【課題】薄膜の応力・歪測定およびRHEEDによる構造解析を同時に行なえる、非固定式通電加熱ホルダーを提供すること。
【解決手段】ホルダー本体と、ホルダー本体に電気的に絶縁した状態で固定設置されている2個の試料設置台座と、試料設置台座に対応して設けられ、電極間に試料をフックした上で前記試料を通電加熱可能な2個の電極と、前記2個の電極の位置を、前記試料設置台座に対して垂直方向に摺動自在に保持する電極保持手段と、2個の試料設置台座に対応して設けられ、かつ前記ホルダー本体と電気的に接地されており、前記ホルダー本体が下向きにされた際に、前記試料の重力落下を防止し、同時に前記試料と電気的に接続される爪を備えた2個のアース板から構成される。 （もっと読む）

【課題】試料棒と低温ガス吹付方向とが鋭角になる場合があるＸ線分析装置において試料に霜が付着する現象を解消する試料冷却装置を提供する。
【解決手段】試料棒２３によって支持された試料Ｓをω軸線を中心として回転させ、試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから出るＸ線をＸ線検出器１１によって検出するＸ線分析装置１に用いられる試料冷却装置５である。試料Ｓに冷却ガスを吹付けるノズル２６と、試料Ｓを通過したガスを開口３４を通して吸引するガス吸引装置２８とを有する。試料棒２３はω軸線を中心として回転するときに試料Ｓを頂点とする円錐面を形成するように移動し、ノズル２６は試料棒２３とノズル２６のガス吹付方向とが９０度以下の鋭角になることがあるように設けられている。ガス吸引装置２８は、試料棒２３とノズル２６のガス吹付方向Ｄとが鋭角を成すときに、試料棒２３に当ったガスをその流路を曲げるように吸引する。 （もっと読む）

【課題】 観察対象部位が試料内部にある場合でも、集束イオンビーム加工装置を用いた断面加工を行って走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて精度の高い観察ができる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 透明性を有する試料の内部に存在する観察対象部位とその試料の表面に存在する所定の目標物とが同一画像上に現れるように光学顕微鏡で試料を撮像し、撮像された顕微鏡像に基づいて、観察対象部位の位置情報を算出し、算出された観察対象部位の位置情報に基づいて、集束イオンビーム加工装置を用いて試料から観察対象部位を包含する微小片試料を摘出し、摘出した微小片試料を、集束イオンビームを照射することによって断面加工し、微小片試料の表面に観察対象部位を位置させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で接触子の表面の状態を測定することができる碍子型ガス絶縁開閉装置の電気的接続部材の表面検査方法を提供する。
【解決手段】 碍子型ガス絶縁開閉装置１０の電気的接続部材の表面検査方法では、可動接触子２３の先端から突出部材２６を突出させ、突出部材２６の先端と、固定側接触部２５の先端との間を所定の距離とし、突出部材２６と固定側接触部２５との間に電圧を印加して、突出部材２６の先端部から部分放電５０を生じさせる。部分放電５０により発生したＸ線の、可動接触子２３の先端部および固定側接触部２５の先端部からの反射波を、容器２１の外部に設けたＸ線検知部４０で検知する。検知結果に基づいて、可動接触子２３の先端部および固定側接触部２５の先端部の表面の状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】排ガス中に含まれるＣｌ^-濃度を測定することができるガス分析装置、水銀除去システム、ガス分析方法及び排ガス中の水銀除去方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係るガス分析装置１０は、ＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を含む排ガス１１が送給される煙道１２から排ガス１１Ａを抜出す排ガス抜出し管１３と、排ガス抜出し管１３に設けられ、抜出した排ガス１１Ａ中に含まれる煤塵を除去する捕集器１４と、排ガス抜出し管１３に設けられ、排ガス１１Ａ中に含まれるＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を析出させるロールフィルタ１５と、ロールフィルタ１５で析出されたＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を含む試料にＸ線を照射させて試料から発生する蛍光Ｘ線を検出して排ガス１１Ａ中に含まれるＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を測定する測定装置１９とを含む。 （もっと読む）

【課題】駆動装置を搭載しない移動台車により、車両を搬送しながらＸ線検査することができ、移動台車の構造を簡略化かつ軽量化して製造コストを下げることができるケーブル牽引式車両搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の走行面１１より低く、被検車両の前輪１ａの外側又は内側に位置し、搬送方向に水平に延びる台車用通路１３内に設けられた走行レール１２と、走行面１１より下方に位置し、走行レールに沿って移動可能な移動台車１４と、移動台車に設けられ、被検車両の前輪を自走可能位置と搬送可能位置との間で移載可能な前輪移載装置１６と、移動台車をケーブル１９により牽引して走行レールに沿って移動させるケーブル牽引装置１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】電車線材料の状態を任意の位置で移動しながら簡単に非破壊で高精度に検査することができる電車線材料の非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】（Ａ）に示すように、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内に収容されて、Ｘ線照射部１４Ｂが電車線材料Ｃ₁の検査箇所Ｐ₁にＸ線を照射し、この電車線材料Ｃ₁を透過する透過Ｘ線を透過Ｘ線測定部１６Ａが測定する。その後に、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内から開放されて、収容部６が所定の間隔Δだけ移動する。次に、図（Ｂ）に示すように、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内に収容されて、Ｘ線照射部１５Ｂが電車線材料Ｃ₁の検査箇所Ｐ₁にＸ線を照射し、この電車線材料Ｃ₁を透過する透過Ｘ線を透過Ｘ線測定部１７Ａが測定する。その結果、透過Ｘ線測定部１６Ａ，１７Ａが出力する透過Ｘ線情報が測定結果記録部に記録される。 （もっと読む）

【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源１４・６と、該試料を保持する試料ステージ１４・２２と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器１４・４と、該検出器１４・４に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット１４・５と、電子源１４・６から試料ステージ１４・２２への１次電子光学系と試料ステージ１４・２２から検出器１４・４への２次電子光学系を分離するウィーンフィルタ１４・３と、を備え、電子銃１４・６から放出された電子線はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成し、１次電子光学系と２次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ１４・３上で異なっている。 （もっと読む）

【課題】試料や試料の所望位置に、Ｘ線を、短時間で精度良く照射させることができるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線分析装置１００は、Ｘ線マイクロビーム３を形成する集光装置２と、Ｘ線マイクロビームが照射された微小照射点を含んだ試料表面観察する観察用カメラ１０と、微小照射点から発生したＸ線マイクロビームを検出するＸ線検出器９と、試料を搭載している回転ステージ４と、回転ステージに載置されている第１並進駆動ステージ６と、回転ステージを上方に載置している第２並進駆動ステージ５と、観察用カメラを搭載している第１位置調整装置と、Ｘ線検出器を搭載している第２位置調整装置とを備えたＸ線分析装置であって、微小照射点が表面に位置するように配置されており、測定用試料の仮試料である基板７を備え、基板が、表面上に、基板の密度と異なる密度を有する微細な線模様を有している。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置製造プロセスで形成されるパターンの検査前に実行されるプリチャージの最適な条件を簡易に設定できるようにし、プリチャージの良否を自動判定し、その後の動作にフィードバックするようにして、検査結果の信頼性の低下を防ぎ、常に安定した検査ができるようにする。
【解決手段】
電子ビームを照射する前に、電子ビームを発生させる電子源とは別の第二の電子源から電子を発生させて基板の表面に帯電を形成させる帯電形成手段と、該帯電形成手段により基板の表面に帯電が形成された状態で、基板に流れる電流の値を計測する電流計測手段と、該電流計測手段により計測された電流の値が予め定められた目標値になるように帯電形成手段により形成される帯電を調整する調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】層数が多くかつ層間のピッチが狭い多層基板であっても、その精細な三次元再構成画像を生成可能な放射線透過画像撮像装置および放射線透過画像撮像方法ならびにそれに用いる基板固定用治具を提供する。
【解決手段】本装置１は、放射線を基板Ｐに照射する放射線発生器１０と、基板を透過した放射線を検出する放射線検出器２０と、回転軸Ａを中心として放射線の光軸Ｒと基板Ｐとを相対回転させる回転機構（ターンテーブル４０）と、基板を回転軸と直交する平面上を移動させるステージ（Ｘ−Ｙステージ３０）と、基板の撮像部位の倍率を調整する拡大倍率可変機構（昇降機構５０）と、基板を保持しかつステージに対して固定するための基板固定用治具６０と、を備え、光軸が回転軸に対して９０度未満の角度で交差するように設定されており、基板固定用治具が、回転軸と平行になるように（または９０度未満の角度で交差するように）基板をステージに固定する。 （もっと読む）

【課題】試料分析装置において、観察しようとする試料に形成されたデバイスに含まれるプラグや配線構造をはじめとする試料特定箇所に、単一または多数系統の外部電圧を印加し、デバイスをオン・オフさせたときの構造、組成、電子状態の変化を分析できるものにおいて、試料を自由に回転・傾斜させることを可能にする。
【解決手段】試料傾斜機構を備えた試料ホルダ本体を有する試料分析装置において、サンプルキャリアは、第一の固定部材と、第二の固定部材と、前記第一の固定部材と前記第二の固定部材とを接続する変型可能な接続部と、当該接続部上に形成され前記第一の固定部材と第二の固定部材とを導通させる単一または多数の配線構造と、を備える。前記試料傾斜機構を操作して傾斜角を調整し、試料ホルダ本体先端に設けた回転ピボットを中心に試料ホルダ本体を回して回転角を調整する。 （もっと読む）

【課題】同一の生体組織試料について、電子像観察だけでなく、蛍光像観察、そして透視像観察等を行うことも可能な、複数の観察用光源を備えた多光源顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡の光源である電子銃とそれ以外の少なくとも１種の光源を有し、試料を同一位置で観察可能な多光源顕微鏡であって、蛍光を観察するための光学顕微鏡２０と走査型電子顕微鏡２とからなり、該走査型電子顕微鏡の電子ビームの光軸と同軸となるように該光学顕微鏡のカセグレン鏡１２が該走査型顕微鏡の鏡筒内に配置されてなり、反射面が非球面型であるカセグレン鏡を用いる。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査時にＸ線強度調整体を容易に用いることができるようにする。
【解決手段】Ｘ線強度調整体１は、上面に円形の開口部１ａを、下面に円形の穴部１ｂを有している。Ｘ線強度調整体１の内部では、開口部１ａから穴部１ｂにかけて、円錐面を成すテーパ部１ｃが形成されている。Ｘ線強度調整体１を球状の被検査物１１のＸ線画像の撮像時に用いることにより、被検査物１１とＸ線強度調整体１とを透過したＸ線画像の強度を被検査物１１の全体について略一様にすることができ、精度良く非破壊検査を行うことができる。Ｘ線強度調整体１をＸ線エリアカメラ３とＸ線源２との間に配置した状態で、開口部１ａを介してテーパ部１ｃに被検査物１１を載置することにより、容易に、被検査物１１を検査可能にすることができる。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる検査方法及び検査装置に関し、該試料の光学像と、一次線（電子線、荷電粒子線）を用いた像の同時取得を可能にする検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０に含まれる検査対象物から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、該検査対象物の光学像を取得する光学像取得手段を備え、該一次線照射手段と該光学増取得手段とが該膜３２を間に介して対向配置されており、該膜３２が遮光性を有している。 （もっと読む）

【課題】容易に工作機械による表面の加工状態を観察することができる表面観察装置を提供する。
【解決手段】表面観察装置１は、シュラウド１１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド１１は、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。ＳＥＭユニット１３は、シュラウド１１上に配置される。このように、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上において、試料Ｓ１を治具Ｊ１に取り付けた状態で試料Ｓ１及び治具Ｊ１をシュラウド１１の内部に収めることによって、試料Ｓ１を治具Ｊ１から取り外すことなく、試料Ｓ１の表面の加工状態をシュラウド１１の上面に配置されたＳＥＭを用いて観察することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】液体試料を前処理して含有成分を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具ならびにそれを用いる蛍光Ｘ線分析方法および装置において、蛍光Ｘ線分析用試料保持具からの不純線をなくし、バックグラウンドを抑制して検出限界を向上させるとともに分析精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１は、液体試料Ｓを前処理して含有成分Ｓ１を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具１であって、輪状の台座２と、台座２に所定の張力で保持される周辺部３ａおよびＸ線を透過させるための透過部３ｂを有する厚さ１２μｍ以下の熱収縮性フィルム３とを備え、透過部３ｂに窪み３ｃが形成されており、透過部の窪み３ｃに液体試料Ｓが滴下されて乾燥されることにより、透過部３ｂが平坦になるとともに、含有成分Ｓ１を保持する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも少量の試料でも、正確に元素の種類及び濃度を測定することができる材料分析装置、材料分析方法を提供する。
【解決手段】外力により形状変化が可能な試料３を構成する元素の種類及び濃度を測定するＸＲＦ装置１００であって、試料３が収容される試料フォルダ４と、試料フォルダ４に収容された試料３を圧縮する押圧部材４１と、押圧部材４１によって圧縮された試料３に、試料フォルダ４を介して１次Ｘ線２０を照射するＸ線出射装置１と、１次Ｘ線２０の照射により、試料３から発生する元素特有の２次Ｘ線２１を検出するＸ線検出器５と、Ｘ線検出器５により検出された２次Ｘ線２１から、試料３を構成する元素の種類及び濃度を検出する元素検出部１０と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】二次イオン質量分析装置などの試料ホルダーにおいて、測定窓より小さな複雑な形状を持つ試料や微小試料を安定に保持して分析ができる試料ホルダーを提供する。
【解決手段】試料ホルダー１００の試料設置部４ａに導電性を持つ熱可塑性樹脂４ａ−１を配し、試料設置部４ａを加熱し、該樹脂４ａ−１が変形可能となった時点で試料５の下部を埋め込み、冷却、硬化させることで、測定窓８より小さな粒子や微小試料など複雑な形状の試料５を容易に固定することが出来るようになり、二次イオン質量分析を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】ボイドの形状に基づいて画像処理することにより効率よく被検体を検査すること。
【解決手段】検査方法は、（ａ）被検体のＸ線透過画像を撮像するステップと、（ｂ）前記Ｘ線透過画像から、第１輝度に基づいて互いに分離された検出候補画像を生成するステップと、（ｃ）前記検出候補画像の各々の縦横比に基づいて第１ボイド候補の画像を選択するステップと、（ｄ）第２輝度に基づいて残りの検出候補画像の各々から第２ボイド候補の画像を生成するステップと、（ｅ）前記第１ボイド候補画像と前記第２ボイド候補画像を合成してボイド候補の画像を生成するステップとを具備する。 （もっと読む）