【課題】反射膜の帯電を防止可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４と反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、反射膜間ギャップＧ１を変化させる静電アクチュエーター５６と、可動基板５２にに設けられ、接地された可動電極５６２と、を備え、可動電極５６２は、平面視において、光干渉領域Ａｒ１を覆って可動基板５２に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４は、可動電極５６２に電気的に接続された。 （もっと読む）

【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第１の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における２次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する２次元アレイ光検出手段と、前記２次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ホモダイン検波方式を採用した電磁波分光測定システムの測定時間や測定精度を向上し、小型化すること。
【解決手段】機械的な駆動機構を有する遅延線に代えて、電気的に位相変調可能な光位相変調器４を使用する。 （もっと読む）

【課題】応答性の向上した波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２と対向する面に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを有して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、可動基板５２に設けられ、第１電極５６１と対向する第２電極５６２と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面に設けられ、固定基板５１と可動基板５２とを接合する接合部５３と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた溝部５８と、を備え、第１反射膜５４と第２反射膜５５との間のギャップを形成する空間と外部とが溝部５８を介して連通している。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と回折効率をともに向上し、しかも反射損失を低減できる透過型回折格子を用いた分光装置、検出装置及び分光装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】入射光を透過する透過型回折格子を含む分光装置であって、透過型回折格子は、基材１００より第１方向Ｘに沿って周期的に突出する複数の突起１１０を有し、複数の突起が傾斜面１４０を有し、傾斜面は、基材に垂直な基準線に対して傾斜し、透過型回折格子への入射光の入射角度を基準線に対して角度αとし、回折光の回折角度を基準線に対して角度βとする場合に、入射角度αは、傾斜面に対するブラッグ角度θよりも小さい角度であり、回折角度βは、ブラッグ角度θよりも大きい角度であり、複数の突起の各々は、傾斜面からの第１方向での距離が異なるに従い、複数の突起の各々と空気との界面に至る基材からの突出高さが異なる第１反射防止構造１５０（１６０）を有する。 （もっと読む）

【課題】光学ビームの周波数を安定化する分光器アセンブリを提供する。
【解決手段】分光器アセンブリ７は熱分離プラットフォーム４００、ガス４１を囲い、熱分離プラットフォームに取り付けられるガス参照セル４０を含み、ガス参照セルは、少なくとも１つの光学透明窓４１５、囲まれるガスの温度を上昇させるように構成される少なくとも１つのヒーターを備える。ビームスプリッタ３０が、レーザー１０から放射される入力光学ビームの一部が反射されてガス参照セルの少なくとも１つの光学透明窓に入射するように構成される場合、入力光学ビーム２０の反射された部分は、ガスを二度通過する。検出器３５０がガスを二度通過した光学ビームを受け取るように構成される場合、レーザーを安定化させるために、レーザーにフィードバック信号５０が提供される。 （もっと読む）

【課題】 最良の波長分解性能を発揮する状態に調整することができる光学調整方法と調整治具を提供する。
【解決手段】 光源１６と、光源からの光を平行光束にする光学素子１７とを治具ベース１９上に備え、光学素子１７から射出される光が精密に平行光束となるように予め設定されている光学調整用の調整治具Ａを用意し、この調整治具Ａを光路上に配置し、調整治具Ａから射出される平行光束を第１ミラー２に送り、第１ミラー２により反射集光した光を入口スリット１に通過させてその近傍に配置した像観察部材２３に光束パターンを表示させ、この光束パターンに基づいて適正光束パターンになるように第１ミラー２または入口スリット１を移動させて第１ミラー２のフォーカスを調整する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、メンテナンスしやすいセクターミラーを提供する。
【解決手段】 回転軸１に挿嵌される軸取付孔３ａを備えた固定部３と、固定部３の周辺の一部から延びる連結部４を介して固定部３と一体構造で連結された調整部５とからなる取付部材２を備え、前記調整部５は回転軸１の先端面より前方で固定部３の前面側に配置され、かつ、調整部５の前面側に反射鏡７が、背面側にチョッパ１０が取り付けられており、前記連結部４を除く固定部３と調整部５の間には、回転軸１の軸芯と直交する方向に延びる調整用の隙間Ｌが形成され、調整部５の前面に調整ネジ１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられ、この調整ネジを回動することにより、連結部４を支点として調整部５を変位させて反射鏡７の取付角度を調整する。 （もっと読む）

【課題】紫外光源由来のオゾンガスによる部品の浸食を防止することができると共にランニングコストを低減することのできる光度計を用いた試料測定方法を提供する。
【解決手段】紫外光源２１と光検出器５２を有し、光源２１から光検出器５２に至る光路全体を密閉するカバー１１と、カバー１１の内部を窒素ガスで置換する手段とを備えた分光光度計１０において、光源２１を格納する光源室２０と後段の分光器３０の間の隔壁２２に対して容易に着脱することができ、なお且つ、測定光を通過させつつ光源室２０と分光器３０との間の気体の流通を遮断することのできる窓板ユニット８０を設ける。深紫外域以外の波長域で測定を行う場合には、窓板ユニット８０を隔壁２２に取り付けることによって、光源２１付近で発生したオゾンが分光器３０へ流入するのを防止でき、窒素ガスによる置換を行うことなく部品の浸食を防止する。 （もっと読む）

【課題】省電力化が可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４及び固定電極５６１が設けられた固定基板５１と、固定基板５１に対向し、可動反射膜５５及び可動電極５６２が設けられた可動基板５２と、を具備し、固定電極５６１及び可動電極５６２は、それぞれ透光性を有し、フィルター平面視において、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が設けられた光干渉領域Ａｒ２を含む駆動領域Ａｒ１を覆って設けられ、固定反射膜５４は、固定電極５６１を介して固定基板５１に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられた。 （もっと読む）

【課題】電極間の絶縁を維持しつつ、低コストで、構造を簡素化できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板５１に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４と所定のギャップＧを介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１に設けられた第１電極５６１と、第２基板５２に設けられ、第１電極５６１に対向する第２電極５６２と、を備える。第１基板５１は、第２基板５２に接合される第１接合面５１３を有し、第２基板５２は、第１接合面５１３に接合される第２接合面５２４を有する。第１基板５１には、第１接合面５１３、及び第１電極５６１の第２電極５６２に対向する面に絶縁性を有する第１接合膜５３１が形成され、第１接合面５１３及び第２接合面５２４は、第１接合膜５３１により接合された。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターの反射膜間のギャップの変動を防止し、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】測色センサー４は、第１基板５１、第１基板５１に対向する第２基板５２、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられ固定ミラー、及び第２基板５２に設けられ、固定ミラーと所定のギャップを介して対向する可動ミラーを有するエタロン５と、エタロン５を透過した検査対象光を受光する受光素子４２と、エタロン５を保持する保持部材４３とを備える。エタロン５は、基板厚み方向に見る平面視において、第１基板５１及び第２基板５２が対向する光干渉領域Ａｒ１と、光干渉領域Ａｒ１から突出した突出領域Ａｒ２とを備える。保持部材４３は、突出領域Ａｒ２における、光干渉領域Ａｒ１とは反対側の一端側において、エタロン５を保持する。 （もっと読む）

【課題】変化量Δｄｍが初期長さｄｍｉの１/３よりも大きくなるようにメンブレンを変位できるファブリペロー干渉計を提供する。
【解決手段】固定ミラーを有する固定ミラー構造体、第１ギャップを介した固定ミラー構造体との対向部分がメンブレンとされ、該メンブレンに第１電極及び固定ミラーに対向した可動ミラーを有する可動ミラー構造体、可動ミラー構造体に対して固定ミラー構造体と反対に配置され、第２ギャップを介したメンブレンとの対向部分に第２電極を有する電極構造体を備える。初期状態で電極間の長さｄｅｉがミラー間の長さｄｍｉよりも長くされている。そして、メンブレンと固定ミラー構造体のメンブレン対向部分が互いに対向する部分で同電位とされ、電極間に電圧を印加してメンブレンを電極構造体に近づく方向に変位させると、電極間の長さｄｅが初期長さｄｅｉより短くなり、ミラー間の長さｄｍが初期長さｄｍｉより長くなる。 （もっと読む）

【課題】 光学膜としての金属膜の特性が、酸化や硫化等によって劣化するのを防止すること。
【解決手段】 光フィルターは、第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０および第２光学膜５０の少なくとも一方は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有する金属膜４０Ｍを有し、金属膜４０Ｍの表面およびエッジ部は、バリア膜９０としての誘電体膜によって覆われている。金属膜４０Ｍのエッジ部に、傾斜面を設けることもできる。また、金属膜４０Ｍと、その下に形成される他の光学膜としての誘電体膜４０Ｅとの間に階段状の段差を形成することもできる。 （もっと読む）

【課題】 例えば、高価な光バンドパスフィルターを使用せずに、分光測定装置の測定精度を向上させること。
【解決手段】 分光測定装置は、分光帯域として、所定波長幅の第１波長域〜第ｎ波長域（ｎは２以上の整数）を有する光バンドパスフィルター部３００と、光バンドパスフィルター部からの光を受光する受光部４００と、受光部の出力信号に基づいて得られる受光信号を補正する補正演算を実行する補正演算部５００と、補正演算部５００によって補正された、補正後の受光信号に基づいて所定の信号処理を実行する信号処理部６００と、を含み、補正演算部５００は、受光信号の分光分布の変化に基づいて受光信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】高価な検出器を用いなくとも測定の精度が低下するおそれのない干渉計及びそれを備えた分光装置を提供する。
【解決手段】干渉計２は、光源１１と、該光源１１からの光を平行光に変換するコリメータ光学系１２と、該平行光を透過光Ｔと反射光Ｒに分離して偶数個の固定鏡Ｍ１、Ｍ２に導くとともに、偶数個の固定鏡Ｍ１、Ｍ２にて互いに逆方向の光路に反射された透過光Ｔと反射光Ｒとを合成して出射するビームスプリッタＢＳと、該ビームスプリッタＢＳにて合成され出射された光を集光する集光光学系１６と、該集光光学系１６にて集光された光を受光する検出器１７とを備える。ビームスプリッタＢＳは、ビームスプリッタＢＳから離間した回転軸Ｘの回りに回転する。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低減を図れ、かつ配線信頼性の高い光フィルター素子、光フィルターモジュール、および分析機器を提供する。
【解決手段】光フィルター素子は、第一基板５１と、前記第一基板５１と対向する第二基板５２と、前記第一基板５１に設けられた第一反射膜と、前記第二基板５２に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜５７と、前記第一基板５１に設けられた第一電極と、前記第二基板５２に設けられ、前記第一電極に対向する第二電極５４２と、前記第一基板５１に設けられ、前記第一電極に接続された一対の第一引出電極５４１Ａと、前記第二基板５２に設けられ、前記第二電極５４２に接続された一対の第二引出電極５４２Ａと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 キャビティリングダウン分光計およびプロセッサを含むシステムが提供される。
【解決手段】 該分光計は、電磁スペクトルのテラヘルツ領域における１つ以上の選択可能な送信周波数の各々で変調済み連続波電磁信号をキャビティ共振器に通過させるように構成されている。該分光計は、該キャビティ共振器によって、該キャビティ共振器の単一共振モードを励起するように構成されている送信機を含む。該プロセッサは、該変調済み電磁信号の該通過部分の測定値を受信し、該測定値に基づいて該変調済み電磁信号の位相シフトを決定するように構成されている。該プロセッサは、該位相シフトの関数として該キャビティ共振器のリングダウンタイムを計算するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ長寿命の波長可変干渉フィルター、光センサーおよび分析機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、透光性を有する第一基板５１と、前記第一基板５１の一面側に対向して接合される第二基板５２と、前記第一基板５１の前記一面側に設けられる第一反射膜５６と、前記第二基板５２の前記第一基板５１に対向する第一面Ａに設けられ、ギャップＧを介して前記第一反射膜５６に対向する第二反射膜５７と、前記ギャップＧを可変する可変部５４と、を備えた波長可変干渉フィルター５であって、前記第二基板５２は、前記第一反射膜５６に対向する位置に設けられるとともに、前記第一面Ａから反対の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、前記第二基板５２の前記第一面Ａに設けられ、前記光透過口５２１Ａを閉塞する平板状の透光性部材５８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 テラヘルツ時間領域分光装置において光軸上に配置させた複数のレンズを用いて光路長を変化させる時間遅延機構を提供する。
【解決手段】
テラヘルツ時間領域分光装置の時間遅延ユニットにおいて、レーザー光の光軸を中心として、入射面が該光軸と垂直になるように配設した複数のレンズと、レンズの一つから入射したレーザー光を折り返し他のレンズより出射可能に配設したミラーと、レンズに対するレーザー光の入射位置を移動することによって光路長を可変とする手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）