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Fターム[2G011AB08]の内容

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Fターム[2G011AB08]に分類される特許

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【課題】ベースフィルムに形成されたビアホールとビアホールに充填された伝導体及び伝導体が露出されたバンプを含むコンタクトフィルムを提供する。
【解決手段】ベースフィルム110に形成されたビアホールとバンプを含むコンタクトフィルム400、コンタクトフィルムを使うプローブユニット、プローブユニットを使うLCDパネル検査用装置及びコンタクトフィルムの製造方法において、コンタクトフィルムは、ベースフィルム、伝導体112、バンプ及び伝導ライン130を含み、ベースフィルムは複数個のビアホールを含み、伝導体はビアホールに充填される。バンプはベースフィルムの一方の面から突出した伝導体の一部であり、伝導ラインはベースフィルムの他方の面において伝導体と電気的に接続される。 (もっと読む)


【課題】シングルアーム構成及びダブルアーム構成のカンチレバー型プローブの交換をする際に、アーム部が引き剥がし易いプローブ構造を提供する。
【解決手段】接触子12と、一方の端部に前記接触子12が取り付けられ、他方の端部が固定された板材で構成されたアーム部とから成るプローブを備え、アーム部の固定は、基板に接合された台座26に、剥離層24を介して接合されていることを特徴とするプローブカードである。剥離層24は、台座26と基板28の接合部よりも狭い面積である。また、アーム部は、スペーサを介して下側アーム16と、下側アーム16の厚さと同等かより厚い上側アーム22の2つのアームを備えたダブルアーム構造とし、台座26に剥離層24を介して接合され、下側アーム16を上側アーム22より長くしたことを特徴とするプローブカードである。 (もっと読む)


【課題】被検査体の電極への影響を抑えつつ効率的に被検査体の検査を行うことができる低コストの検査用プローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁性の基板12と、基板12の縁部から外に延在されて並列に配置された弾性を有する複数の導電性の接触子13と、基板12に形成されて接触子13と導通する配線パターン14とを備え、被検査体の検査を行う際に接触子13の先端からなる接点15が被検査体の電極に接触される検査用プローブ11であって、接触子13及び配線パターン14が、MEMS技術によって基板12に形成され、接触子13の接点15における電極との接触箇所に、凸曲面状に突出する電極接触凸部16が形成されている。 (もっと読む)


【課題】球状電極との好適な導通を得ることが可能な電気的接続装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る電気的接続装置は、球面を有する電極と電気的に接続する電気的接続装置であって、前記球面を包囲する形状を有し、前記電極の出し入れが可能な導電性の受け部材と、前記受け部材の前記球面を包囲する側に設けられた弾性変形可能で導電性を有する凸構造接触子と、前記受け部材を支持する軸部と、前記受け部材に対し前記軸部側への押え圧を加えることで前記軸部の中心線を軸として前記受け部材が回転動作することを可能とする回転機構と、備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】接触安定化、高密度化および薄肉化のいずれについても高いレベルで達成し得る電気貫通部を備える異方導電性部材を提供する。
【解決手段】板状の弾性ソケットと、弾性ソケット内に個別に保持されて弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、電気貫通部は、電気的に接続しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一および第二の可動部材を備え、これらの可動部材が近接するように外力が付与されたときにこれらの可動部材を離間させる弾性復元力が弾性ソケットに生じるように、これらの可動部材は、少なくとも近接した状態では弾性ソケットの一部を圧縮可能に配置され、これらの可動部材の相対位置の変動を可能とする摺動接触構造は可動制限手段を備え、弾性ソケットにおける電極接触部側の主面に設けられた剛性材料からなる電極側板状部材を異方導電性部材はさらに備える。 (もっと読む)


【課題】 狭ピッチ多ピンの格子状配列型パッドに適応可能なプローブカードを提供すること。
【解決手段】 垂直プローブ部とプローブのバネ構造部と回路基板までの導電部を樹脂フィルム上に1つ又は複数配置した第1のプローブ群と、前記第1のプローブ群と同一又は異なる配置のプローブ群を有する第2、第3、第4等のプローブを適切な間隔で積層し、前記プローブ付樹脂フィルム上のプローブの端子配列方向が、ウェハ上のチップのパッドのXY方向配列に対して所定の角度を有することにより、所望の格子配列のパッド接続部を有する。 (もっと読む)


【課題】 弾性変形時における針圧や高周波特性を確保しつつ、耐電流性能を向上させることができる電気的接触子を提供する。
【解決手段】 コンタクトプローブ100は、弾性変形部1とコンタクト部2とからなり、弾性変形部1が、長尺方向の力によって弾性変形する細長い板状体10A,10Bと、板状体10A,10Bの長尺方向と交差するワーク対向面12w上にコンタクト部2が配置され、空隙10Sを介して主面を対向させた状態で板状体10A,10Bの一端を互いに結合させる針先結合部12と、板状体10A,10Bの他端を互いに結合させる針元結合部11とからなる。板状体10A,10Bは、第1の導電性金属からなる応力層101,103と、第1の導電性金属よりも比抵抗が小さい第2の導電性金属からなる電導層102とから形成され、第1の導電性金属の機械的強度が第2の導電性金属よりも高い。 (もっと読む)


【課題】ウエハの電気特性検査時にプローブ針の先端に付着する異物に起因する検査精度の低下を抑制する。
【解決手段】ウエハの電気特性検査工程で使用するプローブカード15Aは、配線基板30と、配線基板30に取り付けられた金属製のプローブ針固定部31と、プローブ針固定部31に接合された複数のプローブ針33とを有している。プローブ針固定部31には、冷却管24が挿通されており、この冷却管24内を流れる冷却液Cによって、プローブ針固定部31に接合されたプローブ針33が冷却されるようになっている。 (もっと読む)


【課題】ショートやリークの発生の防止、および円滑なプロービングを実現する。
【解決手段】第1挿通孔31aが形成された第1支持部31および第2挿通孔32aが形成された第2支持部32を有する本体部11と、先端部21および基端部22が第1挿通孔31aおよび第2挿通孔32aにそれぞれ挿通された状態で本体部11によって支持されて中央部23がプロービング時に湾曲可能に構成されると共に中央部23の直径が第1挿通孔31aの直径よりも大径となる厚みで中央部23の周面に第1絶縁層24が形成されたプローブピン12とを備え、プローブピン12における先端部21の表面の一部であって回路基板100の端子101に接触する部位を除く予め決め規定された先端領域Aには、先端領域Aの直径が第1挿通孔31aの直径よりも小径となる厚みで第2絶縁層25が形成されている。 (もっと読む)


【課題】メンテナンス性が良く、単価が低く、電気伝導性や熱伝導性が良好なコンタクト電極及びコンタクタを得る。
【解決手段】円柱状導体8は、側面8a、側面8aに対して斜めの接触面8b、及び側面8aに対して垂直な端面8cを持つ。円柱状導体9は、側面9a、側面9aに対して斜めの接触面9b、及び側面9aに対して垂直な端面9cを持つ。円柱状導体9の接触面9bが円柱状導体8の接触面8bに接触する。伸縮性を持つ筒状弾性体10が円柱状導体8,9を収容する。 (もっと読む)


【課題】複数の接触端子と複数のチップ電極の接触圧力のばらつきを低減する。
【解決手段】薄膜シート(第1シート)2は、複数のコンタクタ(接触端子)3が形成された主面(接触端子形成面)2a、および主面2aの反対側に位置する裏面2bを有する。また、薄膜シート2には、主面2aと裏面2bの間に複数の配線23、ダミー配線26が配置される。複数のコンタクタ3が配列されるコンタクタ群(第1接触端子群)の端部に配置されるコンタクタ3eとダミー配線26の間には、薄膜シート2の主面2aから裏面2bまでを貫通する開口部から成るスリット2dが、配線23に沿って形成されている。 (もっと読む)


【課題】 屈曲部に柔軟性を持たせたバーチカルプローブと、このバーチカルプローブを備えた狭小ピッチ対応のプローブヘッドを提供する。
【解決手段】 プローブヘッド1は、プローブハウジング2と、傾斜して配置されたバーチカルプローブ3とを備え、プローブハウジング2の上面2aには複数の第1のスルーホール2b、2b…が設けられて、底面2fには第2のスルーホール2e、2e…が設けられ、第1のスルーホールおよび第2のスルーホール間に空洞部2mが形成され、これらの間にバーチカルプローブが挿着され、プローブ上部3aおよびプローブ下部3bの幅より狭くなった屈曲部3eが設けられ、プローブ下部にはプローブ先端3d側に向かって幅3gを更に狭くする段差3fを備え、段差がプローブハウジングの第2のスルーホールの淵部2gに係止され、バーチカルプローブは屈曲方向に変形して上下に伸縮して良好な電気的接続をする。 (もっと読む)


【課題】 電極端子に繰返し接触させる際の耐摩耗性能を確保しつつ、耐電流性能の劣化を抑制することができるプローブを提供する。
【解決手段】 ワーク上の電極端子に接触させるコンタクト部3と、コンタクト部3を支持し、コンタクト部3を電極端子に接触させた際に弾性変形する弾性変形部2により構成される。コンタクト部3は、ワーク上の電極端子に接触させるワーク接触面3aを有し、第1の導電性金属からなる耐摩耗層31と、比抵抗が第1の導電性金属よりも小さい第2の導電性金属からなる低比抵抗電導層32とから形成され、第1の導電性金属が第2の導電性金属よりも耐摩耗性に優れ、ワーク接触面3aが耐摩耗層31の端面と低比抵抗電導層32の端面とからなる。 (もっと読む)


【課題】配線シートの配線と該配線に対応した接続シートの配線とを確実に接続させる。
【解決手段】プローブ装置は、被検査体の電極に接触する多数のプローブと、該プローブに電気的に接続した配線シートと、該配線シートに電気的に接続した接続回路と、前記配線シートと前記接続回路の間に介在した絶縁性シートと、該絶縁性シートを貫通して前記配線シートと前記接続回路とを電気的に接続した熱溶融性の金属部材とを含む。前記配線シートは、前記プローブに電気的に接続された多数の第1の配線を有し、前記接続回路は、それぞれが前記第1の配線に対応された多数の第2の配線を有する。前記金属部材は、該前絶縁性シートを貫通して前記第1の配線とこれに対応した第2の配線とを結合している。 (もっと読む)


【課題】様々な形状の接続端子部と検査基板とを電気的に接続することができる汎用性があって安価なコンタクトブロックを実現する。
【解決手段】コンタクトブロック10は、弾性体と、前記弾性体内部に保持された導電部材を備えた導電ブロック3と、前記導電ブロックを挿入する貫通孔2を備えたアライメントケース1からなる、接続端子間を電気的に接続するコンタクトブロックであって、前記貫通孔は、前記接続端子の配置に対応した形状になるよう形成する。 (もっと読む)


【課題】プローブ装置の接触電極を被検査体の電極に確実に接続させることにある。
【解決手段】プローブ装置は、前後方向に延びるプローブブロックと、該プローブブロックの前部の下側に取り付けられた可撓性の配線シート支持体と、該配線シート支持体の下側に支持された配線シートとを含む。前記配線シート支持体は、前方ほど下方となる斜めの方向に伸びる延長部を備える。前記配線シートは、前記延長部の下側に支持された延在部を備える。また、前記配線シートは、シート状部材と、該シート状部材に形成された複数の配線と、各配線の前部に形成された接触電極とを備える。各接触電極は、前記配線から立ち下がる前端面と、前記斜めの方向に直線状又は弧状に延びる下面と、前記前端面及び前記下面により形成される角部とを有する。 (もっと読む)


【課題】半導体チップに形成された複数の電極パッドに確実に接触させることが可能なプローブカードを提供すること。
【解決手段】プローブカード40の基板本体51には、第1の主面51aと第2の主面51bとの間を貫通する貫通孔52が形成されている。貫通孔52の第1の収容部52a内には弾性体56が形成され、第2の収容部52b内には、貫通電極54が形成されている。弾性体56の表面には配線55により貫通電極54と接続される配線57が形成されている。配線57の先端は、弾性体56の下面略中央に配置されている。そして、配線57の先端下面には、検査対象物10の電極パッド11と対応する位置に、その電極パッド11と電気的に接続される接触用バンプ41が形成されている。 (もっと読む)


【課題】関心RF帯においてほぼRF不可視性を有し、かつ可撓性を有して、様々な試験形態にて使用することが可能であるケーブルを提供する。
【解決手段】可撓性試験ケーブルは、中心部導体(210)と、関心周波数の1/4波長の奇数倍に等しい有効電気長を有する導電性スリーブ(240)と、スリーブ(240)内に配置されて、導体の一部分とスリーブとの電気的接続を防止する誘電体スペーサと、導体の一部分をスリーブ(240)の端部の中心部内に保持する誘電体ジョイント(220)とを備える。スペーサ(230)は、剛性を備えた、又は軟性を備えた圧縮可能な誘電体材料から様々な形状にて形成され得る。誘電体ジョイントにより複数の導電性スリーブ(240)が連結され、関心周波数において電気的透過性を有する可撓性試験ケーブル(200)が形成される。 (もっと読む)


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