【課題】本発明はＸ線検出装置に関し、Ｘ線透過膜に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたＸ線検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料室とＸ線検出器との間に設けられたゲート弁３と、その一端が前記ゲート弁３に、他端がＸ線検出器の第１の容器Ａに接続されたベローズ１２と、その一端にＸ線透過膜７が形成された第２の容器Ｂと、該第２の容器Ｂ内に取り付けられたＸ線検出センサ１ａと、前記第１の容器Ａと第２の容器Ｂとで仕切られる空間を真空にする第１の非蒸発型ゲッター９と、前記第２の容器内を真空にする第２の非蒸発型ゲッター８と、前記Ｘ線検出器の空間をシールするＯリング１０とを有して構成される。 （もっと読む）