【課題】グリッド電極を通してリークする微小リーク電流を高精度に測定する。
【解決手段】アノード電圧を分圧し、分圧した電圧をクリッド電極１１８に印加する抵抗分圧回路１、該抵抗分圧回路１に直列に接続される第一の固定抵抗（ブリッジ回路バランス抵抗２）、抵抗分圧回路１とほぼ同等の抵抗値を有する第二の固定抵抗（ブリッジ回路比較抵抗３）および第二の固定抵抗と直列に接続される可変抵抗（ブリッジ回路バランス用可変抵抗４）によって構成されるブリッジ回路と、抵抗分圧回路１と第一の固定抵抗が直列に接続された第一の直列接続体と第二の固定抵抗と可変抵抗が直列に接続された第二の直列接続体の両端にアノード電圧を印加するアノード電圧印加用電源５と、抵抗分圧回路１と第一の固定抵抗の接続部と第二の固定抵抗と可変抵抗の接続部の間に配置される検流計６とを備える。 （もっと読む）