【課題】太陽電池モジュールに複数形成されたセルの出力値を検出する。
【解決手段】本発明に係る擬似太陽光照射測定装置１００は、擬似太陽光を受光して発電する、太陽電池モジュール３０に複数形成されたセル３１に対して相対的に移動可能に設けられ、セル３１の出力値を検出する検出ヘッド２６を有する測定部２０を備える。 （もっと読む）

【課題】電界効果トランジスタにおける電流コラプスの発生の有無を迅速に判定する。
【解決手段】電界効果トランジスタ１０１をオン状態にするとともに、電界効果トランジスタ１０１のドレインに第１電圧を印加した状態において、電界効果トランジスタ１０１の第１オン抵抗を算出する第１の工程と、電界効果トランジスタ１０１をオフ状態にし、前記第１電圧よりも大きい第２電圧を、電界効果トランジスタ１０１のドレインに印加する第２の工程と、電界効果トランジスタ１０１をオン状態にするとともに、電界効果トランジスタ１０１のドレインに前記第２電圧を印加した状態において、電界効果トランジスタ１０１の第２オン抵抗を算出する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの宇宙線中性子に起因する故障に対する耐性を短期間で確保するための宇宙線中性子ソフトエラーの解析する半導体デバイスのソフトエラー率の検証方法を提供する。
【解決手段】ユニーク番号を設定した各セルに対して、セル毎（ごと）にセル個別パラメータを登録し、乱数に基づき中性子による核破砕反応発生座標の計算を行い、生成する２次イオンの核種・エネルギー・進行方向を計算し、セル内のセル種類毎パラメータに含まれる敏感領域情報と計算した２次イオンの核種・エネルギー・飛行方向から、２次イオンの飛跡計算に基づきセル単位での記憶ノード反転エラー発生とＳＥＴパルス発生を計算し、計算したセル単位での記憶ノード反転またはＳＥＴパルスが、半導体デバイス上のロジック回路全体でソフトエラーとして顕在化するかの判定を行い、ソフトエラーとして顕在化した場合に、エラー数としてカウントし、ソフトエラー率を計算する。 （もっと読む）

本発明は集積回路（２）を試験する装置（１）に関するものであり、該装置は、試験される集積回路（２）を受ける台（３）を備えている。この台（３）は、集積回路（２）に電力を供給して作動させるための回路（４）と、試験中に集積回路（２）の機能を測定する回路（５）とを有している。本装置は、さらに、集積回路（２）に対して陽子（７）を照射する照射装置（６）を備え、厚さが変化しているマスク（８）が、集積回路（２）上の照射到達領域（９）と集積回路（２）の埋込領域（１０）との間に介在していることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】マイクロストリップ線路を構成する伝送線路基板を用いて高周波部品の特性を測定する際に、伝送線路基板とコプレーナプローブとの接続部分で高周波信号の伝送特性が劣化するのを防止できる伝送線路基板及び測定装置を提供する。
【解決手段】伝送線路基板２において、コプレーナプローブ５０を接続するための測定用端子部２０には、信号導体線１６を挟むように、グランド導体２２、及び、グランド導体２２とグランド層１２とを接続する導電性スルーホール２４が設けられるが、信号導体線１６の先端部分は、両側の導電性スルーホール２４同士を接続する線分との交点位置で切断され、その先端部分にコプレーナプローブ５０を接続できるようにされている。この結果、コプレーナプローブ５０を接続した際に測定用端子部で生じる伝送特性が劣化するのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】電力変換回路に用いられる電界効果型トランジスタの等価回路モデルにおけるパラメータを比較的簡単な方法において高精度に抽出することにより、高精度な回路シミュレーションが行える環境を提供する。
【解決手段】電力変換回路に用いられる電界効果型トランジスタの等価回路モデルにおいて、ゲート−ソース間容量Ｃｇｓ、ゲート−ドレイン間容量Ｃｇｄ、及びチャネル電流源Ｉｃｈを、電界効果型トランジスタの誘導性負荷におけるスイッチング波形から抽出する。 （もっと読む）

【課題】フォトカプラを介してＰＷＭ信号の伝送を行いながら、フォトカプラの寿命を予測できるようにする。
【解決手段】ゲート信号発生器５にて生成されたゲートドライブ用ＰＭＷ信号ＳＵ１、ＳＤ１をフォトカプラＦＵ１、ＦＵ２をそれぞれ介してゲートドライバ９、１１にそれぞれ絶縁伝送するとともに、寿命予測装置２１、２２にそれぞれ入力し、フォトカプラＦＵ１、ＦＵ２の出力信号ＳＵ２、ＳＤ２の立ち下がりの傾きに基づいて、フォトカプラＦＵ１、ＦＵ２の電流変換効率を寿命予測装置２１、２２にてそれぞれ推定し、フォトカプラＦＵ１、ＦＵ２が寿命限界に到達する時期を予測する。 （もっと読む）

【課題】検査装置が設置されている室温や装置内部の雰囲気温度ならびに治具温度が変化しても、安定かつ正確に電気特性値を測定することを可能にする。
【解決手段】検査装置１１に、半導体装置１２を載置する測定部１３と、コンピュータ装置１４と、測定部１３の近傍の雰囲気温度を検出する温度検出手段である温度センサ１５とを設置し、コンピュータ装置１４には、半導体装置１２に電流を供給して駆動する駆動手段１６と、駆動された半導体装置１２の電気特性を測定する特性測定手段１７と、温度センサ１５により検出した温度に基づき、予め設定された演算方法で測定した電気特性値を補正演算する演算手段である補正手段１８と、補正手段１８により補正された電気特性値が判定基準に対して良品か不良品かを判定する判定手段１９とを設ける。 （もっと読む）

【課題】電子部品などの測定対象の電位分布をより精細に、より高速で且つ視覚的に得ることにより、帯電の影響を容易に評価できる帯電分布測定システムを提供する。
【解決手段】帯電電位検出部分が直径０．５ｍｍ以下のプローブを用い、帯電電位を測定するプローブの検出部及び回路を最適化することにより、より微小領域の帯電電位の測定を可能にし、プローブを二次元に走査することにより、高分解能の帯電電位分布を短時間で測定する。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像素子が作りこまれた半導体ウエハ全体に現われる欠陥の分布や傾向を、煩わしい作業を伴うことなく、簡単且つ直感的に把握可能にする。
【解決手段】半導体ウエハ１６に形成された複数の撮像素子１４の各々から得られた画像データＰ，Ｑ，Ｒ，Ｓを、半導体ウエハ１６上の位置に対応する仮想上の位置にマッピングして、合成画像データ１８を生成し、合成画像データ１８に基づく合成画像を表示装置１１に表示させる。 （もっと読む）

【課題】実態に即したメンテナンスを行うことが可能な撮像素子検査システムにおける光源の調整方法を提供する。
【解決手段】まず、検査対象となる撮像素子１２と同一品種の光源調整用撮像素子であって、撮像素子１２の検査を行う際の理想的な撮像条件と同じ条件下での撮像により得られる撮像データＡが既知の光源調整用撮像素子を準備する。光源１３のメンテナンスのタイミングになると、検査工程が一時中断され、光源調整用撮像素子が載置部１１へと搬送されて載置され（Ｓ１）、撮像素子１２を検査する際の撮像条件と同じ条件で、光源調整用撮像素子により撮像が行われる（Ｓ２）。光源調整用撮像素子から撮像データＢが出力されると、撮像データＢと撮像データＡが比較され、両者が一致していない場合（Ｓ３：ＮＯ）は、光量調整用信号が生成されて光源１３の光量調整が行われる（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】４０μ以下の微細配線に対応し、繰り返し使用が可能で、低い接続荷重で検査可能な微細回路検査用異方導電性フィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】 絶縁樹脂を含む支持基材を複数の導電性粒子が互いに絶縁された状態で厚み方向に貫通しており、各導電性粒子は支持基材の表面および裏面から突出した突出部分を有する略球状であり、該導電性粒子の平均粒径は５〜４０μｍかつ最大粒径は５〜５０μｍであり、導電性粒子間の平均間隔は該導電性粒子の平均粒径の０．５〜５倍である、微細回路検査用異方導電性フィルム。 （もっと読む）

【課題】水平画素混合読み出しによる色変化の度合いを効率よく検査することができる固体撮像素子の検査方法を提供する。
【解決手段】ＣＣＤイメージセンサ２は、ラインメモリ１２を備え、動画モード時に、水平方向に離れた同色の複数の画素信号を加算して読み出す、水平画素混合読み出しを行う。受光領域１５および水平転送ＣＣＤ１３の一部を含むように部分的にスポット光を照射した状態で、動画モードを実行する。このスポット光は、光源から発せられた光を、部分的に開口が設けられた遮光板によって規制することにより生成し、水平転送ＣＣＤ１２の左端を含む領域３０、水平転送ＣＣＤ１２の中央部を含む領域３１、および水平転送ＣＣＤ１２の右端を含む領域３２に照射する。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤの各画素の入射光に対する位相シフト特性検査を可能にする光源装置とこれを有する撮像素子検査装置を提供すること。
【解決手段】光源１１と、前記光源からの光を被検物である撮像素子２５に照射する光学系と、前記光源から射出される光を変調する光源変調装置２２とを有する光源装置５０と、前記撮像素子に照射する光の周波数が設定可能な発信回路２３と、前記発信回路から出力された信号の位相をシフトする位相シフト回路２４と、前記位相シフト回路で位相シフトされた変調信号で前記光源を変調する光源変調装置５０と、前記撮像素子が形成されたウエハーに電力を供給する電力供給部４０と、前記光源装置から光が照射された際の前記撮像素子からの信号を検出して前記検出信号と前記位相シフトされた信号とを対比するテスタ装置６０を有する撮像素子検査装置。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハ毎に発生した不良の分布に基づき、半導体集積回路の製造工程に用いた異常製造装置を検出可能な不良検出方法を提供する。
【解決手段】 ウェーハに複数の領域区分を設定する。テストにおける対象ロット内の対象ウェーハのウェーハ内の不良の位置情報を抽出する。対象ウェーハ毎に不良のウェーハ面内での分布の偏りを領域区分に基づいて定量化する第１ウェーハ特徴量を計算する。この第１ウェーハ特徴量から対象ロット毎の第１ロット特徴量を算出する。処理履歴情報から対象ロットの製造工程で使用した製造装置を対象ロット毎に抽出する。第１ロット特徴量毎に、製造工程毎の製造装置間の有意差検定を行う。有意差のある製造装置を第１異常装置として検出する。 （もっと読む）

【課題】 色むらを形状や位置によらず正確に検出することが固体撮像素子の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤイメージセンサが露光された後、ＣＣＤイメージセンサを駆動して画像データを取得し、取得した画像データに対してデジタル化し、補間処理を施す。次いで、この画像データをＲ，Ｇ，Ｂの色別の画像プレーンに分割し、各画像プレーンのゲイン調整を行い、平滑化してランダム雑音を取り除く。そして、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画像プレーン間の画素データ比を対応する画素ごとに算出し、各画素データ比を規格値（最大値および最小値）と比較して合否を判定する。ＣＣＤイメージセンサは、各画素データ比が規格値の範囲内であれば検査合格とされ、規格値の範囲外であれば、色むら不良として検査不合格とされる。 （もっと読む）

【課題】斜め方向パターンを持つようなデバイスの欠陥検査に際しても、検査精度の向上をはかり、高感度で、信頼性の高い半導体装置の検査方法を提供する。
【解決手段】 検査ユニット２０００に対して支持台１００２が相対的に回動可能に形成されており、支持台１００２を検査ユニットに対して相対的に所望の値だけ回転し、その位置で固定する回転位置調整手段５０００を具備した。 （もっと読む）

【課題】 固体撮像素子の検査に要する処理時間を短縮して効率的に検査することができる固体撮像素子の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】 固体撮像素子の検査装置１００は、素子駆動手段２３と、光学条件設定手段２５と、撮像画像データに対して画像処理を施す演算手段２９と、固体撮像素子２１の良否判定を行う判定手段とを備える。演算手段２９は、検査装置１００内部に備わる内部演算部３５と、検査装置１００に通信手段１１を介して接続された外部演算部４３Ａ，４３Ｂとを有し、更に内部演算部３５の負荷状況が所定の状況範囲を超える場合に、外部演算部４３Ａ，４３Ｂに負荷を分散させる制御部３１を備える。 （もっと読む）

【課題】受光デバイスの光学特性（受光特性）の測定を比較的精度よく低コストで実現する。
【解決手段】受光デバイス測定装置は、被検査対象の受光デバイス１０に光を出射する第１発光デバイス１５と、第１発光デバイスと異なる向きに光を出射する第２発光デバイス１９と、第２発光デバイス１９からの光を受光し、当該光の受光量に応じた出力を発生させる受光手段２２と、測定手段（測定のための回路、ケーブルおよびＬＳＩテスタ等）とを有する。測定手段は、第１発光デバイス１５からの光を受光した被検査対象の受光デバイス１０の特性を測定し、受光手段２２からの出力に基づいて、当該測定結果を校正する、及び／又は、測定時における被検査対象の受光デバイス１０への電源供給を制御する。
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【課題】 ウエハ上に形成されるトランジスタの特性ばらつきを測定する回路の面積効率を向上させる。
【解決手段】 ｍ×ｎ個のセル回路２がマトリックスに配置されている。各セル回路２は、それぞれ第１および第２のトランジスタを含んで構成される。制御回路３は、セル回路マトリックスの行ごとに対応するセル回路２を制御する。制御回路４は、セル回路マトリックスの列ごとに対応するセル回路２を制御する。各セル回路２において、第１のトランジスタの特性を測定するときは、第２のトランジスタがスイッチとして使用され、第２のトランジスタの特性を測定するときは、第１のトランジスタがスイッチとして使用される。 （もっと読む）