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Fターム[2G001RA20]の内容

Fターム[2G001RA20]に分類される特許

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本発明は、a)分析される少なくとも一つの無機又は有機試料(3)を超高真空下で与え、b)少なくとも一つのコレクタ(5)を超高真空下で与え、c)前記試料(3)をイオン又は中性子衝撃(1)に供し、d)前記衝撃に供された試料(3)によって放出される粒子(2)を前記コレクタ(5)上に収集し、e)前記少なくとも一つのコレクタ(5)上に収集された粒子(6)を二次イオン質量分析等によって分析することを含む方法であって、前記工程は、試料粒子(2)の放出が分析工程から切り離されるように実施され、コレクタ(5)、試料(3)、又はそれらの両方が工程c)及び/又はd)中に互いに独立して移動する。 (もっと読む)


【課題】有機材料中の個々の結晶粒の分布状態を詳細に解析する。
【解決手段】始めに、樹脂材料1の表面上に結晶粒を分散させた有機材料2を蒸着法やスピンコート法等を用いて成膜する。次に、樹脂材料3により有機材料2表面を包埋する。次に、試料を厚みが30nm以上100nm以下の範囲内になるまで薄片化する。次に目的とする観察部位Aの近傍領域Bにおいて透過電子顕微鏡を用いた観察のための試料高さ調整,電圧軸調整,非点収差補正調整,及びフォーカス調整を行った後、目的とする観察部位Aを光軸中心に移動してフォーカス調整を行うことにより、透過電子顕微鏡を用いて薄片化された結晶粒分散有機材料を観察し、結晶粒分散有機材料中の結晶粒の分布状態や原子配列構造を解析する。 (もっと読む)


【課題】実際のリフロー炉と同じ条件で回路基板を加熱することができ、かつ、加熱される回路基板をX線解析するのに適用して好適な、ヒータユニットを提供する。
【解決手段】ヒータユニット10は、炭化ケイ素製ヒータ11と、この炭化ケイ素製ヒータ11及び当該炭化ケイ素製ヒータ11により加熱される被加熱物Sを透過する方向にX線を照射可能なX線源19aと、このX線源19aから照射されたX線を受光する方向に設けられた受光部19bとを備える。 (もっと読む)


【課題】高真空下(10−2Pa以下)にある分析装置内に、正圧(10Pa以上)からガスを精密にかつ安定的に供給し、同一条件を維持し、かつ再現すること共に、所望のガスに短時間で切替えること。
【解決手段】複数の種類のガスをミキシング室で合成し、合成されたガスを導入して減圧ポンプで0.1Paから0.1MPaまでの範囲内の圧力となるまで減圧し、該減圧されたガスをガス切替弁による切替動作によりガス分析装置に導くガス導入装置及び方法。 (もっと読む)


【課題】キャピラリーを回転させながらガスフロー測定が可能なキャピラリー及びガス供給装置の提供。
【解決手段】透過法のX線回折測定等に好適なキャピラリー2である。このキャピラリー2は、試料22を配置するための管状部4と、この管状部4の一端側に設けられたガス導入部6とを備えている。管状部4の両端は開放されている。ガス導入部6の内部から管状部4の内部にまで至るガス通路16が形成されている。ガス導入部6は、その外面から上記ガス通路に至るガス導入孔18を有している。ガス導入部の外面は円周面部を有している。この円周面部は、少なくとも、上記ガス導入孔18よりも軸方向一方側の位置及び上記ガス導入孔18よりも軸方向他方側の位置に設けられている。上記円周面部の中心軸線Z1と、管状部4の中心軸線Z2とが、実質的に一致している。 (もっと読む)


【課題】煙塵に対する測定の精度を高め、水分が煙塵の測定を妨げないようにしたβ線煙塵濃度測定装置およびそれに用いられる試料の有効性確認方法を提供する。
【解決手段】煙塵収集部と、煙塵質量検査部を備え、前記煙塵収集部は、採取管、ピトー管、保護管を有する煙塵サンプルガンと、濾紙と、濾紙送紙手段とから構成され、前記煙塵質量検査部は、β線源とβ線検知ガイガーミュラー計数管を備えるβ線計数検査装置と、データ処理装置とから構成され、前記煙塵収集部が煙塵検査試料を採取し、前記煙塵質量検査部が煙塵濃度を測定するβ線煙塵濃度測定装置であって、前記煙塵サンプルガンが備える前記採取管の端部に上部筐体が配設され、前記上部筐体に対応する下部筐体が、前記上部筐体と間隙を有して配設され、前記下部筐体は、格子状濾紙台と、排気口を備え、前記濾紙は前記上部筐体と前記下部筐体との間の前記間隙を通って送紙され、前記上部筐体が煙塵を採取する試料採取面積は、前記濾紙の実際の検査面積の2倍以上とされることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】試料の深さ方向の元素を容易に測定する技術を提供する。
【解決手段】試料にシートを当て、試料とシートとの間に押圧を加え、試料をシート面に平行に相対的に移動させることによって削り取られた試料粉中の元素を、その移動方向に沿って蛍光X線測定法により測定することにより、試料の深さ方向の元素を間接的に測定する。 (もっと読む)


【課題】検査面積の大型化が可能で、検査速度の速い簡便な有機薄膜の検査方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る有機薄膜の検査方法は、有機薄膜に電荷を注入し、有機薄膜内部における電荷分布の時間変化を可視化することを特徴とする。
また、本発明に係る有機薄膜の検査装置は、有機薄膜に電荷を注入する電荷注入手段と、有機膜中に光電子を発生させる光電子発生手段と、有機薄膜から放出される光電子を可視化する光電子可視化手段と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】蛍光XAFS法を利用して、単結晶の試料に含まれる微量元素の構造解析を行うのに際し、試料から特定角度に強い回折X線が生じることに伴い、蛍光X線信号の測定が阻害されることを抑制できる微量元素の構造解析方法を提供する。
【解決手段】X線エネルギーを変えながら試料にX線を照射し、試料から放出される蛍光X線を検出して、前記X線エネルギーと蛍光X線との関係から試料中の微量元素の原子構造に関する情報を解析する微量元素の構造解析方法である。この方法において、X線の照射を粉砕された単結晶の試料(粉砕試料S)に対して行う。 (もっと読む)


【課題】電子顕微鏡で観察可能な標識法を提供すること。
【解決手段】電子顕微鏡法により観察すべき細胞中の標的タンパク質の二次元または三次元情報を得る方法であって、
金属結合タンパク質または金属結合ペプチドと標的タンパク質との融合タンパク質を発現させうるコンストラクトを提供する工程、
該コンストラクトを、該細胞に導入する工程、
該細胞中で該コンストラクトから該融合タンパク質を発現させる工程、
該金属結合タンパク質または金属結合ペプチドと結合する金属を、該細胞に供給することにより、該細胞中にて該融合タンパク質中の金属結合タンパク質または金属結合ペプチドと、該金属とのクラスターを形成させる工程、および、
該細胞を電子顕微鏡により観察する工程、
を含む方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、検査対象となる回路パターンの画像をモニタ画面を通して検査する際に、その画面の正確な情報により迅速に処理できると共に、製品全体に及ぶ欠陥又は特定領域における欠陥を迅速に検知することができる回路パターンの検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、ウェーハの回路パターンが形成された基板表面に電磁波又は荷電粒子線を照射し、該照射によって前記基板から発生する信号に基づいて得られる検査画像から前記回路パターン上の欠陥を検出する回路パターンの検査装置において、前記検査画像を取得する前後において、前記検査画像の対応部分に電子線を照射し前記ウェーハの帯電状態を変化させる手順が設定される検査条件設定部を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ドリフトの影響を受けずに、連続的に取得した複数枚の断面像を重ね合わせて、正確で鮮明な試料の三次元画像を構築すること。
【解決手段】試料2の表面にデポジション膜DPを形成する工程と、一方向に向かってライン状に延びる補正用マークMをデポジション膜に形成する工程と、補正用マークを横切るようにエッチング加工して、デポジション膜及び試料の断面を露出させる工程と、露出したデポジション膜及び試料の断面像を取得する工程と、これら各工程を繰り返し行って、断面像を連続的に複数枚取得する工程と、補正用マークを基準にして複数枚の断面像を取得した順番に重ね合わせて基礎三次元画像を構築する工程と、を行う三次元画像構築方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】砒素汚染土又は砒素汚染水を採取した現場で、その砒素汚染土又は砒素汚染水の砒素濃度を簡易迅速に分析することができる砒素汚染土又は砒素汚染水の分析方法を提供する。
【解決手段】砒素汚染土の溶出液若しくは含有液又は砒素汚染水に、三価の鉄イオンを含有する溶液を加えて攪拌し、攪拌して得られた混合物に水溶性のマグネシウム塩及び水溶性のカルシウム塩を添加するとともに、高分子凝集剤を添加して凝集沈殿を生じさせ、その凝集沈殿物を抽出して乾燥させ、乾燥させて得られた凝集沈殿物を粉砕し、その粉砕試料に蛍光X線を照射して当該粉砕試料に含まれる砒素量を測定し、その測定結果に基づいて前記溶出液若しくは前記含有液又は前記砒素汚染水の砒素濃度を算出することにより、前記砒素汚染土又は前記砒素汚染水の砒素濃度を分析する。 (もっと読む)


【課題】 絶縁体試料の帯電処理を効率化する。かつ当該絶縁体試料の接触抵抗値にあわせて、電子光学系の調整を行う。
【解決手段】 帯電処理の前に試料の絶縁破壊を行い、帯電処理を実施する。また、絶縁破壊確認のための試料の抵抗値の結果を用いて、電子光学系の制御パラメータを選択する。 (もっと読む)


【課題】どのようなタイプの発光素子であっても高度なポリッシュ技術等を必要とせずに、D−SIMSによる評価を行う試料表面を簡単に且つ高精度に作製することができ、発光素子のSIMSによる評価を精度よく行うことができ、評価にかかるコストを削減できる発光素子の評価方法を提供する。
【解決手段】基板2の第1主面2a上にエッチストップ層10をエピ成長させた後、該エッチストップ層の上に少なくとも発光層3及び電流拡散層5の順にエピ成長させ、基板の第2主面2b側からエッチング液によりエッチストップ層10まで基板2をエッチングして除去した後、発光素子1をエッチストップ層10側から2次イオン質量分析法により深さ方向の元素分析をすることを特徴とする発光素子の評価方法。 (もっと読む)


【課題】めっき膜の元素分析を行うのに際し、金属母材上に形成されためっき膜のみを分離するのに適した方法を提供すること。
【解決手段】本発明のめっき膜の分離方法においては、表面の一部にめっき膜が形成された金属母材を所定の溶解液に浸漬し、上記金属母材を溶解除去する工程(S4)を有する。
【効果】本分析方法によれば、めっき膜のみに由来する含有元素濃度の直接測定が可能になるので、鉛などの微量の含有物質濃度についても高い精度で測定することができる。 (もっと読む)


【課題】二次イオン質量分析を行なう際に、試料面における分析領域の周辺部位への一次イオンの付着を防止し、試料面の近接する複数箇所における高精度の分析を行なう。
【解決手段】試料1の試料面1aにおける一次イオンが照射される分析領域の少なくとも一部を囲む部位、ここでは試料面1aで並列する複数のストライプ状に、元素としてSi+をイオン注入する。このイオン注入により、注入部位に体積膨張が生じ、ストライプ状の複数の障壁11が形成される。 (もっと読む)


【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面
観察や分析を高分解能,高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および
微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と
電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 (もっと読む)


【課題】部材を極力損傷させることなく、部材表面から試料片を採取可能な試料片採取方法を提供する。
【解決手段】試料片採取方法は、翼10(11)の表面114aから試料片20を採取する方法であり、、円筒状の刃202を備える超音波カッタ200を翼10(11)の表面114aから基材100の表面100aまで送って切削することで、円筒状の切り込み121を形成する。円盤状の刃222を備える回転カッタ220により円筒状の切り込み121から内側に向けて切削することで、切り込み121の内側にある部分20aを切り取り、これが試料片となる。 (もっと読む)


【課題】XRRによる膜厚測定結果に影響を与えることを抑制する手段を提供する。
【解決手段】X線源11からのビームは放物線多層膜ミラー15により進行方向を変えられ、制限スリット17により絞り込まれ、モノクロメータ21で波長選別が行われる。さらに制限スリット23によりビームが絞られ、回転可能に取り付けられた試料Sに照射される。試料表面で反射したビームは、さらに制限スリット25により絞られ、検出器27に入射する。試料Sは大気中に露出されており、X線Lが照射され、その反射強度の角度依存性を測定することができるように構成されている。試料Sの表面は高純度ガスで覆われるように工夫されており、試料Sの表面に大気中の吸着汚染ガスが付着することを阻止するようになっている。すなわち、ガスボンベ3からガス純化装置33にガス管37により導入されたガスは、純化された後にガス流量制御器35において流量が調節される。次いで、ガス供給器41から高純度ガスGが試料の表面に照射される。 (もっと読む)


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