【課題】 半導体単結晶基板の結晶欠陥を、高感度に検出し精度良く評価することのできる半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法であって、少なくとも、前記半導体単結晶基板を水素雰囲気下８００〜１１００℃で熱処理した後、該熱処理した半導体単結晶基板の表面に顕在化した結晶欠陥の検出を行うことによって、前記半導体単結晶基板の結晶欠陥の評価を行うことを特徴とする半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法。 （もっと読む）

【課題】摩擦材の構成をより正確に解析可能な技術を提供する。
【解決手段】前記摩擦材を構成する材料とは異なる性質を有する所定の液体を、前記摩擦材の空隙に含ませる含浸ステップと、前記所定の液体を含む前記摩擦材からなる試料に対して所定のＸ線を照射し、前記空隙に存在する前記所定の液体の反応から、少なくとも前記空隙の位置に関する情報と形状に関する情報とのうち少なくともいずれか一方を含む摩擦材の構成情報を取得する構成情報取得ステップと、前記構成情報取得ステップで取得された前記構成情報に基づいて画像を生成する画像生成ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】複雑な波形分離を用いることなく、固体材料の表面に存在する官能基をより幅広く且つより正確に測定できるようにする。
【解決手段】官能基の測定する方法は、炭素質膜からなる複数の評価用試料を準備する工程（ａ）と、各官能基に対する反応率をあらかじめ測定した複数の標識試薬を準備する工程（ｂ）と、評価用試料と標識試薬とをそれぞれ反応させる工程（ｂ）と、工程（ｂ）よりも後に、評価用試料のそれぞれについてその表面に導入された標識試薬の導入量をＸ線光電子分光測定法により測定する工程（ｃ）と、炭素質膜の表面に存在する各官能基の量を、Ｇ＝Ｒ^-1Ｑに基づいて算出する工程（ｄ）とを備えている。但し、Ｇは各官能基の量を示す行列であり、Ｒは各標識試薬の各官能基に対する反応率を示す行列であり、Ｑは各標識試薬の導入量を示す行列である。 （もっと読む）

本発明は、α相およびβ相を有する２相タイプのチタニウム合金を検査する方法に関する。方法は、
ａ）合金から作られた部分の試料を切断するステップと、
ｂ）試料のエッジ（５０）の近傍に位置する試料の切断面の領域（４）を調製するステップであって、領域（４）が観察されることができるようにするために、エッジ（５０）が部分の外面（１）と共通であるステップと、
ｃ）５０００倍よりも大きな倍率で領域（４）のα相を観察するステップと、
ｄ）試料のエッジ（５０）に隣接する第１のゾーン（１１）のα相に粒状性があるかないかを決定するステップと、
ｅ）隣接するゾーン（１１）のα相に粒状性がないことが認められるが、隣接するゾーン（１１）の外側のα相に粒状性（２２）がある場合、合金が気体で汚染されたと結論付けるステップと
を含む。
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【課題】 金属元素の深さ方向分析方法及び二次イオン質量分析装置に関し、分析に用いる一次イオンとしての酸素イオンビーム照射に誘起される金属元素の拡散現象を抑制する。
【解決手段】 一次イオンに酸素を用いて単結晶シリコンを母材とする試料中のＧａ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ａｕ或いはＡｇの少なくとも一つの金属元素の深さ方向分析を二次イオン質量分析法によって行う際に、前記試料が前記一次イオンとしての酸素により酸化される領域より少なくとも深い領域を、予め試料の酸化に伴う前記金属元素の拡散を抑制する拡散抑制領域に改質しておく。 （もっと読む）

【課題】 多量の反応ガスを流しながらＸ線回折で試料（亜鉛フェライト脱硫剤）の反応過程（炭素析出）をその場で観察する。
【解決手段】 試料を流通する前と流通した後の反応ガスの組成が変化しない状態に試料２１を保持する微分反応評価試料保持部１５を備え、検証条件を保持した状態でＸ線回折装置（Ｘ線発生手段２５、二次元Ｘ線検出手段２６）により試料２１の組成の形態変化をその場で直接解析し、炭素の析出が生じる過程での形態変化を検証する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における試料の検査方法を提供する。
【解決手段】試料キャリア500は、パッド505,508と接続する電極504,507を有する。領域A上に試料は設けられる。前記試料を前記試料キャリア上に設けた後、前記試料上に伝導性パターンが堆積される。それにより前記試料の特定部分に電圧又は電流を印加することが可能となる。前記試料上への前記パターンの堆積は、たとえばビーム誘起堆積又はインクジェットプリントによって行われて良い。前記試料内での電子部品-たとえばレジスタ、キャパシタ、インダクタ、及びFETのような能動素子-の構成についても教示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、観察対象である試料の伸縮の変化を抑えることにより、観察対象の位置ずれを解消し、大幅なスループット向上を図った荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を保持する試料保持手段と、前記試料の温度の調整が可能な温度調節手段と、各種条件に基づき前記温度調節手段の制御が可能な温度調整手段制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料をビードの形状において作成するための方法及び装置、特には蛍光Ｘ線に対して使用され得るガラスビードの形状における試料を作成するための方法及び装置を与える。
【解決手段】ビード炉は、炉チャンバ４及び開口６を有する炉を備える。閉鎖組立体２０は、閉鎖組立体の異なる側部においてブランク閉鎖要素２６及び能動閉鎖要素３２を備え、該要素は各々が開口６と合致する。るつぼを保持するためのデテントと有するるつぼホルダ、及び鋳型を保持するための鋳型ホルダは、能動面上に与えられる。閉鎖組立体は、ブランク要素２６が炉開口に装填状態と能動閉鎖要素３２が炉においてるつぼ及び鋳型を有する炉開口にある作動状態とである２つの状態間において動く。閉鎖組立体は、るつぼの内容物を撹拌し、続いて溶解された内容物を鋳型へと注ぐようるつぼを傾けることができる。 （もっと読む）

【課題】黒鉛粒が分散した金属組織と破断との具体的な関連付けが可能で、検査に手間がかからないダクタイル鋳鉄の組織評価方法を提供することである。
【解決手段】検査面を引張試験における引張試験片１の破断面１ａとすることにより、黒鉛粒が分散した金属組織と破断との具体的な関連付けができるようにするとともに、検査面の研磨等を不要として、検査に手間がかからないようにした。 （もっと読む）

【課題】土壌溶出量・含有量の分析について、公定分析法により作成した試験溶液を、蛍光Ｘ線分析法により簡単に、しかも高精度の分析結果を得るようにする。
【解決手段】採取した土壌試料に水または塩酸を混合して遠心分離することにより得られた土壌抽出液を不溶化濃縮する工程と、濃縮された土壌抽出液を蛍光Ｘ線分析して含有多元素成分を同時分析する工程とからなる。これにより分析対象元素を高精度に、しかも１００％回収することができる。また不溶化後に土壌抽出液を濃縮するために、土壌溶出量試験の濃度レベル（溶出量は基準値の半分）までの分析が可能になるほか再現性がよく、しかも鉄系の凝集剤を用いた場合においても、二次フィルターの材質としてアルミニウム薄膜を用い、鉄のサムピークの影響をなくすことができ、鉛のピーク（Ｌβ）を効率よく分離させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、既知の方法の欠点である、ミリングによって曝露された面では像が生成されないこと、及び如何なるエンドポイント指定もウエハ表面から生成される像に基づかなければならないことを解決することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、FIB鏡筒のみが用いられている装置によって、この問題に対する代替解決策を提供する。
薄片を最終的な厚さ-たとえば30nm-にまでミリングするため、集束イオンビーム100は前記薄片に沿って繰り返し走査される。前記薄片をミリングしている際、前記薄片から信号が得られ、該信号はエンドポイント指定にとって十分であることが分かった。検査用のさらなる電子ビームは必要ない。 （もっと読む）

【課題】 従来の有機物顕在化方法では、被検査物表面の異物を識別するためには、薄膜を堆積させる時間を多く必要とし、異物を識別させるための作業等が煩雑であった。また、被検査物表面の異物を識別する際には、被検査物を不活性ガスが封入された特別な環境下に置く必要があるため、異物の存在を容易に確認することができなかった。
【解決手段】 基板１の表面に金属薄膜１９を成膜し、金属薄膜１９が成膜された基板１表面に光を照射して、光の干渉により生じる、有機物１４が存在している部分と存在していない部分とのコントラスト差を識別する。 （もっと読む）

【課題】層界面領域に達する前に、照射面の層界面領域への近接を検出することが可能な電子分光分析方法を提供する。
【解決手段】試料に電子を励起させる励起線を照射し、試料から放出され、第１の層の構成元素に由来する第１の電子の信号強度を測定し、試料から第１の電子とともに放出され、第２の層の構成元素に由来する第２の電子の信号強度であって、前記第２の層が前記試料の表面を形成しているときに測定される運動エネルギーである第１の運動エネルギー（Ｅｋ（Ｓｉ２ｓ）、Ｅｋ（Ｓｉ２ｐ））よりも低い第２の運動エネルギー（Ｅｋ（１）、Ｅｋ（２）、Ｅｋ（３））を有する第２の電子の信号強度を測定し、第２の電子の信号強度の変化度合いが所定のレベルに達したときは、試料の分析条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】入射部での散乱Ｘ線の影響を極力排して試料で生じた回折Ｘ線を検出できる透過型のＸ線回折装置とＸ線回折方法とを提供する。
【解決手段】試料10を配置するための閉鎖された空間を構成する試料室100と、試料室100内の試料10を所定温度に加熱する加熱手段900と、Ｘ線が試料10に照射されて生じる回折Ｘ線を試料室100の外部で検出するＸ線検出部200とを備える透過型Ｘ線回折装置である。この装置は、試料室100の壁面にガラス製の入射部110と出射部150とを備え、試料室100内に第一遮蔽体300が配置される。第一遮蔽体300は、入射部110での散乱Ｘ線がＸ線検出部200の所定領域に達することを防止する。 （もっと読む）

【課題】ＳＩＭＳ装置にＦＩＢ装置を設置させること無く、試料表面の大気汚染と帯電を低減し、かつ残存元素のスパッタを抑制する。
【解決手段】分析対象物１０の表面における所定領域１４から発生する二次イオン２５に基づいて所定領域１４における深さ方向の分析を行う質量分析法において、所定領域１４の周囲に、質量分析を行う深さよりも深く、一次イオンビームの照射範囲２３よりも広い凹部１５を形成する凹部形成工程と、所定領域１４および凹部１５を含む分析対象物１０の表面に導電膜１３を形成する導電膜形成工程により質量分析用の試料１６を作製する。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線光電子分光装置並びに全反射Ｘ線光電子分光装置に関し、試料表面を極めて平坦にすることにより、高精度の試料分析ができるようにしたＸ線光電子分光装置，全反射Ｘ線光電子分光装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料表面上を帯電液滴エッチング法を用いてエッチングするエッチング手段と、エッチングした試料表面に全反射条件を満たす全反射臨界角以下の角度でＸ線を照射するＸ線照射手段と、Ｘ線を照射した試料表面から放出される光電子を解析することにより試料の表面近傍の深さ方向分析を行なう解析手段と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、セル検査を用いて、基板表面に存在する欠陥を容易かつ高精度に検出することができる基板表面の検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 表面に複数の材料を含む基板１０上の欠陥３２を検査する基板表面の検査方法であって、
前記複数の材料のうち少なくとも２種類の材料のコントラストが所定範囲内となるようにランディングエネルギーが設定された電子ビームを、前記基板の表面に照射する電子ビーム照射工程と、
前記基板から発生した電子を検出し、前記２種類の材料からなるパターンが消去された又は薄くなった状態で前記基板の表面画像を取得する工程と、
取得された該表面画像において、背景画像と区別できるコントラストを有する対象物の像を、前記欠陥３２として検出する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムに関し、大気中を搬送しても試料表面が大気に曝されないようにすることができるイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムを提供することを目的としている。
【解決手段】イオンビーム加工装置等の真空中で試料２に加工処理を施し、加工処理が施された試料２にイオン液体を塗布し、イオン液体が塗布された試料２を電子顕微鏡等の予備排気室８に搬送し、該予備排気室８でイオン液体を除去し、該イオン液体が除去された試料２を電子顕微鏡本体で観察するように構成される。 （もっと読む）

【課題】繊維シートに含まれる、アニオン系官能基を有する高分子量物質からなる添加剤を簡便にかつ精度よく定量する方法を提供すること。
【解決手段】測定対象となる繊維シートを、多価金属イオンを含む水溶液に浸漬して繊維シートに含まれるアニオン系添加剤中のアニオン系官能基に多価金属イオンを結合させる。繊維シートを前記水溶液から引き上げ、余剰の多価金属イオンを洗浄除去する。添加剤中のアニオン系官能基に結合した多価金属イオンの量を測定し、その測定値と、前記添加剤の分子量、式量又は単位重量あたりのアニオン系官能基含有量とに基づき、繊維シートに含まれる前記添加剤の量を算出する。 （もっと読む）