイプリズムを設置し、角度の異なる2つの電子線を試料の観察領域に同時に照射する。この同時に試料を透過した2つの電子線を結像光学系に配置した第2の電子線バイプリズムにより空間的に分離して結像させ、照射角度の異なる2つの電子顕微鏡像を得る。この2つの画像を検出手段で取得しこれを元に試料の立体像や異なる情報を有する2つの像を生成し、表示装置に表示する。 (もっと読む)


【課題】試料をビードの形状において作成するための方法及び装置、特には蛍光X線に対して使用され得るガラスビードの形状における試料を作成するための方法及び装置を与える。
【解決手段】ビード炉は、炉チャンバ4及び開口6を有する炉を備える。閉鎖組立体20は、閉鎖組立体の異なる側部においてブランク閉鎖要素26及び能動閉鎖要素32を備え、該要素は各々が開口6と合致する。るつぼを保持するためのデテントと有するるつぼホルダ、及び鋳型を保持するための鋳型ホルダは、能動面上に与えられる。閉鎖組立体は、ブランク要素26が炉開口に装填状態と能動閉鎖要素32が炉においてるつぼ及び鋳型を有する炉開口にある作動状態とである2つの状態間において動く。閉鎖組立体は、るつぼの内容物を撹拌し、続いて溶解された内容物を鋳型へと注ぐようるつぼを傾けることができる。 (もっと読む)


【課題】密閉容器においても、非破壊で、被検体の内容物と内容物表示物に記載の内容物との整合性の評価が可能な密閉容器の非破壊検査方法及び非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象物が密閉容器に収容された被検体に放射線を側面から照射して前記被検体を透過した放射線をイメージセンサにより検出することにより放射線の強度に応じた強度信号を得る第1の信号取得工程と、前記第1の信号取得工程により得られた前記強度信号を処理して前記被検体の検査対象物の画像情報を生成する第1の画像情報生成工程と、前記第1の画像情報生成工程により得られた前記画像情報に基づいて、前記被検体の検査対象物と前記被検体の検査対象表示物に表示された検査対象物との整合性を判断する判断工程と、を有することを特徴とする密閉容器の非破壊検査方法を使用する。 (もっと読む)


【課題】 互いに積層されてパッケージに収容された複数の単結晶基板の夫々について、パッケージを破壊することなく反りを測定する。
【解決手段】
パッケージにX線を照射するステップと、受光スリットの調節及びパッケージの高さ方向の位置調節を行うことにより、パッケージに収容された複数の単結晶基板により回折された複数の回折X線のなかから、所望の単結晶基板からの回折X線だけを選択的に検出するステップと、所望の単結晶基板からの回折X線のロッキング曲線を測定するステップと、パッケージを所定方向に一定距離移動させるステップとを含み、ロッキング曲線測定を行うステップとパッケージを所定方向に一定距離移動させるステップとを繰り返し行う。 (もっと読む)


【課題】層数が多くかつ層間のピッチが狭い多層基板であっても、その精細な三次元再構成画像を生成可能な放射線透過画像撮像装置および放射線透過画像撮像方法ならびにそれに用いる基板固定用治具を提供する。
【解決手段】本装置1は、放射線を基板Pに照射する放射線発生器10と、基板を透過した放射線を検出する放射線検出器20と、回転軸Aを中心として放射線の光軸Rと基板Pとを相対回転させる回転機構(ターンテーブル40)と、基板を回転軸と直交する平面上を移動させるステージ(X−Yステージ30)と、基板の撮像部位の倍率を調整する拡大倍率可変機構(昇降機構50)と、基板を保持しかつステージに対して固定するための基板固定用治具60と、を備え、光軸が回転軸に対して90度未満の角度で交差するように設定されており、基板固定用治具が、回転軸と平行になるように(または90度未満の角度で交差するように)基板をステージに固定する。 (もっと読む)


【課題】簡単な方法で、精度よく結晶軸比を測定できる結晶軸比測定方法を提供する
【解決手段】測定対象物である結晶材料の晶帯軸[UVW]に収束電子線を入射して、収束電子線回折パターンの透過ディスクに現れたHOLZ線(1a)の極座標(θ1a,ρ1a)と、晶帯軸[WVU],晶帯軸[UWV]及び晶帯軸[VUW]から選ばれる晶帯軸(なお、入れ替えた指数にはバーが付いていてもよい)に収束電子線を入射して、収束電子線回折パターンの透過ディスクに現れた、前記HOLZ線(1a)と対称の線指数のHOLZ線(1b)の極座標(θ1b,ρ1b)を測定し、ρ1aとρ1bとの差分(ΔρEXP)を求めて、該差分(ΔρEXP)の値をフィッティングパラメータとして用いて結晶軸比を算出する。 (もっと読む)


【課題】FP法で基板上に点在する島状構造物について組成、高さおよび占有率をすべて定量できる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】基板1b上に島状構造物1cを有する試料1に1次X線6を照射するX線源3と、基板表面1aへの1次X線6の照射角度αを調整する照射角度調整手段5と、試料1からの蛍光X線7強度を測定する検出手段8と、島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を仮定し、照射角度調整手段5により調整された照射角度αごとに、仮定した島状構造物1cの組成、高さおよび占有率に基づいて島状構造物1c中の各元素からの蛍光X線7の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段8で測定した測定強度とが合致するように、仮定した島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を逐次近似的に修正計算して、島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を算出する算出手段11とを備える。 (もっと読む)


【課題】
タンパク質等の高分子構造におけるカイラリティ分布や、磁区構造の解析を高分解能で行うことが可能な走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
レーザー201と半導体202を備えたスピン偏極電子源等を搭載した走査電子顕微鏡を用いて、スピン偏極電子線203を照射した試料208からの反射電子209の強度やスピン偏極度を反射電子検出器210などを用いて測定することにより、試料208内部の高分子のカイラリティ構造や磁化ベクトルを可視化することができる。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板の面取斜面の異物を発見することができる検査方法及び検査装置及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ステージ上に搭載したガラス基板の表面の欠陥に電子線を照射して検査する検査方法において、ガラス基板の面取斜面を検査する際の面取斜面と電子線との照射角度が、ガラス基板の磁性層形成面を検査する際の磁性層形成面と電子線との照射角度と同じとなるように、ステージを傾けることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】安全にかつ短時間で被計測物の傾斜角度を調整できる被計測物の保持装置を提供する。
【解決手段】細長な被計測物3内の内容物をX線検査により確認すべくその被計測物3を傾斜させて保持する被計測物3の保持装置6において、基台14上に、被計測物3を載置する傾斜調整トレイ15を傾動自在に設け、基台14上に傾斜調整トレイ15の傾斜角度を調整する傾斜角度調整装置16を設けたものである。 (もっと読む)


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