【課題】分析精度の高い分析装置を提供する。
【解決手段】イオンビームを試料１０に照射するイオン照射部と、試料から第１の方向１０６に散乱する散乱イオンを通過させるための第１の開口部３４ａと、試料から第１の方向と異なる第２の方向１１４に散乱する散乱イオンを通過させるための第２の開口部３４ｂとが形成された制限板２４と、制限板の第１の開口部を通過した散乱イオンと、制限板の第２の開口部を通過した散乱イオンとに対して磁場を印加する磁場印加部２８と、磁場印加部により偏向された各々の散乱イオンを検出するイオン検出部３０とを有している。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射を受けて遮蔽板が高温度となって遮蔽板の支持部材に熱膨張が発生して遮蔽板が移動しても、良好な断面試料を作製する試料作製装置を提供する。
【解決手段】遮蔽板を試料の一部が露出しその他が遮蔽されるように配置し、遮蔽板と試料６の露出部分に跨るようにイオンビームを試料６に照射することにより、試料６の露出部分をエッチングして試料断面を作製する試料作製装置であって、遮蔽板ステージ９と、前記遮蔽板ステージ９により基端部を支持され、先端側が自由端となされた支持部材と、前記支持部材の先端側に支持された遮蔽板とを備え、前記支持部材は、前記遮蔽板の前記支持部材の基端側に向かう一側縁が前記イオンビームの照射位置となるように該遮蔽板を保持し、この遮蔽板により前記イオンビームが遮蔽される位置に設置された前記試料の該遮蔽板の一側縁から露出した箇所への前記イオンビームによる加工を行わせるようにした。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏洩防止を図りつつ、検査室を良好な衛生状態に保つ。
【解決手段】このＸ線検査装置は、被検査物を検査する検査室Ｓ２と、検査室Ｓ２内にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検出する検出部と、検査室Ｓ２内に被検査物を搬入出させる搬送部と、検査室Ｓ２の前面に設けられた検査室を開放するＸ線遮蔽扉６００と、を備える。Ｘ線遮蔽扉６００は、第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０、および第３遮蔽部材６３０を含み、第２遮蔽部材６２０は、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０よりもＸ線遮蔽性が高く、第１遮蔽部材６１０は、検査室Ｓ２側の最内側に配置されることで検査室Ｓ２の前面を形成し、かつ検査室Ｓ２側の面が連続した平坦面を有し、第２遮蔽部材６２０は、第１遮蔽部材６１０の外側に配置され、第３遮蔽部材６３０は、第２遮蔽部材６２０の外側で、かつ第２遮蔽部材６２０に対して所定間隔を有して設けられる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線の吸収効果を考慮した被検知物の位相変化に関する像を得ることのできるＸ線撮像装置および撮像方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を空間的に分割する分割素子と、遮蔽素子を複数有する遮蔽手段を有する。また、第１の検出画素と第２の検出画素を含む画素群を複数有する検出手段を有する。第１の検出画素で検出されるＸ線は前記遮蔽素子によりＸ線の一部が遮蔽されるように構成されている。第１の検出画素と隣り合う第２の検出画素で検出されるＸ線は遮蔽素子によりＸ線が遮蔽されないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の利用効率、計測感度が向上され、装置の小型、軽量化、コストダウンを実現できるＸ線装置を実現する。
【解決手段】Ｘ線を照射するＸ線源と、このＸ線源の下方に設けられ前記Ｘ線の照射方向に直交して流れる測定試料を透過した光を受光検出するＸ線検出器とを具備するＸ線装置において、前記測定試料の流れ方向に略直交して前記Ｘ線源と前記測定試料との間に設けられ前記Ｘ線の反射線束を前記測定試料に照射する反射鏡を具備したことを特徴とするＸ線装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、観察対象である試料の伸縮の変化を抑えることにより、観察対象の位置ずれを解消し、大幅なスループット向上を図った荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を保持する試料保持手段と、前記試料の温度の調整が可能な温度調節手段と、各種条件に基づき前記温度調節手段の制御が可能な温度調整手段制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】既知の反射特性を有する第１層と、第１層上に形成された第２層を有するサンプルの検査方法を提供する。
【解決手段】本方法は、サンプル表面へ放射線を向けること、表面に対する仰角の関数として反射信号を生成するためにその表面で反射された放射線を検知することを含む。第１層からの放射線の反射による特徴は反射信号で同定される。同定された特徴と第１層の既知の反射特性とに対応して反射信号が較正される。その較正された反射信号は第２層の特性を決定するために分析される。他方で、向上された検査方法も同様に開示する。 （もっと読む）

【課題】反射型小角散乱や回折がなされたＸ線強度を高分解能で測定でき、試料表面の微細構造を簡便に、かつ正確に計測することができるＸ線散乱測定装置およびＸ線散乱測定方法を提供する。
【解決手段】試料表面上の微細構造の計測に適したＸ線散乱測定装置１００であって、Ｘ線を発生させるＸ線源１４０と、発生したＸ線を連続して反射する第１のミラーおよび第２のミラーと、反射されたＸ線が照射される試料Ｓを支持する試料台１１０と、試料表面で散乱したＸ線を検出する２次元検出器１７０と、を備え、第１のミラーは、発生したＸ線を、試料表面に平行な面内で２次元検出器１７０上に集光し、第２のミラーは、第１のミラーで反射されたＸ線を、試料表面上に垂直な面内で試料表面に集光する。 （もっと読む）

【課題】密閉容器においても、非破壊で、被検体の内容物と内容物表示物に記載の内容物との整合性の評価が可能な密閉容器の非破壊検査方法及び非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象物が密閉容器に収容された被検体に放射線を側面から照射して前記被検体を透過した放射線をイメージセンサにより検出することにより放射線の強度に応じた強度信号を得る第１の信号取得工程と、前記第１の信号取得工程により得られた前記強度信号を処理して前記被検体の検査対象物の画像情報を生成する第１の画像情報生成工程と、前記第１の画像情報生成工程により得られた前記画像情報に基づいて、前記被検体の検査対象物と前記被検体の検査対象表示物に表示された検査対象物との整合性を判断する判断工程と、を有することを特徴とする密閉容器の非破壊検査方法を使用する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の端部付近に小さな異物が混入している場合においても、該異物を検出可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】搬送コンベア１０によってＹ軸方向へ搬送されている検査対象物１に対してＸ線を照射するＸ線源１１、１２と、Ｘ線源１１、１２のそれぞれに対応し、Ｘ線源１１、１２から検査対象物１に照射され透過したＸ線を検出するＸ線検出器１３、１４とを備えている。Ｘ線源１１は、図１のＺ軸方向であって検査対象物１の上方から、検査対象物１の幅方向の一端部を中心として扇状にＸ線を照射できるように配設されている。Ｘ線源１２は、図１のＺ軸方向であって検査対象物１の上方から、検査対象物１の幅方向の他端部を中心として扇状にＸ線を照射できるように配設されている。 （もっと読む）

【課題】高精度の元素分析を可能にする可搬型の蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装置１は、可搬型の蛍光Ｘ線分析装置であり、試料室状のシールドケース３１を着脱可能であり、シールドケース３１を装着した状態でシールドケース３１内に配置した試料の蛍光Ｘ線分析を行うことができる。蛍光Ｘ線分析装置１は、シールドケース３１が装着されずに使用される場合は、外部へ放射するＸ線の強度が所定の強度以下の小さい強度に抑えられ、シールドケース３１が装着された状態で使用される場合は、より大きい強度でＸ線を放射することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】空間内の脅威物質の存在を迅速かつ正確に決定するために、あらゆる利用可能な検出器デバイスから放射線のサインデータを分析する手法を提供すること。
【解決手段】関心のある１つ以上の物質の存在に関して、実質的に囲まれた空間を調べる検出器によって生成されるスペクトルデータを分析する方法であって、検出器の検出経路内にあると予想される物質を複数の物質群のうちの１つに分類することと、各物質群に対する、代表的なエネルギー対断面積の曲線を記述するデータを選択することと、関心のある物質に対するスペクトルデータを生成するために、物質群のうちの１つ以上と各関心のある物質の相互作用を計算することと、スペクトルデータのライブラリを生成することと、空間内の脅威物質の存在を決定するために、検出器によって生成されたスペクトルデータをスペクトルデータのライブラリと比較して分析することとを包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】ハードウエアの追加を伴わない簡単な構成で、Ｘ線照射の絞りを変更するためのＸ線遮蔽板の位置ずれを検知する。
【解決手段】設定されているものと異なる絞り孔４ａ〜４ｄの選択が指示されると、制御部１０は現在の絞り孔に応じた数のパルス信号をパルスモータに送ってＸ線遮蔽板４をホームポジションＰ２に戻し、その後、センサ１３により原点位置Ｐ１に来たことが検出されるまでパルス信号を計数しつつパルスモータを駆動する。その計数値と規定数との差が許容値以下であるか否かを判定し、許容値を超えている場合、ホームポジションが適切でなく元のＸ線遮蔽板４の位置が異常であると判断して表示部１２にエラー表示を行う。また、絞り孔の変更がない場合でも規定回数毎に同様の異常検知を実行することで、絞り孔の位置がずれた状態で取得された可能性のある信頼性のないデータの棄却を可能とする。 （もっと読む）

【課題】中性子を用いて試料に含まれる過酸化物および超酸化物を検出する。
【解決手段】試料に含まれる化合物を検出するシステムは、中性子源と、試料に近接して設置された少なくとも１つのガンマ線検出器と、信号プロセッサと、を備える。中性子源は、試料に向けて中性子ビームを送る。ガンマ線検出器は、試料から放出されたガンマ線を収集し、信号プロセッサは、ガンマ線検出器によって収集されたガンマ線に基づいて、試料に含まれる化合物を同定する。同定される化合物は、過酸化物および超酸化物からなる群から選択される。 （もっと読む）

本発明は、人間の衣類の下や人体に隠された金属や原子番号Ｚが小さい物質（プラスチック、セラミックス、違法薬物）や他の禁制品を検出するために、すばやく人間を検査することができるＸ線人体検査システムを対象とする。１つの例としての実施形態において、対象物検出システムは、２つの走査モジュールが互いに平行に対向配置されている。２つのモジュールは、人間等の被検者が２つのモジュールの間に立ったり２つのモジュールの間を通ったりすることができるように、間隔を空けて配置されている。第１モジュール、及び、第２モジュールは、それぞれＸ線などの放射線源と検出器列とを有している。検査中の被検者は、被検者の前側が一のモジュールに対向し、かつ、後側が他のモジュールに対向するようにして２つのモジュールの間に立つ。 （もっと読む）

【課題】既設の製造ラインへの適用を可能にすることが目的とされる。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品の検査を行う装置であって、照射部１２と、受光部１３と、本体１１と、支持部１４とを備える。照射部１２は、物品ＰにＸ線を照射する。受光部１３は、物品Ｐを透過したＸ線を受光する。本体１１には、Ｘ線の照射位置Ｐ１へと物品Ｐを搬送する搬送機構１６を取り付けることができる。支持部１４は、受光部１３を支持し、本体１１に対して上下に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】被検査物の出入口に設けられ、遮蔽カーテンが取り付けられたサイドカバーを開閉構造として開口を簡単に開放させて清掃性やメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】側面に被検査物の出入口となる開口５を有する筐体２と、被検査物を入口５から出口５に搬送する搬送手段６と、筐体２内において搬送される被検査物に向けてＸ線を照射するＸ線照射手段と、被検査物に混入している異物を検出するＸ線検出手段と、筐体２の開口５の上縁部を覆うように筐体２の側面から張り出した天板部１１と、筐体２の開口５の一対の側縁部を覆うように筐体２の側面から張り出した一対の側板部１５，１５とからなり、一対の側板部１５，１５にＸ線の漏洩を防止する遮蔽カーテン２０が取り付けられたサイドカバー１０とを備え、サイドカバー１０の一対の側板部１５，１５が、筐体２の側面に回動可能に支持され、開口５を挟んで互いに外向きに開く構造である。 （もっと読む）

【課題】固液界面の注目対象である特定元素(イオン)の構造もしくはその周辺の局所構造を容易に解析することができる評価方法と評価装置を提供する。
【解決手段】注目対象が含有される液体試料Sに対して、注目対象（Ｘ線の吸収原子）とは異なる材料からなる電極4を接触させる。この電極界面の液体試料SにＸ線エネルギーを変えながらＸ線を照射し、電極4近傍の注目対象にＸ線を吸収させて注目対象から電子を放出させ、その電子の放出に伴って電極4に生じる電気量を測定する。このＸ線エネルギーと電気量との関係から電極界面における注目対象またはその周囲の構造情報を解析する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物内の液体の流れを停止させないで保温材内の水の存在位置を精度良く測定できる水分検出装置を提供する。
【解決手段】配管検査装置１５の中性子発生管１及び中性子検出器を有する。中性子発生管２は単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子２０を発生し、保温材１２に照射する。高速中性子２０は保温材１２内に存在する水１４及び配管１１内を流れる液体１０によって減速されて熱中性子２１となる。高速中性子２０の照射方向とは逆方向に進行する熱中性子２１は^３Ｈｅ比例計数管２で検出される。この計数管２からの出力信号は多チャンネル波高分析器８を経てデータ処理装置９に達する。データ処理装置９は高速中性子の発生時刻を基準とする熱中性子検出率の分布情報を算出し、さらに、この分布情報を用いて、保温材１２内に水１４が存在する場合の水１４の位置及び水１４の量を求める。 （もっと読む）

【課題】SAXSおよび／またはSAXS−WAXSに適したX線散乱チャンバを提供する。
【解決手段】X線散乱チャンバ12は、X線回折機器内に設置されたハウジング14を有し、このハウジングは、X線源2とX線検出器4の間に配置され、例えばゴニオメータアーム6上に配置される。ハウジング14は、サンプルホルダ16と、ビーム調整光学素子22、24とを有する。このシステムでは、ハウジングの外側に、一次光学素子10が使用されても良い。本機器は、SAXSおよび／またはSAXS−WAXSに適している。 （もっと読む）